(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221765282.0 (22)申请日 2022.07.08 (73)专利权人 苏州普伊特自动化系统有限公司 地址 215106 江苏省苏州市吴中区临湖镇 浦庄大道 2988号3栋厂房一层 专利权人 广东爱旭科技有限公司 　 珠海富山爱旭太阳能科技有限公 司 (72)发明人 张淋　耿富民　 (51)Int.Cl. F26B 9/06(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 21/04(2006.01) F26B 25/18(2006.01) (54)实用新型名称 一种硅片烘干装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种硅片烘干装置， 包括 壳体； 壳体的内侧底部设置有花篮支撑架以用于 承托花篮， 壳体的内侧部设置有连通外部风机的 风管组件； 壳体的内侧底部还设置有匀流板， 匀 流板位于花篮的花篮底杆下侧， 且匀流板上开设 有多组与上侧花篮底杆一一对应的匀流风孔， 每 组匀流风孔均与上侧对应位置的花篮底杆错位 设置。 本实用新型通过在匀流板上设置直接与花 篮底杆对应的匀流风孔且匀流风孔和花篮底杆 错位设置， 可以通过减少抽风时的通风横截面使 热风中的热量更长时间的存在匀流板上方， 从而 利用热风把匀流板加热并实现通过匀流板的热 辐射把花篮底杆上的水滴烤干， 从而有效提升烘 干效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 218179431 U 2022.12.30 CN 218179431 U 1.一种硅片烘干装置， 其特征在于， 包括 壳体(10)； 所述壳体(10)的内侧底部设置有花 篮支撑架(13)以用于承托花篮(20)， 所述壳体(10)的内侧部设置有 连通外部风机的风管 组 件(14)； 所述壳体(10)的内侧底部还设置有匀流板(12)， 所述匀流板(12)位于所述花篮(20)的 花篮底杆(21)下侧， 且所述匀流板(12)上开设有多组与上侧所述花篮底杆(21)一一对应的 匀流风孔(121)， 每组所述匀流风孔(121)均与上侧对应位置的所述花篮底杆(21)错位设 置。 2.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置， 其特征在于， 所述匀流板(12)的材质为 PVDF。 3.根据权利要求2所述的一种硅片烘干装置， 其特征在于， 还设置有PVDF材质的遮挡 板， 所述匀流板(12)上均匀开设有匀流风孔(121)， 并通过所述遮挡板对不同部位的匀流风 孔(121)进行遮挡以预留出多组对应不同所述 花篮底杆(21)的匀流 风孔(121)。 4.根据权利要求3所述的一种硅片烘干装置， 其特征在于， 所述遮挡板的端部 固定安装 在升降滑块上， 所述升降滑块上下滑动安装在水平滑块上， 所述水平滑块水平滑动安装在 所述壳体(10)内侧壁的水平 导轨上， 所述水平滑块上还安装有对应所述升降滑块的升降气 缸， 所述壳体(10)的内侧壁还安装有对应所述水平 滑块的水平气缸。 5.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置， 其特征在于， 所述匀流板(12)的下侧面还 设置有一层绝热层， 且所述 绝热层上开设有对应所述匀流 风孔(121)的通 孔。 6.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置， 其特征在于， 所述风管组件(14)包括通过 轴座安装在所述壳体(10)侧板上的管接头(141)， 以及通过支架(18)安装在所述壳体(10) 侧板内侧的吹风管(142)， 所述吹风管(142)与所述管接头(141)连通且所述吹风管(142)的 侧壁沿轴向开设有 多组并列的吹风 孔。 7.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置， 其特征在于， 所述壳体(10)的内部底侧设 置有支撑底板(11)， 所述支撑底板(11)上设置有通槽以用于实现上侧水分及热风向下侧的 排出， 所述匀流板(12)及花篮支撑架(13)均安装在所述支撑底板(1 1)上侧； 所述支撑底板(11)的下侧设置有集液槽(15)及排风管(16)， 通过所述外部风机及循环 外管(17)连通所述 排风管(16)与风管组件(14)。 8.根据权利要求7所述的一种硅片烘干装置， 其特征在于， 所述排风管(16)设置在所述 壳体(10)的内侧底部并位于所述支撑底板(11)的下侧， 且 所述排风管(16)的侧壁上均匀开 设有进风孔。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218179431 U 2一种硅片烘干装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及自动化设备技术领域， 尤其是光伏电池片生产设备， 特别涉及一 种硅片烘干装置 。 背景技术 [0002]在太阳能电池硅片的制 备过程中， 硅片的高效烘干是重要工序之一。 现有技术的 硅片烘干槽， 其在放入装满清洗后硅片的花篮之后， 花篮及硅片上 的水分会同时流动并在 底部的花篮底杆上形成水滴， 因此， 需要采用大量的热风循环去烘干硅片和 花篮底杆上 的 水分， 从而导致硅片烘干效率较低， 而且大量的热风循环会消 耗大量的电能而导致烘干能 耗较高。 实用新型内容 [0003]为解决上述技术问题， 本实用新型提供了一种硅片烘干装置， 以解决现有技术由 于花篮底杆 上存在水滴而导 致烘干效率较低的问题。 [0004]为达到上述目的， 本实用新型的技 术方案如下： [0005]一种硅片烘干装置， 包括壳体； 所述壳体 的内侧底部设置有花篮支撑架以用于承 托花篮， 所述壳体的内侧部设置有连通外 部风机的风管组件； [0006]所述壳体的内侧底部还设置有匀流板， 所述匀流板位于所述花篮的花篮底杆下 侧， 且所述匀 流板上开设有多组与上侧所述花篮底杆一一对应的匀 流风孔， 每组所述匀 流 风孔均与上侧对应位置的所述 花篮底杆错 位设置。 [0007]本实用新型可以通过减少抽风时的通风横截面使热风中的热量更长时间的存在 匀流板上方， 从而利用热风把匀流板加热， 并通过控制花篮底杆距离匀流板的高度， 最 终实 现通过匀流板的热辐射 把花篮底杆 上的水滴烤干， 从而 有效提升烘干效率。 [0008]其中， 所述匀流板的材质为PVDF。 由于匀流板的材质为比热容相对较小的PVDF材 质， 更有利于利用热风 把匀流板加热以提高烘干效率。 [0009]进一步的， 还 设置有PVDF材质的遮挡板， 所述匀流板上均匀开设有匀流风孔， 并通 过所述遮挡板对不同部位的匀 流风孔进行遮挡以预留出多组对应不同所述花篮底杆 的匀 流风孔， 可以实现根据实际需要或不同花篮支撑架规格实现匀 流风孔位置及数量的调节， 从而满足不同的烘干需求。 [0010]进一步的， 所述遮挡板 的端部固定安装在升降滑块上， 所述升降滑块上下滑动安 装在水平滑块上， 所述水平滑块水平滑动安装在所述壳体内侧 壁的水平导轨上， 所述水平 滑块上还安装有对应所述升降滑块的升降气缸， 所述壳体的内侧壁还安装有对应所述水平 滑块的水平气缸。 采用此 方案可以实现自动调节遮挡板的位置以提高设备的自动化 程度。 [0011]进一步的， 所述匀流板 的下侧面还设置有一层绝热层， 且所述绝热层上开设有对 应所述匀流风孔的通孔。 通过绝热层设置， 可以减少匀流板下侧的热量流 失， 从而更有效的 实现匀流板的加热以提高烘干效率。说　明　书 1/3 页 3 CN 218179431 U 3