ICS 19.08 CCS T GVS K 80 团体 标准 T/GVS 006—2022 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳 定性测量方法 Method of measuring output deviation stability for semiconductor RF power supply and microwave power supply 2022- 05 - 27发布 2022 - 05 - 27实施 广东省真空学会 发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/GVS 006 —2022 I 目次 前言 ................................ ................................ ................. II 1 范围 ................................ ................................ ............... 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ..... 1 3 术语和定义 ................................ ................................ ......... 1 4 符号和缩略语 ................................ ................................ ....... 2 5 总则 ................................ ................................ ............... 2 6 测试条件 ................................ ................................ ........... 2 测试环境 ................................ ................................ ....... 2 测试前准备 ................................ ................................ ..... 2 7 测试要求 ................................ ................................ ........... 3 最大输出功率测试 ................................ ............................... 3 频率偏差测试 ................................ ................................ ... 4 功率偏差测试 ................................ ................................ ... 4 不同驻波比下功率输出测试 ................................ ....................... 5 最大功率下输出不匹配测试 ................................ ....................... 6 附录A（资料性） 射频电源和微波电源最大输出功率测试记录格式 ........................... 8 附录B（资料性） 射频电源和微波电源频率偏差测试记录格式 ............................... 9 附录C（资料性） 射频电源和微波电源功率偏差测试记录格式 .............................. 10 附录D（资料性） 射频电源和微波电源不同驻波比下功率输出测试记录格式 .................. 11 附录E（资料性） 射频电源和微波电源最大功率下输出不匹配测试记录格式 .................. 12 参考文献 ................................ ................................ ............. 13 全国团体标准信息平台 T/GVS 006 —2022 II 前言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由 季华实验室 提出。 本文件由广东省真空学会归口。 本文件起草单位： 季华实验室、中山凯旋真空科技股份有限公司、暨南大学。 本文件主要起草人： 胡琅、陈浩、卫红、李晓峰、高峰、刘彭义 、李晓刚、陈科球 。 本文件为首次发布。 全国团体标准信息平台 T/GVS 006 —2022 1 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法 1 范围 本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和 定义、符号和缩略 语、总则、测试条件、测试要求。 本文件适用于 电气工作频率在 100 kHz～3 GHz的半导体装备用 射频电源和微波电源产品 。 2 规范性引用文件 本文件没有规范性引用文件。 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 定向耦合器 directional coupler 一种通用的微波 /毫米波部件，可用于信号的隔离、分离和混合，应用于功率的检测、源输出功率 稳幅、信号源隔离、传输和反射的扫频测试等。 频谱分析仪 spectrum analyzer 一种基础的频域测试测量仪器，可用于测量电源的杂散谐波参数分析 。所用的频谱分析仪应满足射 频电源或微波电源的频率要求，且已进行过校准、计量等步骤。 频率计 frequency meter 用于测量电源频率值 的仪器。所用的频率计应满足射频电源或微波电源的频率要求，且已进行过校 准、计量等步骤。 功率计 power meter 用于测量射频电源和微波电源的输出功率和输出驻波比的仪器。所用的功率计应满足射频电源或 微波电源的功率要求，且已进行过校准、计量等步骤。 示波器 oscilloscope 用于测量射频电源和微波电源的功率剧增调节时间的仪器。所用的示波器应满足射频电源或微波 电源的频率要求，且已进行过校准、计量等步骤。 阻抗匹配器 impedance matcher 由调谐元器件组成匹配网络、接于电源与负载之间，用于调节负载阻抗匹配的仪器。 杂散 spurious 在电源工作频率范围外的新频率对系统的干扰。 谐波 harmonic 对周期性非正弦交流量进行傅里叶级数分解所得到的大于基波频率整数倍的各次分量。 功率传感器 power sensor 全国团体标准信息平台 T/GVS 006 —2022 2 一种信号传输和隔离模块，采用专用的功率变换电路把交流功率信号变换成与之线性关系的标准 直流电流电压信号，再经有源滤波线性放大输出恒流或恒压模拟量，使变送器具有高精度、工作稳定等 特点，输出为恒流或恒压信号。 4 符号和缩略语 下列符号和 缩略语适用于本文件。 VSWR：电压驻波比（ Voltage Standing Wave Ratio ）。 ρf：频率偏差。 f测：实际测试点的频率值。 fsetpoint：设定的频率值。 ρP：功率偏差。 P测：实际测试点的功率值。 Psetpoint：设定的功率值。 PMax：电源最大输出功率。 Marker：标记点。 5 总则 测量设备应在校准的有效期内，且应配有 符合相关 要求的校准证书。 6 测试条件 测试环境 6.1.1 测试的环境温度为 25 ℃±5 ℃。 6.1.2 环境湿度不大于 60 % RH。 6.1.3 环境大气压力 86 kPa～106 kPa。 6.1.4 校准设备和测试设备周围应无热源、强电磁场、放射性源等外界干扰。 测试前准备 6.2.1 测试平台 为符合规范性测试标准及半导体行业测试要求而搭建的射频电源及微波电源测试平台，主要包括 定向耦合器、频谱分析仪、阻抗匹配箱、示波器、频率计、功率计等测试设备。 6.2.2 冷却系统 应对冷却 系统完成以下 准备工作 。 a) 水冷系统：冷却水进水口的水温应为 10 ℃～30 ℃，最小水流量应为 0.12 L/s，进水口水压最 大为0.69 MPa。 b) 风冷系统：检查风扇是否正常工作。 6.2.3 供电系统 应对供电系统完成以下准备工作。 a) 平台设备供电 ： 应采用市电输入， 用于各测试设备仪器供电。 其中电压波动为额