ICS17.040.30 CCSL87 ZACA T/ZACA041—2022团体标准 混合信号半导体器件测试设备 Mixedsignalsemiconductordevicetestequipment 2022-06-28发布 2022-07-01实施 浙江省质量合格评定协会  发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/ZACA041—2022 I目次 前言..................................................................................II 1范围................................................................................1 2规范性引用文件......................................................................1 3术语和定义..........................................................................1 4基本参数............................................................................2 5技术要求............................................................................4 6试验方法............................................................................7 7检验规则...........................................................................17 8标识、包装、运输和贮存.............................................................18 全国团体标准信息平台 T/ZACA041—2022 II前言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本文件由浙江省质量合格评定协会提出并归口。 本文件主要起草单位：杭州加速科技有限公司。 本文件参与起草单位：通富微电子股份有限公司、华天科技（西安）有限公司、长三角集成电路工 业应用技术创新中心、矽力杰半导体技术（杭州）有限公司、北京集创北方科技股份有限公司。 本文件主要起草人：陈永、凌云、邬刚、王瑞金、翁正林。 本文件首次发布。 全国团体标准信息平台 T/ZACA041—2022 1混合信号半导体器件测试设备 1范围 本文件规定了混合信号半导体器件测试设备（以下简称测试设备）的术语和定义、基本参数、技术 要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存。 本文件适用于数字芯片、模拟芯片、数模混合芯片等半导体器件功能和性能测试设备。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T191包装储运图示标志 GB4793.1—2007测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第1部分：通用要求 GB/T6587—2012电子测量仪器通用规范 GB/T17626.2电磁兼容性试验和测量技术静电放电抗扰度试验 GB/T17626.3电磁兼容性试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验 GB/T17626.4电磁兼容性试验和测量技术电快速瞬变脉冲群抗扰度试验 GB/T17626.5电磁兼容性试验和测量技术浪涌（冲击）抗扰度试验 GB/T17626.6电磁兼容性试验和测量技术射频场感应的传导骚扰抗扰度 GB/T17626.8电磁兼容性试验和测量技术工频磁场抗扰度试验 GB/T17626.11电磁兼容性试验和测量技术电压暂降、短时中断和电压变化的抗扰度试验 GB/T18268.1测量、控制和实验室用的电设备电磁兼容性要求第1部分：通用要求 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 混合信号半导体器件测试设备mixedsignalsemiconductordevicetestequipment 集成多种高精度、高性能测试测量功能、用于晶圆、封装、验证检测的半导体器件测试设备。 3.2 设备电源devicepowersupply（DPS） 为待测芯片(DUT)供电，控制上下电的主要模块。 3.3 数字通道digitalI/O（DIO） 芯片测试中数字波形输入和对接收到的数字信号进行比较的工作，是数字测试机的核心功能模块。 3.4 精密测量单元precisionmeasurementunit（PMU） 高精度参数的测量模块。 3.5 引脚参数测量单元pinparametermeasurementunit（PPMU） 数字通道(DIO)的测试中电压的输出及测量模块。 全国团体标准信息平台 T/ZACA041—2022 23.6 时间测量单元timemeasurementunit（TMU） 芯片时间相关参数如频率、周期、脉宽、占空比等的测量模块。 3.7 任意波形产生器arbitrarywaveformgenerator（AWG） 为ADC测试，或其他需要模拟波形输入激励的芯片提供典型的Sine波、方波、三角波、Ramp波以及 各类组合激励波形的输出模块。 3.8 数字转换器digitizer（DGT） 芯片模拟输出采集，通过内部转换、算法反算出模拟信号的模拟波形采集器。 4基本参数 基本参数应符合表1的规定。 表1基本参数 项目 I类 II类 尺寸长 mm450~465 700~715 宽 mm425~440 490~510 高 mm415~430 780~795 重量整机质量 kg35~40 145~155 电源输入额定电压 VAC220 AC220 额定频率 Hz50 50 额定功率 W1200 3800 数字通道 （DIO）数量160 512 频率 MHz0~125 0~250 VIH电压范围 V-1.4~6.5 -1.4~6.5 VIL电压范围 V-1.5~6.4 -1.5~6.4 VOH电压范围 V-1.4~6.5 -1.4~6.5 VOL电压范围 V-1.5~6.4 -1.5~6.4 电压设置分辨率 mV1 1 设备电源 (DPS)数量20 64 电压设置 V-3.25~+8.4 -3.25~+8.4 全国团体标准信息平台 T/ZACA041—2022 3表1（续） 项目 I类 II类 设备电源 (DPS)电压设置分辨率 mV1 1 电压测量分辨率 mV1 1 电流测量分辨率 nA0.5 0.5 精密测量单元 （PMU）数量 20 64 电压设置 V-2~+9.25 -2~+9.25 电压设置分辨率 mV1 1 电压测量分辨率 mV1 1 电流设置 mA-60~80 -60~80 电流测量分辨率 nA0.25 0.25 引脚参数测量单元 （PPMU）数量 160 512 电压设置 V-2~6.5 -2~6.5 电压设置分辨率 mV1 1 电压测量分辨率 mV1 1 电流设置 mA-40~40 -40~40 电流测量分辨率 nA0.4 0.4 时间测量单元 （TMU）数量 20 64 电压阈值范围 V-1.5~5 -1.5~5 最大输入频率 MHz100 100 测量范围 10ns~100ms 10ns~100ms 测量分辨率 ps15.625 15.625 任意波形产生器 （AWG）数量 5 16 采样率 Msps2 2 波形存储器 M64 64 分辨率 位16 16 电压输出 V0~8 0~8 最大输出电流 mA25 25 全国团体标准信息平台 T/ZACA041—2022 4表1（续） 项目 I类 II类 数字转换器 （DGT）数量 5 16 采样率 Msps1 1 波形存储器 M64 64 分辨率 位16 16 电压输出范围 V0~8 0~8 采样率 Msps1 1 5技术要求 工作条件 测试设备工作条件应符合下列要求： a)环境温度：0℃～40℃； b)相对湿度：40%RH～60%RH； c)电源电压：AC220±22V； d)电源频率：（50±2.5）Hz。 外观质量 5.2.1设备外壳不得有明显斑点、划痕、色斑等缺陷，应无危害安装、正常使用或维护的尖端或锐边。 5.2.2接插件插头绝缘应无任何破损，并接插稳固。 5.2.3电源开关及按键应灵活可靠，零部件装配应牢固，无卡涩、松动现象。 5.2.4控制板应固定牢固。 5.2.5说明性文字、符号、标志应清晰、端正。 功能要求 5.3.1测试设备软硬件系统功能模块以及参数等应符合设计要求。 5.3.2系统内部电源应具有短路、过压、过流和超温等保护功能。 5.3.3测试系统应具备动态显示、自动报警、停机、数据备份、储存、下载等功能。 性能特性 5.4.1数字通道（DIO）性能 数字通道（DIO）性能应符合表2的规定。 表2数字通道（DIO）性能 性能指标 I类 II类 数据速率 Mbps0～250 0～500 边沿放置分辨率 ns1 0.125 边沿放置精度 ps±500 ±25