ICS 19.08 CCS T GVS K 80 团体 标准 T/GVS 007—2022 射频电源动态阻抗 测试方法 Test method for dynamic impedance of RF generator 2022- 07 - 11发布 2022 - 07 - 11实施 广东省真空学会 发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/GVS 007 —2022 I 目次 1 范围 ................................ ................................ ............... 3 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ..... 3 3 术语和定义 ................................ ................................ ......... 3 4 原理 ................................ ................................ ............... 3 5 测试环境条件 ................................ ................................ ....... 4 6 仪器设备 ................................ ................................ ........... 4 测试仪器设备 ................................ ................................ ... 4 网络分析仪 ................................ ................................ ..... 4 射频功率测量仪 ................................ ................................ . 4 7 测试方法 ................................ ................................ ........... 4 射频电源工作状态 ................................ ............................... 4 测试负载工作状态 ................................ ............................... 4 测量步骤 ................................ ................................ ....... 6 8 测试报告 ................................ ................................ ........... 7 附录A（资料性） 射频功率测量值与负载设备阻抗测量值记录格式 ........................... 8 附录B（规范性） 射频电源动态阻抗系数的计算方法 ................................ ....... 9 B.1 反射系数（Γ）计算 ................................ ............................. 9 B.2 等功率图绘制 ................................ ................................ .. 10 B.3 动态阻抗系数（增益和最 大梯度角）计算 ................................ .......... 11 附录C（规范性） 最佳电缆长度计算方法 ................................ ................ 15 C.1 应用场合 ................................ ................................ ...... 15 C.2 等离子体阻抗轨迹角计算 ................................ ........................ 15 C.3 额外线缆长度计算 ................................ .............................. 16 C.4 最佳电缆长度计算示例 ................................ .......................... 16 全国团体标准信息平台 T/GVS 007 —2022 II 前言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由 深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学 提出。 本文件由广东省真空学会归口。 本文件起草单位： 深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆科技股份 有限公司。 本文件主要起草人： 乐卫平、林伟群、姚志毅、唐亚海、林桂浩、黄永镇、刘涛、张桂东、张赛谦、 郭冬、高飞 。 本文件为首次发布。 全国团体标准信息平台 T/GVS 007 —2022 3 射频电源动态阻抗测试方法 1 范围 本文件规定了射频电源动态阻抗 测试方法的术语和定义、 原理、测试环境条件、仪器设备 、测试方 法、测试报告 。 本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率 0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻 抗测试。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB 4793.1 —2007 测量、控制和实验室用电气设备的安全要求 第1部分：通用要求 GB/T 11313.201 射频连接器 第201部分：电气试验方法 反射系数和电压驻波比 SEMI E113 半导体加工设备射频功率传输系统规范（ Specification for semiconductor processing equipment RF power delivery systems ） SEMI E115 确定半导体处理设备射频功率传输系统中使用的匹配网络的负载阻抗和效率的测试方 法（Test method for determining the load impedance and efficiency of matching networks used in semiconductor processing equipment RF power delivery systems ） SEMI E143 测量 50Ω负载的功率和变化以及任何相位角 VSWR为2.0负载的功率变化和频谱的测试 方法（Test method for measuring power and variation into a 50 -Ω load and power variation and spectrum into a load with a VSWR of 2.0 at any phase angle ） 3 术语和定义 GB/T 11313.201 、SEMI E113 、SEMI E115 和SEMI E143 界定的以及下列术语和定义适 用于本文件。 负载牵引 load-pull 通过不断调节输入和输出端阻抗，找到有源器件输出功率最大的输入、输出匹配阻抗的测量技术。 史密斯圆图 Smith chart 在反射系数平面上标绘归一化输入阻抗或导纳等值圆族的计算图。 数据拟合 data fitting 现有数据透过数学方法代入数式的表示方式，通过采样、实验等方法获得若干离散数据，根据数据 得连续函数或更加密集的离散方程与已知数据相吻合的过程。 自动匹配 automatch 薄膜沉积、 刻蚀等工艺过程中等离子体阻抗变化， 通过阻抗匹配器实现整体传输电路共轭阻抗匹配， 使得入射功率始终达到最大、反射功率达到最小的过程。 4 原理 功率是影响等离子体的阻抗的条件之一，射频功放输出的瞬时功率由等离子体阻抗的变化来决定。 两者的变化相互作用，利用本测试方法量化该作用的程度，获得射频电源的动态阻抗值。 全国团体标准信息平台 T/GVS 007 —2022 4 5 测试环境条件