ICS 2 5.040.10 CCS J 54 团体 标准 T/TCCT 001—2022 激光精密加工设备检验检测 规范 Checking Standards for Laser Micromachining Equipment 2021 - 10 - 29发布 2022 - 05 - 08实施 天津市质检服务商会 发布 全国团体标准信息平台 T/TCCT 001 —2022 I 目次 前 言 ................................ ................................ ........... II 1 范围 ................................ ................................ ................ 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ...... 1 3 术语和定义 ................................ ................................ .......... 1 4 产品类别 ................................ ................................ ............ 3 5 要求 ................................ ................................ ................ 3 6 检测方法 ................................ ................................ ............ 5 7 标记 ................................ ................................ ............... 11 8 文件 ................................ ................................ ............... 12 附录 A （规范性） 仪器设备 ................................ ....................... 13 参考文 献 ................................ ................................ ....... 14 全国团体标准信息平台 T/TCCT 001 —2022 II 前言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由 天津市质检服务商会 提出并归口。 本文件主要起草单位： 德中（天津）技术发展股份有限公司、天津凯普林激光科技有限公司、奥测 河北电子产品检测技术服务有限公司、北京量传计量技术服务有限公司、天津励测检测技术服务有限公 司。 本文件参与起草单位： 中国光学工程学会团体标准化技术委员会 、中国质量协会、 中国电子质量管 理协会、 天津市激光学会、 天津市 工商业联合会 标准化工作委员会、 深圳光韵达光电科技股份有限公司、 苏州英谷激光有限公司。 本文件主要起草人： 朱凯、杨赫、曲子琪、陈泽、郝继博、 屈元鹏、王铁男、曹新、姜晓丹、 王璐、 李勃、盛泉、马建立、崔晓敏 、曹艳、高帆。 全国团体标准信息平台 T/TCCT 001 —2022 1 激光精密加工设备检验检测 规范 1 范围 本文件规定了激光精密加工设备的产品类别、特性要求、安全通用要求、检测方法、标记和文件。 本文件适用于激光精密加工设备，包括配套使用的相关激光器。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB 7247.1 -2012 激光产品的安全 第1部分：设备分类、要求 GB/T 18490.1 -2017 机械安全 激光加工机 第1部分：通用安全要求 GB/T 5226.1 -2019 机械电气安全 机械电气设备 第1部分：通用技术条件 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 激光精密加工设备 laser micromachining equipment 激光加工设备一般指以激光 ——即受激辐射放大光作为材料加工的具体手段，结合机械系统、软件 系统、电控系统及光学系统组合而成的一种专用设备，可分为切割、焊接、表面处理等不同应用方向。 激光精密加工设备又称激光微加工设备，是激光加工设备中的一种，一般将设备系统精度在数微米 至数十微米、最小加工图形尺寸在数微米至数十微米、被加工材料厚度或有效加工深度在数百微米内的 激光加工设备称为激光精密加工设备。 本标准涉及的激光精密加工设备工艺范围一般以透切、 定深加工、 打孔等去除被加工材料的工艺为主。 3.2 激光器 laser 利用受激辐射原理使光在工作介质中放大或振荡发射的器件 3.3 光束直径 beam diameter 在垂直光束轴平面内，内含功率（或能量）占光束总功率（或能量）规定比例的最小孔径的直径。 3.4 束散角 divergence angle 光束宽度 [内含功率（能量）定义的 ]在远场增大形成的渐进面锥所构成的全角度。 3.5 光束指向稳定度 beam pointing stabilit y 所测光束轴角偏移量的标准方差的 2倍。 3.6 光束传输比 beam propagation ratio 全国团体标准信息平台 T/TCCT 001 —2022 2 M2 光束传输因子（倒数） beam propagation factor （deprecated ） K 光束参数积逼近理想高斯光束衍射极限程度的度量，即： 4d K1M0 2   式中： K——光束传输因子  ——波长，单位为微米（μ m） 0d——束腰直径，单位为毫米（ mm） ——束散角，单位为毫弧度（ mrad） 3.7 脉冲功率 pulse power 脉冲能量与脉冲持续时间之比 。 3.8 偏振 polarization 电磁波的振动限制在一定方向的现象 。 3.9 光束质量 beam quality 激光束可聚焦程度的度量，是表征激光束聚焦能力的指标 。 3.10 脉冲宽度 pulse duration 激光脉冲上升和下降到它的 50%峰值功率点的间隔时间 。 3.11 脉冲重复频率 pulse repetition frequency 指激光器每秒钟所投射出的脉冲数目。 3.12 行程 travel 运动部件移动的最大距离 。 3.13 工作台回转角 swivel angle of table 工作台可回转的最大角度 。 3.14 位置偏差 deviation of position 运动部件到达的实际位置减去目标位置之差 。 3.15 全国团体标准信息平台 T/TCCT 001 —2022 3 轴线单向重复定位精度 unidirectional repeatability of positioning 沿轴线或绕轴线的任一位置的单向重复定位的最大值 。 3.16 轴线单向定位精度 unidirectional accuracy of positioning of an axis 由单向定位系统偏差和单向轴线重复定位精度估算的 2倍的组合来确定的范围 。 3.17 振镜 galvo scanning system 又称扫描振镜，由摆动电机带动反射镜片转动，通过控制摆动电机摆动的角度，从而实现镜片反射 后出射光束受控偏转的运动组件。典型的振镜系统一般由两组摆动电机、电机驱动器、光学反射镜片组 成，并配以场镜共同实现聚焦光斑的受控运动。 4 产品类别 按照GB/T 4754 中的行业分类，本 文件的设备属于 C35专用设备制造业下的 C356电子和电工机械专用 设备制造。 5 要求 特性要求 5.1 5.1.1 激光器特性要求应符合表 1的规定。 表1 激光器特性要求 项目 单位 要求 光斑直径 百分比 偏差在标称值± 10%之内 光斑圆度 百分比 >标称值 发散角 毫弧度mrad <2.0mrad(Full Angle) 光束指向稳定性 每分钟或每摄氏度（ Per Minute/ Per ℃ ） <50.0urad 光束质量 M2 百分比 偏差在标称值± 10%之内 脉冲能量非稳定度 均方差rms <2