ICS 77.060 CCS H 25 中国腐蚀与防护学会团体标准 T/CSCP 0059.4-2025 微机电系统 (MEMS)材料腐蚀芯片及传感 器 第4部分：元器件选型及测试 Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) material corrosion chip and sensor —— Part 4：Component selecti ng and testing 2025-09-01发布 2025-10-01实施 中国腐蚀与防护学会 发 布 全国团体标准信息平台 T/CSCP 0059.4-2025 目 次 前言 …………………………………………………………………………………………………… ……III 引言 ……………………………………… ………………………………………………………………… IV 1 范围 ................................ ................................ ............... 6 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ..... 6 3 术语和定义 ................................ ................................ ......... 6 4. 技术要求 ................................ ................................ ........... 6 4.1 敏感元器件 ................................ ................................ .... 6 4.2 信号处理电路 ................................ ................................ .. 7 4.3 封装结构 ................................ ................................ ...... 8 5. 测试方法 ................................ ................................ ........... 8 5.1 外观检查 ................................ ................................ ...... 8 5.2 性能测试 ................................ ................................ ...... 8 5.3 长期稳定性测试 ................................ ................................ 9 6. 检验规则 ................................ ................................ .......... 10 6.1 例行检验 ................................ ................................ ..... 10 6.2 型式检验 ................................ ................................ ..... 10 6.3抽样检验 ................................ ................................ ..... 10 7. 标志、包装、运输、贮存 ................................ ............................ 10 7.1 标志 ................................ ................................ ......... 10 7.2 包装 ................................ ................................ ......... 10 7.3 运输 ................................ ................................ ......... 11 7.4 贮存 ................................ ................................ ......... 11 附录A ................................ ................................ ................ 12 全国团体标准信息平台 T/CSCP 0059.4-2025 检验项目 ................................ ................................ ......... 12 全国团体标准信息平台 T/CSCP 0059.4-2025 前 言 本文件按照 GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件 的结构和起草规则》的规定起 草。 本文件是 T/CSCP 0059 -2025《微机电系统（ MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 》的第 4部分。 T/CSCP 0059 -2025《微机电系统（ MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 》已经发布了以下部分： ——第1部分：通用要求 ; ——第2部分：选材与评价 ; ——第3部分：测试方法 ; ——第4部分：元器件选型及测试 ; ——第5部分：电路设计及测试。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国腐蚀与防护学会提出。 本文件由中国腐蚀与防护学会归口。 本文件起草单位： 北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、南方电网科学研究院有限公司 、 广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研 究院、中国铁道科学研究院集团有限公司 。 本文件主要起草人： 杨小佳、李晓刚、程学群、郝文魁、黄路遥、张强、卢壹梁、黄增浩、陈云、 孙雷、李清、徐迪、朱仁政、廖永力、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张 博威、骆鸿、韩钰、马宏驰 。 本文件为首次发布。 全国团体标准信息平台 T/CSCP 0059.4-2025 引 言 《微机电系统（ MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》涵盖了 MEMS材料腐蚀芯片及传感器的设计、 选材、测试及芯片电路、元器件选型设计方法。目前，该标准由五个部分构成： ——第1部分：通用要求。目的是规定 MEMS材料腐蚀芯片及传感器通用要求，包括 MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的设计要求、选材要求、制造要求及测试要求。 ——第2部分：选材与评价。目的是规定 MEMS材料腐蚀芯片及传感器各部分材料的选材与评 价方法， 包括选材原则、常用材料类型及其性能指标、评价与验证方法 。 ——第3部分：测试方法。目的是规定 MEMS材料腐蚀芯片及传感器测试方法，包括测试项目 及方法、测试条件、性能评估指标及判定准则 。 ——第4部分：元器件选型及测试。目的是规定 MEMS材料腐蚀芯片及传感器的元器件选型及 测试，包括元器件技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 ——第5部分：电路设计及测试。目的是规定 MEMS材料腐蚀芯片及传感器的电路设计及测试 方法，包括电路设计要求、性能要求及测试方法。 全国团体标准信息平台 T/CSCP 0059.4-2025 微机电系统（ MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第4部分：元器件选型 及测试 1 范围 本文件规定了微机电系统（ Micro-Electro -Mechanica l System，以下简称 MEMS）材料腐蚀芯片及传 感器的元器件技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存 。 本文件适用于 MEMS材料腐蚀芯片及传感器的设计、制造、检验和使用过程中的元器件选型及测 试。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 10123 金属和合金的腐蚀 基本术语和定义 GB/T 11349.1 机械振动与冲击 机械导纳的试验确定 第1部分：基本术语与定义、传感器特性 GB/T 19292.1 金属和合金的腐蚀 大气腐蚀性 第1部分：分类