说明:收录全网最新的团体标准 提供单次或批量下载
!!!!"# !! ! "#" ! "$ $ $! ! !"#$%&’’()* %& ! ’ $%%&& " &""’ !"#$%&’()*+,-./01 #()*+),+(-.(/-(01+.21,/-).3,4*5.4(-26)(*-..1*.46471*8)2-,.9:*1*71*()7( .7)**4*5 &""’ ; "% ; $% 23 &""( ; "# ; "$ 45 !"#$%&’’(+,-./0/123 !’’()*456789 23!!!! !! " !! "#$%&’( !"#$%&’() ! *+ " )*+,-./012345 # 6758459:;#$< 0=> $% "#$? !"#$%&’() ! *+ @A & BCDEFGHIJ6750K;LM & NO23PQ845 R?FGSTU % @HVW801=>;XY5’(Z[#$;\] % "#$;^_ ! ‘abc^_ % "#$deZGfghijklCm % "#$dnZGfgh#$:oVpqlrs % "#$tuvw ’ xyvz2G{|}~ ! # eZGfghij#$ " K # K $% S % "#$1 &&’ vw ’ () Gfgh $%*+ % "#$ ,- tu . ’ /0 # 12 Z # 345 # 678 # 9: # ;<= % "#$dnZGfgh#$:oVpql > | ?@ % "#$‘ ABCD % ! !" ! # !""## " #$$% # !! " !! 23;IJ675 EF , GHIJKLMNOP i QRS ; # K ! KTUVWX c; Y-Z[\ ] " ‘ ^_‘ Z2 a b; bcd (; efgh # ijklI ?Z f ;, m # ‘n O o @HZ p #$; q rs? ! tu ; vw R # xy‘ Z2 a b; bcd ( z{ 8Z f R2 a b; bcV|L}c j; C~V !"#$ E"#$ " "#$ E %& 23 ’( IJ6750K; )* : + # , ; E ‘23;D - =? d (=CD ] ./ (;=> 01234 E ? 23 E 5 ^_ \]; 67 -h " 8 O 9 = %& @Hc01A : \ ;< 2 => ? 01=> @ ‘ AB #$ " " !" ! # !""## " #$$% $%&’()*+,-./01234 ! ! 56 "#$\]E( L Mw CDE >0]23 ’( IJ675;=> ! "#$ F ( G +,- " HIJ c 4 0K KL " MN ; O*P 23 ’( ;IJ675 ! F ( G F Q &)),, 8 R R " 45 -’) # , 8 R R; ST " U N 8 p V 23 ! # ! 758#9:; WX : + e; YZ/[ "#$; \ ( ]^ K ‘"#$; YZ ! _ E ‘ab ; \ ( : + # F cd S G;% e v $ <fghi ;LM % j % ekl<F ( G "#$ ! m] # nopq "#$ r K k = ; s = $%E 5 Wd ( tu : + ; vwk " ! _ E <‘xab ; \ ( : + # F vwk " F ( G "#$ ! ./ & #&+-0+ ! O*P a bVW !"#$%&’() ’ *+ ! )*+,-./012345 " 6758459:;#$<0=> & ! <=>?@ d ./ & #&+-0+ 2y ;8 RWO*P VW V ] zF ( G "#$ ! & 1 ! &’()* ! $%&’()*&+’$$ { 23; |( ‘ s } 6 ( j # O23 ’( ;IJ] ~ L # @ o G ! ] Z " 6 ( ; v #$ T # / %& ’ 23RSGIJ] ~ ; v #( ! )* & S + ! pq S , Z " 6 ( ; < i # Wr - ( "%(2 " "%32 " "%42 " "/52 j "%(6 " "%36 " "%46 " "/56 0’ . ! s VW; / P ?@ 01 ’ & ! A ! V ! W "%(2 "%32 "%42 "/52 "%(6 "%36 "%46 "/56 0K= 2 IJ $ " % IJ $ " % IJ $ " % IJ $ " % IJ $ " % IJ $ " % IJ $ " % IJ $ " % Z " ’( 3 ( $ % % 3 ( $ % % 3 ( $ % % |( $ / % 3 ( $ % % 3 ( $ % % 3 ( $ % % |( $ / % Z " 6 ( 45 $ ( % * v 6 $ 3 % IJ v 6 $ 4 % s } $ / % 45 $ ( % * v 6 $ 3 % IJ v 6 $ 4 % s } $ / % 0K Z[* ) +7 [ $ 2 % * ) +7 [ $ 2 % * ) +7 [ $ 2 % * ) +7 [ $ 2 % 8 6 ( $ T $ 6 % 8 6 ( $ T $ 6 % 8 6 ( $ T $ 6 % 8 6 ( $ T $ 6 % & !" ! # !""## " #$$% B ! ! &’()*CDB ’ ! 34EF ’ 1 ! ! &’()*G1HIJKL$%MNOPQ*G1H > 236 9: ]oi ; o < ; L M DE = ! >?@A " \ B # o @ACD ] EF L G # 23 V @AB H cb E EF L I # F B s J K] K L M $ @A e LM 0KF B L L 9:K # H W 0 MN L M ( $ )* - S + # 7 d~ 2 ! & " O m $ B # ! +,-4$%Q*1HCDB ! " ! #$ % ! ) "% & &&&&&&&&&&! & " !! 2 e ’ ! ((( O @A V 23@ -’( \ B S0 M ; *L M ( # % ) # ((( )d PBQ L % [ # % % , ) $ ((( @A ’( R # , - ) ! ) ((( ,- d @AS ^ ; !T ] cb ; U bL M # % ) & ((( @A I 23@ -’( ;w C # , ) r ‘ ’ 8 ( $ - !" ! # !""## " #$$% ’ 1 # ! RST.UB # VW ! X9KYZG[\ " ) " * + # ’ % ( $%%%%%%%%%%%%%%# - $ !! Fe & ) ’’’ 2345 ( * ’’’ R W @ABVW ( ’ ’’’ R @A V 23R ’( VW ( ( ’’’ W @A V 23 W’( VW " ’ 1 & ! ]^[\ O0K j ! X@A \ BVW * Y O Z $ j [\ ] ! ]= 0 M L M ( ! ^ ~ 2 # & $ %& " _ ! W M ’ V ( " /[ ‘5 ;0K ! W d " _a " _ m Z " 6 ( 8 s 5J " ! b ] " _ mIJ675 " % ! _‘ab % 1 ! ! O./0K; [ c e ! } 7 @AB j d@A 0K ; \ B ;@ o e * l l \ t0K [ f ; 7 [ g i " % 1 # ! h#‘ [W %& IJ67501; ij l G ] ];450K kl " )mn T O Z $ j 0K [ c e o m0K kl ! Sm W p E g i ; " ij - CD@H; [ K c&qrs R C t 0K . q " % 1 & ! [ f 0K 5 ; [ K8F rDW p l GHI 0K Sm " % 1 ’ ! iju + ; < i j H G IJ6750K Z[ ; < i i< W p l GHI 0K Sm " ( ! cdefghi ( 1 ! ! 1Hef fg 23 vwa ^ ) D xa ^ ) @Aa ^ ) yz{ $ = * " _a ) | [ f} s = 8 y F ; ~ + " ( 1 ! 1 ! ! $%jklm ! ) ?0K ; " F ; # P t $ ! 23 < G FR %& ./0K " 23 vwa ^ ; F Q- p ^_ < i 23 F Q V 01X5; -h ! ) ‘ --,, ) ((,, j F %& 01D g = ’ W ; [ ( " ( 1 ! 1 # ! nolm CD23 vw ( < j @A ( <e *;=> " W CD?0K ; " F ; 6 K = ) W { ; e * " Ne * *+,’ O7 K y - # K . # %4! $ L R ! ];./ J2 uJ[ f ! [ f5BV - ‘ -,, j1 / ! j F % 01D g = ’ W ; BV " ( 1 ! 1 & ! pqlm | ]o +,-w CDE =@A ! @A 01 8 2 + ( < " X@A r - w G 23; X 3 N 4 @AB ; VW O Z $ V 0K j 5 w 6 ] # 1* - $" w C 2 + X5 - ‘ &)8, j1 / "

.pdf文档 GB-T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法

文档预览
中文文档 9 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分
温馨提示:本文档共9页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
GB-T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 第 1 页 GB-T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 第 2 页 GB-T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 第 3 页
下载文档到电脑,方便使用
本文档由 人生无常 于 2025-07-12 23:10:27上传分享
友情链接
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们微信(点击查看客服),我们将及时删除相关资源。