书 书 书犐犆犛 ７７ ． ０４０ 犎 ２１ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 １９９２１ — ２０１８ 代替 ＧＢ ／ Ｔ１９９２１ — ２００５ 硅抛光片表面颗粒测试方法 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狆犪狉狋犻犮犾犲狊狅狀狆狅犾犻狊犺犲犱狊犻犾犻犮狅狀狑犪犳犲狉狊狌狉犳犪犮犲狊 ２０１８  １２  ２８ 发布 ２０１９  ０７  ０１ 实施 国家市场监督管理总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书/G21 　　 /G22 /G21 /G22 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… １ 　 /G23 /G24 １ ……………………………………………………………………………………………………… ２ 　 /G25 /G23 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A １ ………………………………………………………………………………………… ３ 　 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F １ ……………………………………………………………………………………………… ４ 　 /G30 /G31 /G32 /G33 ４ ………………………………………………………………………………………………… ５ 　 /G34 /G35 /G36 /G37 ５ ………………………………………………………………………………………………… ６ 　 /G38 /G39 ７ ……………………………………………………………………………………………………… ７ 　 /G3A /G3B /G3C /G3D ７ ………………………………………………………………………………………………… ８ 　 /G3E /G3F /G40 /G41 ８ ………………………………………………………………………………………………… ９ 　 /G42 /G43 ８ ……………………………………………………………………………………………………… １０ 　 /G3A /G3B /G44 /G45 ９ ………………………………………………………………………………………………… １１ 　 /G46 /G47 /G48 ９ …………………………………………………………………………………………………… １２ 　 /G3B /G49 /G4A /G4B ９ ………………………………………………………………………………………………… /G4C /G4D Ａ （ /G25 /G23 /G26 /G4C /G4D ） 　 /G4E /G4F １３０ｎｍ ～ １１ｎｍ /G50 /G51 /G52 /G2B /G28 /G53 /G41 /G54 /G55 /G56 /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G54 /G33 /G5D /G5E /G5F １１ … /G4C /G4D Ｂ （ /G25 /G23 /G26 /G4C /G4D ） 　 /G3A /G2E /G55 /G56 /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C 犡犢 /G60 /G61 /G62 /G63 /G2E /G26 /G54 /G30 /G31 １８ …………………………… /G4C /G4D Ｃ （ /G25 /G23 /G26 /G4C /G4D ） 　 /G64 /G28 /G65 /G66 /G31 /G63 /G2E /G55 /G56 /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G67 /G68 /G69 /G2D /G6A /G6B /G6C /G6D /G69 /G54 /G3A /G3B /G30 /G31 ２０ ……… Ⅰ 犌犅 ／ 犜 １９９２１ — ２０１８ /G23 　　 /G24 　　 /G6E /G61 /G43 /G6F /G70 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ /G71 /G72 /G54 /G25 /G73 /G74 /G75 。 /G6E /G61 /G43 /G76 /G77 ＧＢ ／ Ｔ１９９２１ — ２００５ 《 /G53 /G78 /G79 /G41 /G57 /G58 /G7A /G7B /G3A /G3B /G30 /G31 》， /G7C ＧＢ ／ Ｔ１９９２１ — ２００５ /G7D /G7E ， /G7F /G80 /G81 /G26 /G82 /G83 /G84 /G85 /G33 /G52 /G2B /G86 /G87 /G88 /G89 ： ——— /G82 /G83 /G8A /G8B /G28 /G23 /G24 （ /G8C /G8D １ /G8E ， ２００５ /G8F /G90 /G8D １ /G8E ）。 ——— /G25 /G23 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G91 /G92 /G7F /G8A ＡＳＴＭＦ１６２０１９９６ 、 ＡＳＴＭＦ１６２１１９９６ /G2D ＳＥＭＩＭ１０３０２ ， /G93 /G94 /G8A ＧＢ ／ Ｔ６６２４ 、 ＧＢ ／ Ｔ１２９６４ 、 ＧＢ ／ Ｔ１２９６５ 、 ＧＢ ／ Ｔ１４２６４ 、 ＧＢ ／ Ｔ２５９１５．１ 、 ＧＢ ／ Ｔ２９５０６ 、 ＳＥＭＩ Ｍ３５ 、 ＳＥＭＩＭ５２ 、 ＳＥＭＩＭ５３ /G95 ＳＥＭＩＭ５８ （ /G8C /G8D ２ /G8E ， ２００５ /G8F /G90 /G8D ２ /G8E ）。 ——— /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G91 /G92 /G7F /G8A /G96 /G97 /G98 、 /G99 /G9A /G9B /G9C 、 /G9D /G4A /G54 /G6C /G6D 、 /G9E /G9F /GA0 /G48 、 /GA1 /GA2 /G26 、 /GA3 /GA4 /G26 、 /GA5 /GA6 ， /G93 /G94 /G8A /GA7 /GA8 /GA9 /GAA /GAB /GAC 、 /G6A /G6B /G6C /G6D /G69 、 /GAD /G6C /G6A /G6B /G6C /G6D /G69 、 /G86 /G87 /G69 /GAE /GAF 、 /GB0 /GB1 /G30 /G31 、 /GB2 /GB1 /G30 /G31 、 /GB3 /GB4 /GB5 /GB6 、 /G61 /G43 /GB7 /GB8 /GB9 /GBA /G5B /G5C /G54 /G2E /G2F ， /GBB /GBC /GBD ＧＢ ／ Ｔ１４２６４ /G82 /G83 /G8A /GBE /G96 /GBF /GC0 /G2B /G2C /G54 /G2E /G2F （ /G8C /G8D ３ /G8E ， ２００５ /G8F /G90 /G8D ３ /G8E ）。 ——— /G30 /G31 /G32 /G33 /G91 /G93 /G94 /G8A /GC1 /GC2 /GC3 /GBE /G79 /GC4 /GC5 /GA8 、 /GC6 /GC7 /G79 /GC4 /GC5 /GA8 /G95 /GA7 /GA8 /GA9 /GAA /GAB /GAC 、 /GC8 /G54 /G3A /G3B /GA9 /GC9 （ /G8C ４．１ 、 ４．３ 、 ４．４ 、 ４．５ ）。 ——— /GBC /GBD /G3A /G3B /G30 /G31 /GCA /G28 /GCB /GCC ， /G93 /G94 /G8A /GCD /GCE /G3A /G3B /GCF /GD0 /G54 /G34 /G35 /G36 /G37 （ /G8C ５．２ 、 ５．４ 、 ５．１０ 、 ５．１２ 、 ５．１３ 、 ５．１４ 、 ５．１６ 、 ５．１９ 、 ５．２０ 、 ５．２１ 、 ５．２３ ）。 ——— /G82 /G83 /G8A /G3A /G3B /G38 /G39 ， /GD1 /G63 /G96 /GD2 /GA7 /G41 /GD3 /GD4 /GD5 /GD6 /G5B /G5C 、 /GD7 /G79 /G55 /G56 /G95 /GD8 /GD9 /GDA /GDB /G5B /G5C 、 /G6D /GBD /G96 /GDC 、 /GDD /GC9 、 /GDE /GDF /G5B /G5C 、 /GE0 /GE1 /G5B /G5C /G2D /GB7 /GB8 /G5B /G5C （ /G8C /G8D ６ /G8E ， ２００５ /G8F /G90 /G8D ６ /G8E ）。 ——— /G93 /G94 /G8A “ /G3A /G3B /G3C /G3D ”， /GE2 /GA9 /G61 /G43 /G30 /G31 /GE3 /GE4 /G91 /G4F /G3C /G3D /G54 /G56 /GE4 /GE5 /GD2 /G8D ７ /G8E /GE6 /GE7 （ /G8C /G8D ７ /G8E ， ２００５ /G8F /G90 /G8D ４ /G8E ）。 ——— /G3E /G3F /G40 /G41 /G91 /G93 /G94 /G8A /GC1 /GC2 “ /GAB /GAC ” /G2D “ /GA5 /GE8 ” /G3E /G3F /G40 /G41 /G54 /GE9 /GEA （ /G8C ８．１０ 、 ８．１１ ）。 ——— /GE2 “ /G7F /GEB /GE4 /GEC /GED /GEE /