ICS23.160 CCSJ78 STIC 团 体 标 准 T/STIC110096—2024 半导体用多级罗茨干式真空泵 Multi-stagerootsdryvacuumpumpsforsemiconductor 2024-01-01发布 2024-01-01实施 上海市检验检测认证协会  发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/STIC110096—2024 I目次 前言..................................................................................II 1范围................................................................................1 2规范性引用文件......................................................................1 3术语和定义..........................................................................1 4型式、型号与基本参数................................................................1 型式............................................................................1 型号............................................................................1 基本参数........................................................................2 5技术要求............................................................................2 6测量方法............................................................................2 测量装置........................................................................2 测量条件........................................................................3 抽气速率和极限全压力的测量......................................................3 消耗功率的测量..................................................................3 外观的检查......................................................................3 工作温度的测量..................................................................3 噪声的测量......................................................................3 入口最大允许压力的测量..........................................................3 电气控制测试....................................................................3 无油测试.......................................................................3 振动测试.......................................................................4 漏率测试.......................................................................4 7抽样及判定方法......................................................................4 抽样方法........................................................................4 判定方法........................................................................4 8检验规则............................................................................4 9标志、包装、运输和贮存..............................................................5 标志............................................................................5 包装............................................................................5 运输............................................................................6 贮存............................................................................6 全国团体标准信息平台 T/STIC110096—2024 II前言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由上海市检验检测认证协会提出并归口管理。 本文件起草单位：上海汉钟精机股份有限公司、合肥通用机械研究院有限公司、昆山帕斯卡真空技 术有限公司、上海华革真空技术有限公司、武汉凯芯通半导体技术有限公司、方圆标志认证集团上海有 限公司、上海市检验检测认证协会。 本文件主要起草人：付娜、陈峰、彭申、曹雪妹、郑庆伟、吴俊峰、柯俊良、吴少坤、宋来富、张 毅。 本文件首批承诺执行单位：上海汉钟精机股份有限公司、合肥通用机械研究院有限公司、昆山帕斯 卡真空技术有限公司、上海华革真空技术有限公司、武汉凯芯通半导体技术有限公司、方圆标志认证集 团上海有限公司、上海市检验检测认证协会。 全国团体标准信息平台