团体 标准 T/GVS 015—2024 ICS 71.040.99 CCS T GVS N 51 远程等离子体源的解离率测试方法 Test method for dissociation rate of remote plasma source 2024- 10 - 10发布 2024 - 10 - 10实施 广东省真空学会 发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/GVS 015 —2024 I 目次 前言 ................................ ................................ ................. II 引言 ................................ ................................ ................ III 1 范围 ................................ ................................ ............... 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ..... 1 3 术语和定义 ................................ ................................ ......... 1 4 原理 ................................ ................................ ............... 1 5 符号与缩略语 ................................ ................................ ....... 1 6 测试环境条件 ................................ ................................ ....... 2 7 仪器设备及样品 ................................ ................................ ..... 2 8 操作准备 ................................ ................................ ........... 3 9 测试步骤 ................................ ................................ ........... 3 10 数据处理 ................................ ................................ .......... 4 11 测量不确定度 ................................ ................................ ...... 5 12 试验报告 ................................ ................................ .......... 5 附录A（规范性） 远程等离子体源的解离率试验报告样式 ................................ ... 6 全国团体标准信息平台 T/GVS 015 —2024 II 前言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由季华实验室提出。 本文件由广东省真空学会归口。 本文件起草单位： 季华实验室、江苏神州半导体科技有限公司、华南师范大学、深圳市恒运昌真空 技术股份有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司。 本文件主要起草人： 胡强、陈泽廷、郭晓东、杨振怀、黄星星、苏垦英、肖永能、郭远军、何斌、 黎天韵、张清培、黄小婵、朱国俊、潘小刚、乐卫平、金名亮、刘涛、林桂浩、林伟群、何志军、张文 杰、卫红。 本文件为首次发布。 全国团体标准信息平台