团 体 标 准 T/CIET722—2024ICS29.045 CCSH60 T CIET 半导体用高纯溅射靶材 HighPuritySputteringTargetsforSemiconductors 2024-10-23发布 2024-10-23实施 中国国际经济技术合作促进会  发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/CIET722—2024 I目次 前言..................................................................................II 1范围.................................................................................1 2规范性引用文件.......................................................................1 3术语和定义...........................................................................1 4技术要求.............................................................................2 5试验方法.............................................................................4 6检验规则.............................................................................4 7标识、包装、运输、贮存...............................................................5 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台