说明:收录全网最新的团体标准 提供单次或批量下载
ICS29.045 H80/84 团 体 标 准 T/IAWBS021-2024 碳化硅晶片边缘轮廓检测方法 Testmethodsforedgecontourofsilicon carbidewafers 2024-05-17发布 2024-05-24实施 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟发布 全国团体标准信息平台 T/IAWBS021—2024 I目次 前  言............................................................................................................................................II 1范围..................................................................................................................................................1 2规范性引用文件.............................................................................................................................1 3术语和定义......................................................................................................................................1 4方法提要..........................................................................................................................................1 5干扰因素..........................................................................................................................................1 6仪器设备..........................................................................................................................................2 7试样..................................................................................................................................................2 8测试程序..........................................................................................................................................2 9精密度..............................................................................................................................................3 10测试报告........................................................................................................................................3 全国团体标准信息平台 T/IAWBS021—2024 II前  言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规 则》的规定起草。 请注意本文件中的某些内容可能涉及专利,本文件的发布机构不承担识别这些专利的 责任。 本文件由中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟标委会归口。 本文件起草单位:北京天科合达半导体股份有限公司、江苏天科合达半导体有限公 司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、山东有研半导体材料有限公司 本文件主要起草人:佘宗静、彭同华、王大军、刘祎晨、王波、赵宁、张平、杨建、 郑红军、蔡丽艳 本文件为首次制定。 全国团体标准信息平台

.pdf文档 T-IAWBS 021—2024 碳化硅晶片边缘轮廓检验方法

文档预览
中文文档 7 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分
温馨提示:本文档共7页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
T-IAWBS 021—2024 碳化硅晶片边缘轮廓检验方法 第 1 页 T-IAWBS 021—2024 碳化硅晶片边缘轮廓检验方法 第 2 页 T-IAWBS 021—2024 碳化硅晶片边缘轮廓检验方法 第 3 页
下载文档到电脑,方便使用
本文档由 人生无常 于 2024-05-18 15:01:28上传分享
友情链接
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们微信(点击查看客服),我们将及时删除相关资源。