(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222441504.X (22)申请日 2022.09.15 (73)专利权人 常州捷佳创精密机 械有限公司 地址 213000 江苏省常州市新北区机电工 业园宝塔山路9号 (72)发明人 左国军　成旭　鞠璐平　付正超　 任金枝　 (74)专利代理 机构 常州市韬略专利代理事务所 (普通合伙) 32565 专利代理师 何聪 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种防止 工艺槽漂片的结构 (57)摘要 本实用新型提供了一种防止工艺槽漂片的 结构， 包括适于盛放清洗液并放置晶圆的槽体， 所述槽体的进口处设置有一压合机构， 且所述压 合机构与所述槽体转动连接； 以及所述压合机构 转动时的最低点低于所述槽体内晶圆的最高点； 其中所述压合机构盖合在所述槽体上后， 所述压 合机构延伸至晶圆的放置位， 以挡住晶圆漂起， 从而保证全自动清洗设备的正常运行， 同时， 该 结构简单， 易安装， 不会对晶圆造成损害或带来 污染。 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 CN 218014494 U 2022.12.13 CN 218014494 U 1.一种防止工艺槽漂片的结构， 包括适于盛放清洗液并放置晶圆 （300） 的槽体 （100） ， 其特征在于， 所述槽体 （100） 的进口处设置有一压合机构 （200） ， 且所述压合机构 （200） 与所述槽体 （100） 转动连接； 以及 所述压合机构 （20 0） 转动时的最低点低于所述槽体 （10 0） 内晶圆 （3 00） 的最高点； 其中 所述压合机构 （200） 盖合在所述槽体 （100） 上后， 所述压合机构 （200） 延伸至晶圆 （300） 的放置位， 以挡住晶圆 （3 00） 漂起。 2.如权利要求1所述的一种防止 工艺槽漂片的结构， 其特 征在于， 所述压合机构 （200） 包括两盖板 （210） ， 且两所述盖板 （210） 分别与所述槽体 （100） 铰 接； 以及 每个所述盖 板 （210） 上设置有一压合件 （2 20） ， 其中 所述盖板 （210） 盖合在所述槽体 （100） 上后， 所述压合件 （220） 延伸至晶圆 （300） 的放置 位， 以挡住晶圆 （3 00） 漂起。 3.如权利要求2所述的一种防止 工艺槽漂片的结构， 其特 征在于， 所述压合件 （2 20） 与所述盖 板 （210） 转动连接； 其中 所述盖板 （210） 盖合在所述槽体 （10 0） 上后， 所述压合件 （2 20） 下垂； 所述盖板 （210） 打开时， 所述压合件 （2 20） 贴合所述盖 板 （210） 。 4.如权利要求3所述的一种防止 工艺槽漂片的结构， 其特 征在于， 所述盖板 （210） 位于所述槽体 （100） 内的一侧安装有至少一个轴承座 （230） ， 所述压合 件 （220） 通过所述轴承座 （23 0） 与所述盖 板 （210） 相对转动。 5.如权利要求 4所述的一种防止 工艺槽漂片的结构， 其特 征在于， 所述压合件 （220） 为档杆 （221） ， 所述档杆 （221） 的一端插接在所述轴承座 （230） 内， 其 中 所述盖板 （210） 盖合在所述槽体 （100） 上后， 所述档杆 （221） 远离所述轴承座 （230） 的一 端下垂至晶圆 （3 00） 的放置位， 以挡住晶圆 （3 00） 漂起。 6.如权利要求5所述的一种防止 工艺槽漂片的结构， 其特 征在于， 所述档杆 （2 21） 包括插接段 （2 211） 、 连接段 （2 212） 和抵 接段 （2213） ， 以及 所述插接段 （2 211） 与所述轴承座 （23 0） 适配； 所述抵接段 （2213） 位于远离所述轴承座 （23 0） 的一侧； 所述插接段 （2211） 与所述连接段 （2212） 之间、 所述连接段 （2212） 与所述抵接段 （2213） 之间折弯而成； 其中 所述盖板 （210） 盖合在所述槽体 （100） 上后， 所述抵接段 （2213） 下垂至晶圆 （300） 的放 置位。 7.如权利要求 4所述的一种防止 工艺槽漂片的结构， 其特 征在于， 所述压合件 （220） 为挡板 （222） ， 且所述挡板 （222） 上开设有与所述轴承座 （230） 相适配 的转动槽 （2 221） ； 其中 所述盖板 （210） 盖合在所述槽体 （100） 上后， 所述挡板 （222） 远离所述轴承座 （230） 的一 端下垂至晶圆 （3 00） 的放置位， 以挡住晶圆 （3 00） 漂起。 8.如权利要求7 所述的一种防止 工艺槽漂片的结构， 其特 征在于，权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 218014494 U 2所述挡板 （2 22） 上还开设有配重 槽 （2222） 。 9.如权利要求2所述的一种防止 工艺槽漂片的结构， 其特 征在于， 所述盖板 （210） 位于远离所述盖板 （210） 与所述槽体 （100） 的铰接处设置有一斜槽 （211） ； 两盖板 （210） 上斜槽 （21 1） 的倾斜方向相反。 10.如权利要求2所述的一种防止 工艺槽漂片的结构， 其特 征在于， 所述盖板 （210） 位于所述盖板 （210） 与所述槽体 （100） 的连接处固定连接有一转动轴 （240） ； 且所述转动轴 （240） 的端部通过 连杆组件 （25 0） 连接有一 开盖电机 （26 0） ； 其中 所述开盖电机 （26 0） 适于控制所述盖 板 （210） 盖合或打开。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 218014494 U 3