(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222340782.6 (22)申请日 2022.09.02 (73)专利权人 扬州伟业创新科技有限公司 地址 225600 江苏省扬州市高邮高新 技术 产业开发区纬十九路 (72)发明人 曹志勇　杭智华　姜志刚　 (74)专利代理 机构 深圳科湾知识产权代理事务 所(普通合伙) 44585 专利代理师 马垚 (51)Int.Cl. B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) H01L 21/687(2006.01) H01L 21/673(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于单晶硅片的脱胶机 (57)摘要 本实用新型公开了单晶硅片脱胶技术领域 的一种用于单晶硅片的脱胶机， 包括清洗箱， 清 洗箱右侧壁 设有安装板， 安装板顶部开设有安装 槽， 安装槽内设有移动机构， 安装板顶部滑动连 接设有安装架， 安装架内顶部设有液压杆， 液压 杆底部设有安装杆， 安装杆底部设有脱胶框， 脱 胶框内设有三组放置板， 脱胶框内设有压紧机 构， 本实用在移动机构的作用下能够带动安装架 前后移动， 从而能够带动脱胶框在 清洗箱内前后 移动， 解决了现有的单晶硅片大多都是静置水洗 脱胶， 脱胶效果差， 清洗后的硅片表面存在脱胶 不彻底的问题， 提高单晶硅片 的成品率， 有利于 单晶硅片的生产。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 218108653 U 2022.12.23 CN 218108653 U 1.一种用于单晶硅片的脱胶机， 包括清洗箱(1)， 其特征在于： 所述清洗箱(1)右侧壁设 有安装板(3)， 所述安装板(3)顶部开设有安装槽(4)， 所述安装槽(4)内设有移动机构(2)， 所述安装板(3)顶部滑动连接设有安装架(5)， 所述安装架(5)内顶部设有液压杆(9)， 所述 液压杆(9)底部设有安装杆(8)， 所述安装 杆(8)底部设有脱胶框(6)， 所述脱胶框(6)内设有 三组放置 板(7)， 所述脱胶框(6)内设有压紧机构(10)。 2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片的脱胶机， 其特征在于： 所述移动机构(2) 包括安装槽(4)内后侧壁通过轴承连接设有的丝杆(23)， 所述丝杆(23)外壁套接设有滑块 (24)， 所述滑块(24)顶部与安装架(5)底部相连接， 所述丝杆(23)一端贯穿安装槽(4)内前 侧壁与外部设有的从动齿轮(22)相连接， 所述安装板(3)右侧壁设有电机(21)， 所述电机 (21)输出端连接设有与从动齿轮(2 2)相啮合的主动齿轮(20)。 3.根据权利要求2所述的一种用于单晶硅片的脱胶机， 其特征在于： 所述安装槽(4)内 底部开设有限位槽， 所述滑块(24)底部设有与限位槽相匹配的限位 块。 4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片的脱胶机， 其特征在于： 所述压紧机构(10) 包括脱胶框(6)内左右两侧均设有的滑杆(103)， 两组所述滑杆(103)一端均贯穿脱胶框(6) 内顶部与外部设有的连接板(100)相连接， 两组所述滑杆(103)外壁均套接设有弹簧(101)， 所述弹簧(101)一端与连接板(100)底部相连接， 所述弹簧(101)另一端与脱胶框(6)顶部相 连接， 两组所述滑杆(103)相对侧壁均设有三组压紧块(102)， 两组所述滑杆(103)底部均设 有活动杆(104)， 两组所述活动杆(104)一端均贯穿脱胶框(6)内底部与外部设有的滑动板 (106)相连接， 所述脱胶框(6)底部通过轴承连接设有螺纹杆(105)， 所述螺纹杆(105)一端 贯穿滑动板(10 6)顶部与外 部设有的转动板(107)相连接 。 5.根据权利要求4所述的一种用于单晶硅片的脱胶机， 其特征在于： 三组所述放置板 (7)在所述脱胶框(6)内竖直方向上呈线性阵列分布， 三组所述放置板(7)顶部左右两侧均 开设有与滑杆(10 3)相匹配的通 孔。 6.根据权利要求4所述的一种用于单晶硅片的脱胶机， 其特征在于： 三组所述压紧块 (102)分别位于三组所述 放置板(7)上方， 所述压紧块(102)底部均设有防滑层。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218108653 U 2一种用于单晶硅片的脱胶机 技术领域 [0001]本实用新型 涉及单晶硅片脱胶技 术领域， 具体为 一种用于单晶硅片的脱胶机 。 背景技术 [0002]单晶硅片： 硅的单晶体， 是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。 不同的方向具有 不同的性质， 是一种良好的半导材料,用于制造半导体器件、 太阳能电池等； 用高纯度的多 晶硅在单 晶炉内拉制而成,单 晶硅片的清洗就是对切割后的单晶硅片进行清洗， 在对单 晶 硅胶脱胶的时候大多都是采用水洗的方式。 [0003]现有的脱胶机在进行清洗脱胶的时候单晶硅片大多都是静置水洗， 脱胶效果差， 清洗后的硅片表面存在脱胶不彻底的现象， 降低了单 晶硅片的成品率， 不利于单 晶硅片的 生产， 因此， 需要一种用于单晶硅片的脱胶机 。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅片的脱胶机， 以解决上述背景技术中 提出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种用于单晶硅片的脱胶机， 包 括清洗箱， 所述清洗箱右侧壁设有安装板， 所述安装板顶部开设有安装槽， 所述安装槽内设 有移动机构， 所述安装板顶部滑动连接 设有安装架， 所述安装架内顶部 设有液压杆， 所述液 压杆底部 设有安装杆， 所述安装杆底部 设有脱胶框， 所述脱胶框内设有三组放置板， 所述脱 胶框内设有压紧机构。 [0006]进一步的， 所述移动机构包括安装槽内后侧壁通过轴承连接设有的丝杆， 所述丝 杆外壁套接设有滑块， 所述滑块顶部与安装架底部相连接， 所述丝杆一端贯穿安装槽内前 侧壁与外部设有的从动齿轮相连接， 所述安装板右侧 壁设有电机， 所述电机输出端连接设 有与从动齿轮相啮合的主动齿轮。 [0007]进一步的， 所述安装槽内底部开设有限位槽， 所述滑块底部设有与限位槽相匹配 的限位块。 [0008]进一步的， 所述压紧机构包括脱胶框内左右两侧均设有的滑杆， 两组所述滑杆一 端均贯穿脱胶框内顶部与外部设有的连接板相连接， 两组所述滑杆外壁均套接设有弹簧， 所述弹簧一端与连接板底部相连接， 所述弹簧另一端与脱胶框顶部相连接， 两组所述滑杆 相对侧壁均设有三组压紧块， 两组所述滑杆底部均设有活动杆， 两组所述活动杆一端均贯 穿脱胶框内底部与外部设有的滑动板相连接， 所述脱胶框底部通过轴承连接设有螺纹杆， 所述螺纹杆一端贯 穿滑动板顶部与外 部设有的转动板相连接 。 [0009]进一步的， 三组所述放置板在所述脱胶框内竖直方向上呈线性阵列分布， 三组所 述放置板顶部左右两侧均开设有与滑杆相匹配的通 孔。 [0010]进一步的， 三组所述压紧块分别位于三组所述放置板上方， 所述压紧块底部均设 有防滑层。说　明　书 1/3 页 3 CN 218108653 U 3