(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222380724.6 (22)申请日 2022.09.07 (73)专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司 地址 中国台湾新竹市 专利权人 台积电 （中国） 有限公司 (72)发明人 周志晓　齐枫　李柏春　 (74)专利代理 机构 北京东方亿 思知识产权代理 有限责任公司 1 1258 专利代理师 尹红敏 (51)Int.Cl. B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 定位治具 (57)摘要 本申请公开了一种定位治具， 用于辅助安装 卡盘上的定位销， 定位治具包括： 本体， 包括沿第 一方向相对设置的第一表面和第二表 面， 以及连 接于第一表 面和第二表面之间的第三表面、 及贯 穿第一表 面并沿第一方向延伸的定位孔， 定位孔 用于容纳至少部分定位销， 多个定位孔沿圆形轨 迹均匀间隔分布； 让位部， 由部分第三表面朝向 本体内凹陷而成， 在第一方向上， 让位部贯穿于 第一表面和第二表面； 支撑部， 连接于第二表面， 并由第二表 面沿第一方向延伸设置， 支撑部用于 支撑本体。 本申请公开的定位治具降低了卡盘安 装定位销 时， 定位销安装角度的差异， 提高定位 销的安装质量和安装效率。 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 CN 217912066 U 2022.11.29 CN 217912066 U 1.一种定位治具， 用于 辅助安装卡盘上的定位销， 其特 征在于， 所述定位治具包括： 本体， 包括沿第一方向相对设置的第一表面和第二表面， 以及连接于所述第一表面和 所述第二表面之间的第三表面、 及贯穿第一表面并沿所述第一方向延伸的定位孔， 所述定 位孔用于容纳至少部分定位销， 多个所述定位 孔沿圆形轨 迹均匀间隔分布； 让位部， 由部分所述第三表面朝向所述本体 内凹陷而成， 在所述第一方向上， 所述让位 部贯穿于所述第一表面和所述第二表面； 支撑部， 连接于所述第二表面， 并由所述第二表面沿所述第 一方向延伸设置， 所述支撑 部用于支撑所述本体。 2.根据权利要求1所述的定位治具， 其特征在于， 所述定位孔贯穿第 一表面和第 二表面 设置。 3.根据权利要求1所述的定位治具， 其特征在于， 所述本体上设置有沿所述圆形轨迹径 向方向延伸并由所述第一表面沿所述第一方向凹陷设置的第一指示槽， 沿所述圆形轨迹的 径向方向， 所述第一指示槽和所述定位孔在一条直线上， 所述第一指示槽用于指示所述定 位孔位置。 4.根据权利要求3所述的定位治具， 其特征在于， 所述本体上还设置有沿所述第 一方向 延伸并由所述第三表面朝向所述定位孔凹陷设置的第二指示槽， 所述第二指示槽和所述第 一指示槽连接 。 5.根据权利要求1所述的定位治具， 其特征在于， 2个所述让位部沿所述圆形轨迹的圆 心对称排布。 6.根据权利要求1所述的定位治具， 其特征在于， 至少部分所述让位部与所述本体的连 接面为弧面。 7.根据权利要求1所述的定位治具， 其特征在于， 两个以上的所述支撑部关于所述圆形 轨迹的圆心对称设置 。 8.根据权利要求1所述的定位治具， 其特 征在于， 所述支撑 部包括： 延伸部， 沿第二方向延伸设置， 所述第二方向和所述第一方向相交； 凸出部， 设置在所述延伸部在所述第二方向上的两端， 所述凸出部从所述延伸部朝向 所述第二表面凸出设置， 所述凸出部和所述第二表面固定连接 。 9.根据权利要求8所述的定位治具， 其特征在于， 所述延伸部背离所述第 二表面的一侧 表面为平面。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217912066 U 2定位治具 技术领域 [0001]本申请属于半导体制造技 术领域， 尤其涉及一种定位治具。 背景技术 [0002]在半导体晶圆制造过程中需要使用卡盘抓取晶圆来进行晶圆清洗等工作。 卡盘包 括卡盘本体和插在卡盘本体上的定位销， 卡盘通过调节各定位销之间的距离来 抓取晶圆。 [0003]目前， 在卡盘首次使用以及卡盘质检或维修时， 需要人工在卡盘上安装定位销及 确定定位销安装状态， 随机性较大， 定位销安装质量有 待提升。 发明内容 [0004]本申请实施例提供一种定位治具， 用于辅助安装卡盘上的定位销， 能够提高定位 销的安装质量。 [0005]本申请实施例提供一种定位治具， 用于辅助安装卡盘上的定位销， 定位治具包括： 本体， 包括沿第一方向相对设置的第一表面和第二表面， 以及连接于第一表面和第二表面 之间的第三表面、 及贯穿第一表面并沿第一方向延伸的定位孔， 定位孔用于容纳至少 部分 定位销， 多个定位孔沿圆形轨迹均匀间隔分布； 让位部， 由部 分第三表面朝向本体内凹陷而 成， 在第一方向上， 让位部贯穿于第一表面和 第二表面； 支撑部， 连接于第二表 面， 并由第二 表面沿第一方向延伸设置， 支撑 部用于支撑 本体。 [0006]根据本申请第一方面的实施方式， 定位 孔贯穿第一表面和第二表面设置 。 [0007]根据本申请第一方面的实施方式， 本体上设置有沿 圆形轨迹径向方向延伸并由第 一表面沿第一方向凹陷设置的第一指示槽， 沿圆形轨迹的径向方向， 第一指示槽和定位孔 在一条直线上， 第一指示槽用于指示定位 孔位置。 [0008]根据本申请第一方面的实施方式， 本体上还设置有 沿第一方向延伸并由第三表面 朝向定位 孔凹陷设置的第二指示槽， 第二指示槽和第一指示槽连接 。 [0009]根据本申请第一方面的实施方式， 2个让位部沿圆形轨 迹的圆心对称排布。 [0010]根据本申请第一方面的实施方式， 至少部分让位部与本体的连接面 为弧面。 [0011]根据本申请第一方面的实施方式， 两个以上的支撑部关于圆形轨迹的圆心对称设 置。 [0012]根据本申请第一方面的实施方式， 支撑部包括： 延伸 部， 沿第二方向延伸设置， 第 二方向和 第一方向相交； 凸出部， 设置在延伸部在第二方向上的两端， 凸出部从延伸部朝向 第二表面凸出设置， 凸出部和第二表面固定连接 。 [0013]根据本申请第一方面的实施方式， 延伸部背离第二表面的一侧表面 为平面。 [0014]本申请实施例的定位治具用于辅助安装卡盘上的定位销， 定位治具包括本体， 本 体包括沿第一方向相对设置的第一表面和 第二表面， 定位孔贯穿第一表面并沿第一方向延 伸， 定位孔用于容纳至少部 分定位销， 多个定位孔沿圆形轨迹均匀间隔分布， 沿固定的圆形 轨迹均匀间隔分布的定位孔降低了各定位销安装角度的差异， 提高定位销的安装质量和安说　明　书 1/5 页 3 CN 217912066 U 3