(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222318010.2 (22)申请日 2022.08.31 (73)专利权人 杞县东磁新能源 有限公司 地址 475000 河南省开封市杞县葛岗镇楚 寨村 (72)发明人 蔡焱锋　李伟　孙阿龙　 (74)专利代理 机构 郑州银河专利代理有限公司 41158 专利代理师 王昱淇 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/14(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于掺 镓硅片脱胶机的喷淋装置 (57)摘要 本实用新型提供一种用于掺镓硅片脱胶机 的喷淋装置， 属于清洗设备技术领域， 其中用于 掺镓硅片脱胶机的喷淋装置， 包括喷淋箱和设置 在喷淋箱 体底部的排水槽， 喷淋箱为上端敞开的 长方体结构， 在喷淋箱的两侧壁上均匀间隔设置 若干转动喷淋管， 在喷淋箱的上端水平设置移动 喷淋管， 在移动喷淋管的两端分别连接第一转轴 和第二转轴， 第一转轴的外端转动连接驱动机 构， 第二转轴的外端通过轴承滑动连接第一支撑 板， 本实用新型可以从上部和两侧动态清洗硅 片， 也可以通过摆动冲洗， 对硅片各个角度进行 清洗， 清洗效果 好。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 218108612 U 2022.12.23 CN 218108612 U 1.一种用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置， 包括喷淋箱(100)和设置在喷淋箱(100)体底 部的排水槽(101)， 所述喷淋箱(100)为上端敞开的长方体结构， 在所述喷淋箱(100)的两侧 壁上均匀间隔设置若干转动喷淋管(102)， 在所述喷淋箱(100)的上端水平设置移动喷淋管 (103)， 其特征在于： 在所述移动喷淋管(103)的两端分别连接第一转轴(104)和第二转轴 (105)， 所述第一转轴(104)的外端转动 连接驱动机构(200)， 所述第二转轴(105)的外端通 过轴承(107)滑动连接第一支撑 板(108)。 2.如权利要求1所述的用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置， 其特征在于： 所述驱动机构 (200)包括套设在所述第一转轴(104)外侧的移动板(201)， 所述移动板(201)的外侧设置设 备室(202)， 自由滑穿所述移动板(201)的所述第一转轴(104)外端连接第一从动齿轮 (203)， 在所述第一从动齿轮(203)下方的左右两侧分别设置相互啮合的第二从动齿轮 (204)和第一主动齿轮(205)， 所述第一主动齿轮(205)的转轴连接在第一电动机(206)的输 出端上， 所述移动板(201)的下方水平开设螺纹孔(207)， 所述螺纹孔(207)内转动连接传动 蜗杆(208)， 所述传动蜗杆(208)的前端设置第三从动齿轮(209)， 在所述传动蜗杆(208)的 下方设置第二支撑板(210)， 所述第二支撑板(210)的上端设置第二电动机(211)， 所诉第三 从动齿轮(209)由所述第二电动机(21 1)前端的第二主动齿轮(214)驱动转动。 3.如权利要求2所述的用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置， 其特征在于： 在所述第 一主动 齿轮(205)和所述第二从动齿轮(204)的外侧均匀间隔设置若干用于拨动所述第一从动齿 轮(203)转动的拨 杆(212)。 4.如权利要求2所述的用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置， 其特征在于： 所述轴承(107) 的外侧设置燕形滑轨(106)， 所述第一支撑板(108)的内侧开设与所述燕形滑轨(106)相适 配的燕形滑槽(109)。 5.如权利要求2所述的用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置， 其特征在于： 在所述传动蜗杆 (208)的两端分别设置带有轴孔的支撑柱(213)， 所述支撑柱(213)的底部固定在所述第二 支撑板(210)上。 6.如权利要求2所述的用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置， 其特征在于： 在所述转动喷淋 管(102)和所述移动喷淋管(103)的外侧均匀间隔开设若干喷水口(110)， 所述转动喷淋管 (102)两端设置限位环(112)， 所述限位环(112)的上下两端通过螺栓(111)固定在所述喷淋 箱(100)的内壁上。 7.如权利要求2所述的用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置， 其特征在于： 所述第 一支撑板 (108)和第二支撑 板(210)均固定在所述喷淋箱(10 0)的外侧壁上。 8.如权利要求2所述的用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置， 其特征在于： 在所述排水槽 (101)内设置过滤网(113)， 所述排水槽(101)的上端开设卡槽(114)， 在所述过滤网(113)两 侧的上端设置与所述卡槽(114)相适配的卡块(115)， 在所述排水槽(101)外侧的所述喷淋 箱(100)上开设用于安装所述过 滤网(113)的滑孔(1 16)。 9.如权利要求2所述的用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置， 其特征在于： 所述转动喷淋管 (102)的两侧连接用于调节喷淋角度的旋钮(1 17)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218108612 U 2一种用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及清洗设备技术领域， 具体涉及一种用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装 置。 背景技术 [0002]随着大规模集成电路的发展,集成度的不断提高,线宽的不断减小,对硅片的质量 要求也越来越高,特别是对硅抛光片的表面质量要求越来越严， 在硅晶体管和集成电路生 产中,几乎每道工序都有硅片清洗的问题,硅片清洗的好坏对器件性能有严重的影响,处理 不当,可能使全部硅片报废,做不出管子来,或者制造出来的器件性能低劣,稳定性和可靠 性很差， 硅片清洗不管是对于从硅片加工的人,还是对于从事半导体器件生产的人来说都 有着重要的意 义。 [0003]现有的硅片喷淋清洗 的工艺较为简单， 仅仅是通过固定 的喷淋头清洗硅片， 清洗 效果并不是很好， 硅片清洗不够干净， 造成清洗效果较差的问题， 故而提出了一种用于掺镓 硅片脱胶机的喷淋装置 。 实用新型内容 [0004]有鉴于此， 本实用新型提供一种用于掺镓硅片脱胶机 的喷淋装置， 不仅可以从上 部和两侧动态 清洗硅片， 而且可以摆动冲洗， 对硅片各个角度进行清洗， 清洗效果 好。 [0005]为解决上述技术问题， 本实用新型提供一种用于掺镓硅片脱胶机的喷淋装置， 包 括喷淋箱和设置在喷淋箱体底部的排水槽， 喷淋箱为上端敞开的长方体结构， 在喷淋箱的 两侧壁上均匀间隔设置若干转动喷淋管， 在喷淋箱的上端水平设置移动喷淋管， 在移动喷 淋管的两端分别连接第一转轴和第二转轴， 第一转轴的外端转动连接驱动机构， 第二转轴 的外端通过轴承滑动连接第一支撑板， 轴承的外侧设置燕形滑轨， 第一支撑板的内侧 开设 与燕形滑轨相适配的燕形滑槽 。 [0006]优选的， 驱动机构包括套设在第一转轴外侧的移动板， 移动板的外侧设置设备室， 自由滑穿移动板的第一转轴外端连接第一从动齿轮， 在第一从动齿轮下方的左右两侧分别 设置相互啮合的第二从动齿轮和 第一主动齿轮， 第一主动齿轮的转轴连接在第一电动机的 输出端上， 在第一主动齿轮和 第二从动齿轮的外侧均匀间隔设置若干用于拨动第一从动齿 轮转动的拨 杆。 [0007]优选的， 移动板的下方水平开设螺纹孔， 螺纹孔内转动连接传动蜗杆， 传动蜗杆的 前端设置第三从动齿轮， 在传动蜗杆的下方设置第二支撑板， 第二支撑板的上端设置第二 电动机， 所诉第三从动齿轮由第二电动机驱动转动， 在传动蜗杆 的两端分别 设置带有轴孔 的支撑柱， 支撑柱的底部固定在第二支撑板上， 第一支撑板和第二支撑板均固定在喷淋箱 的外侧壁上。 [0008]优选的， 在转动喷淋管和移动喷淋管的外侧均匀间隔开设若干喷水口， 转动喷淋 管两端设置限位环， 限位环的上下两端通过螺栓固定在喷淋箱的内壁上， 转动喷淋管 的两说　明　书 1/3 页 3 CN 218108612 U 3