(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221950431.0 (22)申请日 2022.07.27 (73)专利权人 江苏芯德半导体科技有限公司 地址 210000 江苏省南京市浦口区浦口经 济开发区林春路8号 (72)发明人 陈小响　徐安强　 (74)专利代理 机构 南京华恒专利代理事务所 (普通合伙) 32335 专利代理师 裴素艳 (51)Int.Cl. B23K 26/362(2014.01) B23K 26/70(2014.01) H01L 21/67(2006.01) H01L 21/687(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆刻号打印辅助治具 (57)摘要 本实用新型属于 半导体封装技术领域， 具体 涉及一种晶圆刻号打印辅助治具， 包含固定放置 盘， 所述固定放置盘设置有用于放置晶圆的放置 台， 所述放置台设置有手动放置区域和用于定位 晶圆凹口的凹口定位柱， 所述手动放置区域和所 述凹口定位柱垂直设置， 所述固定放置盘的底部 设置有定位销， 实现了晶圆与打印机平台之间相 对固定， 避免了晶圆刻号打印过程中产生偏移这 一现。 权利要求书1页 说明书2页 附图3页 CN 217727510 U 2022.11.04 CN 217727510 U 1.一种晶圆刻号打印辅助治具， 其特征在于， 包含固定放置盘， 所述固定放置盘设置有 用于放置晶圆的放置台， 所述放置台设置有手动放置区域和用于定位晶圆凹口的凹口定位 柱 （4） ， 所述手动放置区域和所述凹口定位柱 （4） 垂直设置， 所述固定放置盘的底部设置有 定位销 （3） 。 2.根据权利要求1所述的晶圆刻号打印辅助治具， 其特征在于， 所述放置台包含12寸放 置台 （5） 和8寸放置台 （6） ， 所述12寸放置台 （5） 和所述8寸放置台 （6） 纵向同轴设置， 所述凹 口定位柱 （4） 为2个， 分别设置在所述12寸 放置台 （5） 和所述8寸 放置台 （6） 上。 3.根据权利要求2所述的晶圆刻号打印辅助治具， 其特征在于， 所述手动 放置区域包含 第一镂空区域 （7） 和第二镂空区域 （8） ， 所述第一镂空区域 （7） 设置在所述12寸放置台 （5） 上， 所述第二镂空区域 （8） 设置在所述8寸放置台 （6） 上， 所述第一镂空区域 （7） 和所述第二 镂空区域 （8） 均 与所述凹口定位柱 （4） 垂直设置 。 4.根据权利要求2所述的晶圆刻号打印辅助治具， 其特征在于， 所述12寸放置台 （5） 和 所述8寸放置台 （6） 之间设置有辅助平台 （11） ， 所述辅助平台 （11） 上设置有第三镂空区域 （9） 。 5.根据权利要求1所述的晶圆刻号打印辅助治具， 其特征在于， 所述定位销 （3） 的数量 至少为四个。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217727510 U 2一种晶圆刻号打印辅助治 具 技术领域 [0001]本发明属于半导体封装技 术领域， 尤其涉及一种晶圆刻号打印辅助治具。 背景技术 [0002]目前激光打印机对晶圆进行刻号打印， 是通过打印机设置有一带镂空区域的打印 机平台， 工作人员将晶圆手动倒扣放置在打印机平台上， 使得晶圆凹口的位置落在镂空区 域内， 激光从打印机平台的镂空 区域打印至晶圆凹口附近， 由于是手动放置晶圆， 晶圆和打 印机平台之间没有固定位置， 会存在晶圆放置不精准， 从而产生晶圆刻号打印偏移这一问 题。 发明内容 [0003]本实用新型目的在于提供一种晶圆刻号打印辅助治具,提高晶圆放置位置的准确 性， 克服打印偏移问题。 [0004]为解决上述技术问题， 本实用新型的一种晶圆刻号打印辅助治具的具体技术方案 如下： [0005]一种晶圆刻号打印辅助治具， 包含固定放置盘， 所述固定放置盘设置有用于放置 晶圆的放置台， 所述放置台设置有手动放置区域和用于定位晶圆凹口的凹口定位柱， 所述 手动放置区域和所述凹口定位柱垂直设置， 所述固定放置盘的底部设置有定位销， 实现了 晶圆与打印机平台之间相对固定， 避免了晶圆刻号打印过程中产生偏移这 一现象。 [0006]进一步， 所述放置台包含12寸放置台和8寸放置台， 所述12寸放置台和 所述8寸放 置台纵向同轴设置， 所述凹口定位柱为2个， 分别设置在所述12寸放置台和所述8寸放置台 上。 [0007]进一步， 所述手动放置区域包含第一镂空区域和第二镂空区域， 所述第一镂空区 域设置在所述 12寸放置台上， 所述第二镂空 区域设置在所述8寸放置台上， 所述第一镂空 区 域和所述第二镂空区域均 与所述凹口定位柱 垂直设置， 便 于手动精准 放置晶圆。 [0008]进一步， 所述12寸放置台和所述8寸放置台之间设置有辅助平台， 所述辅助平台上 设置有第三镂空区域， 方便对12寸晶圆进行激光打印。 [0009]进一步， 所述定位销的数量至少为四个， 打印机平台上设置有对应的定位凹槽， 将 固定放置盘固定在打印机平台上， 实现了晶圆刻号打印位置固定 。 [0010]本实用新型的一种晶圆刻号打印辅助治具， 通过固定放置盘采用凹口定位柱将晶 圆精准放置， 然后再利用固定放置盘底部的定位销将 固定放置盘固定到打印机平台上， 实 现了晶圆刻号打印位置固定， 避免了晶圆刻号打印过程中产生偏移这 一现象。 附图说明 [0011]图1为本实用新型的 晶圆结构示 意图； [0012]图2为本实用新型的一种晶圆刻号打印辅助治具 俯视图；说　明　书 1/2 页 3 CN 217727510 U 3