(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123306749.3 (22)申请日 2021.12.27 (73)专利权人 江西安芯美科技有限公司 地址 337000 江西省萍乡市安源区安源工 业园电子信息产业园B栋 (72)发明人 陆金发　 (74)专利代理 机构 南昌贤达专利代理事务所 (普通合伙) 36136 专利代理师 潘金凤 (51)Int.Cl. B05B 15/55(2018.01) B05C 5/02(2006.01) B05C 11/10(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体晶圆点胶装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种半导体晶圆点胶装 置， 具体涉及晶圆点胶领域， 包括工作台， 所述工 作台的顶部两侧对称固定连接有支撑柱， 一个所 述支撑柱的前侧设置有控制面板， 两个所述支撑 柱的相对一侧设置有支撑杆， 所述支撑杆的前侧 中部设置有点胶装置本体， 所述工作台的顶部正 中设置有存放晶圆的载料盘， 所述点胶装置本体 的一侧设置有胶水存放的储胶箱。 本实用新型首 先通过设置的压力泵可以将储水箱内部的液体 通过输水管对点胶针的内腔进行冲洗， 防止点胶 针内部残留的胶水凝固， 影响下次使用， 并通过 设置的加热丝与供电设备， 可以对输胶管在使用 时对经过的胶水进行加热， 防止胶水在输送过程 中冷却凝固， 影响点胶的正常使用。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 216779206 U 2022.06.21 CN 216779206 U 1.一种半导体晶圆点胶装置， 包括工作台(1)， 其特征在于： 所述工作台(1)的顶部两侧 对称固定连接有支撑柱(2)， 一个所述支撑柱(2)的前侧设置有控制面板(3)， 两个所述支撑 柱(2)的相对一侧设置有支撑杆(4)， 所述支撑杆(4)的前侧中部设置有点胶装置 本体(5)； 所述工作台(1)的顶部正中设置有存放晶圆的载 料盘(6)； 所述点胶装置 本体(5)的一侧设置有胶水存放的储胶箱(8)； 所述点胶装置 本体(5)的底部设置有用于点胶的点胶针(7)； 所述点胶装置 本体(5)的另一侧设置有用于清洗点胶针(7)的储水箱(9)。 2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆点胶装置， 其特征在于： 所述点胶装置本体 (5)的底部固定连接有连接头(10)， 所述连接头(10)的底端螺纹连接有点胶针(7)， 所述点 胶装置本体(5)的前侧顶部设置有显示 面板(12)。 3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆点胶装置， 其特征在于： 所述点胶装置本体 (5)的两侧对称固定连接有管道收缩箱(11)， 其中一个所述收缩箱(11)与储胶箱(8)之间设 置在输胶管(21)， 另一个所述收缩箱(1 1)与储水箱(9)之间设置有输水 管(20)。 4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆点胶装置， 其特征在于： 所述输胶管(21)的中 部套设有加热丝(13)， 所述加热丝(13)的一侧与供电设备(14)相连接， 所述输胶管(21)远 离管道收缩箱(1 1)的一端与连接 头(10)的内腔中部的管道相连通。 5.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆点胶装置， 其特征在于： 所述输水管(20)的中 部设置有三通阀(15)， 所述输水管(20)远离管道收缩箱(11)的一端与连接头(10)内腔中部 的管道相连通， 所述输水 管(20)远离管道收缩箱(1 1)的一端设置有压力泵(19)。 6.根据权利要求5所述的一种半导体晶圆点胶装置， 其特征在于： 所述三通阀(15)的中 部设置有阀芯(16)， 所述三通阀(15)的前端设置有开关(17)， 所述三通阀(15)的一端 固定 连接有通气孔(18)。 7.根据权利要求6所述的一种半导体晶圆点胶装置， 其特征在于： 所述阀芯(16)的截面 形状设置为弯月状， 所述 通气孔(18)远离三 通阀(15)的一端设置有防尘网。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216779206 U 2一种半导体晶圆 点胶装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及晶圆点胶技术领域， 更具体地说， 本实用新型涉及一种半导体晶 圆点胶装置 。 背景技术 [0002]随着经济技术的飞速发展， 市场对半导体需求的不断增加， 晶圆是制造半导体芯 片的基本材料， 晶圆的点胶技术是先进电子制 造业中至为重要的关键性技术， 其广泛应用 于芯片封装和集成电路装备中。 [0003]但是在实际使用时， 现有的点胶装置大多通过点胶针进行点胶工作， 当一次点胶 完成后， 容易导致点胶针内部残留胶水， 且长时间不使用， 会导致点胶针内部凝固堵塞， 不 便清理， 影响工作效率。 实用新型内容 [0004]为了克服现有技术的上述缺陷， 本实用新型的实施例提供一种半导体晶圆点胶装 置， 通过设置的三通阀与加热丝、 压力泵等结构的配合， 可以对胶水进行加热， 防止胶水凝 固， 并对点胶针的内腔进行冲洗， 以解决上述背景技 术中提出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种半导体晶圆点胶装置， 包括 工作台， 所述工作台的顶部两侧对称 固定连接有支撑柱， 一个所述支撑柱的前侧设置有控 制面板， 两个所述支撑柱的相对一侧设置有支撑杆， 所述支撑杆 的前侧中部设置有点胶装 置本体； [0006]所述工作台的顶部正中设置有存放晶圆的载 料盘； [0007]所述点胶装置 本体的一侧设置有胶水存放的储胶箱； [0008]所述点胶装置 本体的底部设置有用于点胶的点胶针； [0009]所述点胶装置 本体的另一侧设置有用于清洗点胶针的储水箱。 [0010]在一个优选地实施方式中， 所述点胶装置本体的底部固定连接有连接头， 所述连 接头的底端螺纹连接有点胶针， 所述 点胶装置 本体的前侧顶部设置有显示 面板。 [0011]在一个优选地实施方式中， 所述点胶装置本体的两侧对称固定连接有管道收缩 箱， 其中一个所述收缩箱与储胶箱之间设置有输胶管， 另一个所述收缩箱与储水箱之间设 置有输水管， 所述输胶管的中部套设有加热丝， 所述加热丝的一侧与供电设备相连接， 所述 输胶管远离管道收缩箱的一端与连接头的内腔中部的管道相连通， 所述输水管的中部 设置 有三通阀， 所述输水管远离管道收缩箱的一端与连接头内腔 中部的管道相连通， 所述输水 管远离管道收缩箱的一端设置有压力泵。 [0012]在一个优选地实施方式中， 所述三通阀的中部设置有阀芯， 所述三通阀的前端设 置有开关， 所述三通阀的一端固定连接有通气孔， 所述阀芯的截面形状 设置为弯月状， 所述 通气孔远离三 通阀的一端设置有防尘网。 [0013]本实用新型的技 术效果和优点：说　明　书 1/3 页 3 CN 216779206 U 3