(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111568408.5 (22)申请日 2021.12.21 (71)申请人 华海清科股份有限公司 地址 300350 天津市津南区咸水沽海河科 技园聚兴道1 1号 (72)发明人 陶红飞　刘远航　赵德文　路新春　 倪孟骐　 (51)Int.Cl. B24B 7/22(2006.01) B24B 27/00(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 49/04(2006.01) B24B 49/12(2006.01) B24B 51/00(2006.01) G06F 30/20(2020.01) (54)发明名称 利用混合核函数的磨削面形预测方法、 系统 及终端设备 (57)摘要 本发明提供了一种利用混合核函数的磨削 面形预测方法、 系统及终端设备， 方法包括： 设置 不同的输入变量， 对晶圆进行磨削， 其中， 所述输 入变量包括姿态调节参数、 加工参数和磨削过程 参数中的至少一个； 测量磨削后的晶圆厚度， 提 取晶圆的面形特征作为输出变量； 基于混合核函 数的方法改进支持向量回归算法； 采用改进支持 向量回归算法建立输入变量与输出变量之间的 映射关系， 得到面形预测模型。 本发明基于混合 核函数的方法改进支持向量回归算法， 采用改进 支持向量回归算法建立了晶圆磨削的面形预测 模型， 提高了模型的预测精度和泛化性能， 提高 了预测的准确性和可靠性。 权利要求书2页 说明书10页 附图5页 CN 114871887 A 2022.08.09 CN 114871887 A 1.一种利用混合核函数的磨削面形 预测方法， 其特 征在于， 包括： 设置不同的输入变量， 对晶圆进行磨削， 其中， 所述输入变量包括姿态调节参数、 加工 参数和磨削过程 参数中的至少一个； 测量磨削后的 晶圆厚度， 提取晶圆的面形 特征作为输出变量； 基于混合核函数的方法改进支持向量回归算法； 采用改进支持向量 回归算法建立输入变量与输出变量之间的映射关系， 得到面形预测 模型。 2.如权利要求1所述的磨削面形 预测方法， 其特 征在于， 还 包括： 将不同输入变量与其对应的输出变量 生成样本数据， 并划分训练集和 测试集。 3.如权利要求2所述的磨削面形 预测方法， 其特 征在于， 还 包括： 基于混合核函数的方法改进支持向量回归算法， 得到改进SVR模型； 利用训练集对改进SVR模型进行训练， 直到模型输出误差低于终止判据阈值， 得到训练 好的SVR模型； 输入测试集到训练好的SVR模型， 根据输出结果误差的大小和变化趋势调节模型的参 数， 得到所述 面形预测模型。 4.如权利要求1所述的磨削面形 预测方法， 其特 征在于， 所述混合核函数为： 其中， x1和x2为输入向量， λ1和 λ2为自定义的核函数系数， σ 为核函数 标准差。 5.如权利要求1所述的磨削面形 预测方法， 其特 征在于， 所述 面形预测模型为： 其中， f(X)为待求函数， m为样本容量， 和αi为拉格朗日乘子， κ( ·)为混合核函数， X 为输入变量， b为映射 函数的截距， Yi为样本标签， ∈为 不敏感损失参数。 6.如权利要求1所述的磨削面形预测方法， 其特征在于， 所述姿态调节参数包括磨削工 具的姿态参数、 用于保持晶圆的保持件的姿态参数以及磨削工具与保持件的相对姿态位置 关系中的至少一种； 所述加工参数包括保持件转速、 磨削主轴转速和磨削进给速度中的至 少一种； 所述磨削过程 参数包括晶圆在磨削过程中的磨削电机电信号。 7.如权利要求1所述的磨削面形预测方法， 其特征在于， 所述面形特征包括晶圆的凸凹 度和饱满度。 8.一种磨削系统， 其特 征在于， 包括： 用于保持晶圆的可 单独旋转的保持件； 用于对晶圆进行磨削的磨削工具； 用于测量晶圆厚度以获取晶圆的磨削面形的厚度测量装置；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114871887 A 2用于调节磨削工具和/或保持件的姿态的位姿调节机构； 以及， 磨削面形预测模块， 其用于实现如权利要求1至7任一项所述的利用混合核函数的磨削 面形预测方法。 9.一种终端设备， 其特征在于， 包括存储器、 处理器以及存储在所述存储器中并可在所 述处理器上运行的计算机程序， 所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求 1至7任 一项所述利用混合核函数的磨削面形 预测方法的步骤。 10.一种计算机可读存储介质， 其特征在于， 所述计算机可读存储介质存储有计算机程 序， 所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求 1至7任一项 所述利用混合核函数的磨 削面形预测方法的步骤。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114871887 A 3