(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122998535.0 (22)申请日 2021.12.01 (73)专利权人 上海伟测半导体科技股份有限公 司 地址 201201 上海市浦东 新区东胜路38号A 区2栋2F (72)发明人 曹凡利　李一然　崔勇彬　 (74)专利代理 机构 上海和华启核知识产权代理 有限公司 313 39 专利代理师 王娜娜 (51)Int.Cl. H01R 13/629(2006.01) H01R 13/639(2006.01) H01R 13/648(2006.01) H01R 31/06(2006.01)H01R 13/502(2006.01) H01B 11/00(2006.01) H01B 7/17(2006.01) (54)实用新型名称 一种通讯数据线 (57)摘要 本实用新型揭示了一种通讯数据线， 包括线 体； 所述线体两端均安装有铁壳连接器； 所述线 体外包覆有金属网层。 本实用新型提供的通讯数 据线在使用过程中能够有效削弱高压线对探针 台与测试器 之间的通讯干扰， 提高了晶圆测试过 程中的品质要求； 本实用新型提供的通讯数据线 安装拆卸方便， 从而 方便了对数据线线体进行更 换。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217087009 U 2022.07.29 CN 217087009 U 1.一种通讯数据线， 用于进行探针台与测试机平台之间的通讯连接， 其特征在于， 包括 线体； 所述线体两端均安装有铁壳连接器； 所述线体外包覆有金属网层。 2.如权利要求1所述的通讯数据线， 其特 征在于， 所述线体采用二十四芯电缆线。 3.如权利要求1所述的通讯数据线， 其特征在于， 所述铁壳连接器包括公插头和母插 座.所述公插头相匹配插设在母 插座上。 4.如权利要求3所述的通讯数据线， 其特征在于， 所述铁壳连接器上安装有用于限制所 述公插头和母 插座分离的固定件。 5.如权利要求4所述的通讯数据线， 其特征在于， 所述固定件包括沿所述公插头和母插 座衔接方向滑动安装在公插头端面的拆卸块、 与所述拆卸块抵触的L形支架、 设置在L形支 架远离所述拆卸块一端的限位块以及与所述限位块相匹配的卡块， 所述L形支架沿所述公 插头和母插座衔接方向的垂直方向滑动安装在公插头端面上， 且所述L形支架与所述公插 头之间连接有夹紧弹簧， 所述 卡块安装在母 插座外侧壁上。 6.如权利要求5所述的通讯数据线， 其特 征在于， 所述拆卸块端面上设置有防滑纹。 7.如权利要求5所述的通讯数据线， 其特征在于， 所述L形支架与所述拆卸块相抵触的 一端设置为圆弧状。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217087009 U 2一种通讯数据线 技术领域 [0001]本实用新型 涉及集成电路测试技 术领域， 特别是 涉及一种通讯数据线。 背景技术 [0002]为增强通讯线的抗干扰能力， 保护探针台GPIB通讯系统正常通讯， 目前的做法通 常仅仅是在GPIB数据线两端套 上两个磁环。 而这种方案的效果十分有限， 对于MOS高压项测 试， 远远满足不了大电压状态下的通讯需求。 当发生通讯异常后， 使探针台接受指令的时序 发生错乱， 从而使电机的步进 走位发生异常， 在针卡在与晶圆接触的状态下发生移动， 从而 造成针卡划针异常， 严重影响了生产的质量 安全。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于， 提供一种通讯数据线， 以削弱高压线对探针台与测试器 之间的通讯干扰， 提高晶圆测试 过程中的品质要求。 [0004]为解决上述技术问题， 本实用新型提供一种通讯数据线， 包括线体； 所述线体两端 均安装有铁壳连接器； 所述线体外包覆有金属网层。 [0005]进一步的， 所述线体采用二十四芯电缆线。 [0006]进一步的， 所述铁壳连接器包括公插头和母插座， 所述公插头相匹配插设在母插 座上。 [0007]进一步的， 所述铁壳连接器上安装有用于限制所述公插头和母插座分离的固定 件。 [0008]进一步的， 所述固定件包括沿所述公插头和母插座衔接方向滑动安装在公插头端 面的拆卸块、 与所述拆卸块抵触的L形支架、 设置在L形支架远离所述拆卸块一端的限位块 以及与所述限位块相匹配的卡块， 所述L形支架沿所述公插头和母插座衔接方向的垂直方 向滑动安装在公插头端面上， 且所述L形支架与所述 公插头之 间连接有夹紧弹簧， 所述卡块 安装在母 插座外侧壁上。 [0009]进一步的， 所述拆卸块端面上设置有防滑纹。 [0010]进一步的， 所述 L形支架与所述拆卸块相抵触的一端设置为圆弧状。 [0011]相比于现有技 术， 本实用新型至少具有以下有益效果： [0012]本实用新型提供的通讯数据线在使用过程中能够有效削弱高压线对探针台与测 试器之间的通讯干扰， 提高了晶圆测试 过程中的品质要求； [0013]进一步的， 本实用新型提供的通讯数据线安装拆卸方便， 从而方便了对数据线线 体进行更换。 附图说明 [0014]图1为本实用新型实施例中通讯数据线 整体结构示 意图； [0015]图2为本实用新型实施例中通讯数据线的L形支架安装示意图通讯数据线的线体说　明　书 1/3 页 3 CN 217087009 U 3