(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123282 215.1 (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 安徽长飞先进半导体有限公司 地址 241000 安徽省芜湖市高新 技术产业 开发区服 务外包园3号楼180 3 (72)发明人 刘敏　赵海明　仇成功　左万胜　 胡新星　唐建平　王丽多　袁松　 钮应喜　 (74)专利代理 机构 芜湖安汇知识产权代理有限 公司 34107 专利代理师 朱圣荣 (51)Int.Cl. G01D 21/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置 (57)摘要 本实用新型揭示了一种用 于薄膜应力和翘 曲测试的测试装置， 装置为环形的支架， 所述支 架内侧设向内延伸的支撑位， 所述支撑位设有至 少三个， 所述支撑位用于支撑待测试的片子， 所 述支架上设有滑槽， 所述滑槽内设有导轨， 所述 导轨上设有刻度， 所述滑槽放置有沿着导轨向支 架内滑动的指示块， 所述指示块下表 面设有与导 轨配合的滑 块。 本实用新型测试装置的指示块滑 至在水平的同一刻线进行测试， 确保了应力测试 在相同条件 下进行， 提高了应力测试结果的重复 性， 减少人为因素导致的片子滑落， 造成碎片， 提 高利润。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 217331223 U 2022.08.30 CN 217331223 U 1.一种用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置， 其特征在于： 装置为环形的支架， 所述支 架内侧设向内延伸的支撑位， 所述支撑位设有至少三个， 所述支撑位用于支撑待测试 的片 子， 所述支架上设有滑槽， 所述滑槽内设有导轨， 所述导轨上设有刻度， 所述滑槽放置有沿 着导轨向支 架内滑动的指示 块， 所述指示 块下表面设有与导轨配合的滑块。 2.根据权利要求1所述的用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置， 其特征在于： 所述指示 块为长方形结构， 向支 架内侧凸出有凸块， 所述滑块 为向上逐渐变粗的倒梯形 结构。 3.根据权利要求2所述的用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置， 其特征在于： 所述滑槽 内的导轨设有两个， 所述指示 块的下表面设有两个与导轨配合的滑块。 4.根据权利要求1、 2或3所述的用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置， 其特征在于： 所 述支撑位设有三个， 相邻夹角为120度。 5.根据权利要求4所述的用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置， 其特征在于： 所述支撑 位包括固定块、 连杆和托架， 所述支架内侧设有用于嵌入固定块的嵌入槽， 所述连杆连接固 定块和托架， 所述 托架为位于支架内的弧形 结构。 6.根据权利要求1或5所述的用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置， 其特征在于： 所述 支架内侧设有至少一个向内凹陷的凹槽 。 7.根据权利要求6所述的用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置， 其特征在于： 所述支 架、 支撑位和滑块均为铝合金 材质。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217331223 U 2一种用于薄膜应力和翘曲测试的测试装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉应力测试技 术领域。 背景技术 [0002]薄膜沉积在基体以后， 薄膜处于应变状态， 若以薄膜应力造成基体弯曲形变 的方 向来区分， 可将应力分为拉/张应力(tensile  stress)和压应力  (compressive  stress)， 拉应力是当膜受力向外伸张， 基板 向内压缩、 膜表面下凹， 薄膜因为有拉应力的作用， 薄膜 本身产生收缩的趋势， 如果膜层的拉应力超过薄膜的弹性限度， 则 薄膜就会破裂甚至剥离 基体而翘起。 [0003]压应力则呈相反的状况， 膜表面产生外凸的现象， 在压应力的作用下， 薄膜有向表 面扩张的趋势。 如果压应力到极限时， 则会使薄膜向基板内侧卷曲， 导致膜层起泡。 对于薄 膜应力的测试方法具有多样性， 我们常用曲率半径法， 通过测试衬底和薄膜衬底的曲率半 径， 可得到曲率半径倒数的差值， 通过公 式可得到的应力的结果。 在 对薄膜的应力进 行测试 时， 由于每次测试过程中， 无法确保夹具与外延片之间的间距， 使得应力测试结果的重复性 低。 此外， 支撑点与外延片具有较小的接触面积， 使得外延片容易滑落， 导致碎片， 提高成 本。 发明内容 [0004]本实用新型所要解决的技术问题是实现一种能够更加准确、 高效测试薄膜应力的 装置。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用的技术方案为： 一种用于薄膜应力和翘曲测 试的测试装置， 装置为环形的支架， 所述支架内侧设向内延伸的支撑位， 所述支撑位设有至 少三个， 所述支撑位用于支撑待测试 的片子， 所述支架上设有滑槽， 所述滑槽内设有导轨， 所述导轨上设有刻度， 所述滑槽放置有沿着导轨 向支架内滑动的指示块， 所述指示块下表 面设有与导轨配合的滑块。 [0006]所述指示块为长方形结构， 向支架内侧凸出有凸块， 所述滑块为向上逐渐变粗的 倒梯形结构。 [0007]所述滑槽内的导轨设有两个， 所述指示 块的下表面设有两个与导轨配合的滑块。 [0008]所述支撑位设有三个， 相邻夹角为120度。 [0009]所述支撑位包括固定块、 连杆和托架， 所述支架内侧 设有用于嵌入固定块的嵌入 槽， 所述连 杆连接固定块和托架， 所述 托架为位于支架内的弧形 结构。 [0010]所述支架内侧设有至少一个向内凹陷的凹槽 。 [0011]所述支架、 支撑位和滑块均为铝合金 材质。 [0012]本实用新型测试装置的指示块滑至在水平的同一刻线进行测试， 确保了应力测试 在相同条件下进行， 提高了应力测试结果的重复性， 减少人为因素导致的片 子滑落， 造成碎 片， 提高利 润。说　明　书 1/2 页 3 CN 217331223 U 3