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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123365035.X (22)申请日 2021.12.2 9 (73)专利权人 沈阳晖印电子科技有限公司 地址 110000 辽宁省沈阳市 浑南区祝科街 58-2号 (72)发明人 赵国民 丛凯春 雨宫康弘   (74)专利代理 机构 沈阳工匠智诚知识产权代理 事务所(普通 合伙) 2125 6 专利代理师 于婷婷 (51)Int.Cl. B65G 47/90(2006.01) G03F 7/26(2006.01) (54)实用新型名称 一种上下料机之结构 (57)摘要 本实用新型公开了一种上下料机 之结构, 包 括基座, 所述基座侧壁固定连接有显影机, 所述 基座与所述显影机底部分别安装有若干结构相 同的万向轮以及导轮, 所述基座上端固定安装有 第一基座安装板, 所述第一基座安装板上固定安 装有X轴移动模组, 所述X轴移动模组上活动安装 有X轴滑块, 所述X轴滑块上端固定安装有Y轴移 动模组, 所述Y轴移动模组上活动安装有Y轴滑 块, 所述Y轴滑块上端固定安装有支撑座, 所述支 撑座侧壁上固定安装有Z轴取料模组, 本实用新 型涉及显影机技术领域, 在基座上方设有X轴移 动模组和Y轴移动模组以及Z轴取料模组, 全程实 现自动上料下料以及放料, 替换了人工取料上料 的传统工艺, 其 提高了工作效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 216945164 U 2022.07.12 CN 216945164 U 1.一种上下料机之结构, 包括基座(1), 其特征在于, 所述基座(1)侧壁 固定连接有显影 机(2), 所述基座(1)与所述显影机(2)底部 分别安装有若干结构相同的万向轮以及导轮, 所 述基座(1)上端固定安装有第一基座安装板(3), 所述第一基座安装板(3)上固定安装有X轴 移动模组(4), 所述X轴移动模组(4)上活动安装有X轴滑块, 所述X轴滑块上端固定安装有Y 轴移动模组(5), 所述Y轴移动模组(5)上 活动安装有Y轴滑块, 所述Y轴滑 块上端固定安装有 支撑座(6), 所述支撑座(6)侧壁上固定安装有Z轴取料模组(7), 所述显影机(2)上壁面固定 安装有第二基座安装板(8), 所述第二基座安装板(8)上壁面固定安装有放置平台(9), 所述 放置平台(9)上方固定安装有一对料盒(10), 所述显影机(2)上方设有滑槽, 所述滑槽内安 装有工作平台(1 1), 所述第二基座 安装板(8)上设有对齐机构。 2.根据权利要求1所述的一种上下料机之结构, 其特征在于, 所述Z轴取料模组(7)上活 动安装有Z轴滑块, 所述Z轴滑块上固定安装有取 料收料臂板(12)。 3.根据权利要求1所述的一种上下料机之结构, 其特征在于, 所述对齐机构包括固定安 装在所述第二基座安装板(8)上的底 座(13), 所述底 座(13)上端固定安装有支撑件(14), 所 述支撑件(14)上端固定安装有L型组架(15)。 4.根据权利要求1所述的一种上下料机之结构, 其特征在于, 所述基座(1)内部设有空 间, 所述空间外 部设有一对拉门。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 216945164 U 2一种上下 料机之结构 技术领域 [0001]本实用新型 涉及显影机技 术领域, 具体为 一种上下料机之结构。 背景技术 [0002]在现有的光刻显影行业内暂时没有专门的上料设备, 由于各家公司产品本身在外 形上具有扁平, 宽厚比高, 单位体积的表面积小等特点, 所以通常是采用一些上料设备。 但 是, 这些上料机 设备多为设备上集成上料机, 不能适应行业内的多工序, 且成套设备价格较 昂贵, 在加上公司本身产品也具有一些区别于其他产品的外形特点, 使得这些通用的上料 机设备自动化程度偏低, 很多 过程都需要人工干预, 难以实现真正的自动化作业, 同时现有 技术中物料有若干个的取料机构都采用人工上料的传统工艺, 每次只能取一个料到上料机 构上, 然后在将料输送到标准的作业位置进行下一工序的进行, 加工完成后采用人工移走 或工作台传送移开, 因此, 整个工作过程需耗费时间较多,其人工上料的速度低, 而且工作 效率低, 也增 加了作业人员的劳动强度, 从而增 加了生产成本 。 实用新型内容 [0003]针对现有技术的不足, 本实用新型提供了一种上下料机之结构, 解决了现有装置 工作效率低的问题。 [0004]为实现以上目的, 本 实用新型通过以下技术方案予以实现: 一种上下料机之结构, 包括基座, 所述基座侧 壁固定连接有显影机, 所述基座与所述显影机底部分别安装有若干 结构相同的万向轮以及导轮, 所述基座上端固定安装有第一基座安装板, 所述第一基座安 装板上固定安装有X轴移动模组, 所述X轴移动模组上活动安装有X轴滑块, 所述X轴滑块上 端固定安装有Y轴移动模组, 所述Y轴移动模组上活动安装有Y轴滑块, 所述Y轴滑块上端固 定安装有支撑座, 所述支撑座侧壁上固定安装有Z轴取料模组, 所述显影机上壁面固定安装 有第二基座安装板, 所述第二基座安装板上壁面固定安装有放置平台, 所述放置平台上方 固定安装有一对料盒, 所述显影机上方设有滑槽, 所述滑槽内安装有工作平台, 所述第二基 座安装板上设有对齐机构。 [0005]优选的, 所述Z轴取料模组上活动安装有Z轴滑块, 所述Z轴滑块上固定安装有取料 收料臂板 。 [0006]优选的, 所述对齐机构包括固定安装在所述第二基座安装板上的底座, 所述底座 上端固定安装有支撑件, 所述支撑件上端固定安装有L型组架。 [0007]优选的, 所述基座内部设有空间, 所述空间外 部设有一对拉门。 [0008]有益效果 [0009]本实用新型提供一种上下料机之结构, 具备以下有益效果:本装置结构紧凑, 在基 座上方设有X轴移动模组和Y轴移动模组以及Z轴 取料模组, 通过取料收料臂板取得料盒内 的物料后, 先对齐后显影, 全程实现自动上料下料以及放料, 无需人工操作, 替换了人工取 料上料的传统工艺, 其提高了工作效率, 其有效降低了生产成本和作业人员劳动强度, 给人说 明 书 1/3 页 3 CN 216945164 U 3

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