(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111637227.3 (22)申请日 2021.12.2 9 (71)申请人 合肥钛柯精密机 械有限公司 地址 230088 安徽省合肥市高新区创新大 道106号明珠产业园2栋B区4层 (72)发明人 娄锋　 (74)专利代理 机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通 合伙) 11201 代理人 黄德海 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) G06T 7/00(2017.01) G06T 1/00(2006.01) B65C 9/00(2006.01) (54)发明名称 用于贴标机的检测模组及贴标机 (57)摘要 本发明公开了一种用于贴标机的检测模组 及贴标机， 包括： 检测台、 夹持单元、 两个图像采 集单元和图像分析单元； 夹持单元设于检测台， 夹持单元适于夹持晶圆以带动晶圆在第一方向 移动； 两个图像采集单元在第二方向上间隔开设 置在检测台上， 在第二方向上， 两个图像采集单 元分别位于夹持单元在第二方向上的两侧， 两个 图像采集单元分别采集晶圆在第二方向上的不 同区域的图像信息， 第一方向垂直于第二方向。 根据本发明实施例的用于贴标机的检测模组， 检 测模组自动化程度， 控制智能化， 能够对每个所 要检测的晶圆实现精确定位控制， 且响应速度快 和系统的动态性能好。 设备整体结构紧凑、 集成 度较高， 工作过程智能， 数据化。 权利要求书1页 说明书7页 附图14页 CN 114388408 A 2022.04.22 CN 114388408 A 1.一种用于贴标机的检测模组(10 0)， 其特征在于， 包括： 检测台(1)， 所述检测台(1)提供图像采集的可识别范围； 夹持单元(2)， 所述夹持单元(2)设于所述检测台(1)， 所述夹持单元(2)适于夹持晶圆 以带动所述晶圆在第一方向移动； 图像采集单元(3)， 所述图像采集单元(3)在第二方向上设置在 所述检测台(1)上， 所述 图像采集单元(3)的图像采集范围包括检测台(1)上的区域， 所述第一方向垂 直于所述第二 方向； 图像分析单元， 两个所述图像采集单元(3)与所述图像分析单元通讯相连， 所述图像分 析单元综合分析两个所述图像采集单 元(3)采集到的所述图像信息以获取 所述晶圆的ID。 2.根据权利要求1所述的用于贴标机的检测模组(10 0)， 其特征在于， 还 包括： 控制单元(5)， 所述控制单元(5)与所述图像采集单元(3)、 所述夹持单元(2)通讯相连， 当所述晶圆的一半区域到达两个所述图像采集单元(3)的拍摄范围时， 所述控制单元(5)控 制两个所述图像采集单元(3)采集所述晶圆的所述一半区域的图像信息； 当所述晶圆的另 一半区域到达两个所述图像采集单元(3)的拍摄范围时， 所述控制单元(5)控制两个所述图 像采集单 元(3)采集所述晶圆的所述另一半区域的图像信息 。 3.根据权利 要求1所述的用于贴标机的检测模组(100)， 其特征在于， 所述夹持单元(2) 包括： 伸缩机构(21)， 所述伸缩机构(21)的一端与检测台(1)相连； 夹爪部(22)， 所述夹爪部(22)设于所述伸缩机构(21)的另一端， 在所述伸缩机构(21) 的驱动下， 所述夹爪部(2 2)带动所述晶圆沿所述第一方向移动。 4.根据权利要求3所述的用于贴标机的检测模组(10 0)， 其特征在于， 还 包括： 料盒， 所述料盒用于存放多个所述晶圆， 所述料盒位于所述检测单元背离所述伸缩机 构(21)的一侧， 所述料盒具有与所述夹爪部(2 2)相对设置的取 料口。 5.根据权利要求 4所述的用于贴标机的检测模组(10 0)， 其特征在于， 还 包括： 升降单元(7)， 所述升降单元(7)设于所述料盒的底部以改变所述料盒在上下方向上的 位置。 6.根据权利要求1 ‑5中任一项所述的用于贴标机的检测模组(100)， 其特征在于， 所述 图像采集单元(3)为相机， 两个所述图像采集单元(3)的拍摄区域在所述第二方向部分重 叠。 7.根据权利要求1 ‑5中任一项所述的用于贴标机的检测模组(100)， 其特征在于， 在所 述第二方向上， 两个所述图像采集单 元(3)之间的间距小于所述晶圆的直径。 8.根据权利要求1 ‑5中任一项所述的用于贴标机的检测模组(100)， 其特征在于， 两个 所述图像采集单 元(3)的平行设置且高度一 致。 9.根据权利要求1 ‑5中任一项所述的用于贴标机的检测模组(100)， 其特征在于， 还包 括： 连接板(8)， 所述图像采集单元(3)通过所述连接板(8)与所述检测台(1)可拆卸地相 连。 10.一种贴标机， 其特征在于， 包括： 根据权利要求1 ‑9中任一项所述的用于贴标机的检 测模组(10 0)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114388408 A 2用于贴标机的检测模组及贴标机 技术领域 [0001]本发明涉及贴标设备 领域， 尤其是 涉及一种用于贴标机的检测模组及贴标机 。 背景技术 [0002]全自动贴标机是用于半导体项目的科技， 主要是读取晶圆上的特别ID和转换ID， 然后贴标在晶圆上。 现有的贴标机分为两种检测半自动和自动两种类型。 半自动的贴标机 主要是操作人员手动控制把晶圆ID移到检测模组的下面做设定读取晶圆上的特别ID， 然后 其他的晶圆才会根据ID位置的设定运行； 自动的贴标机的相机会安装在旋转轴移动寻找 ID； 但是现有的自动贴标机相机移动寻找时间较长， 移动相机的设计复杂。 发明内容 [0003]本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。 为此， 本发明的一个目的 在于提出一种用于贴标机的检测模组， 所述用于贴标机的检测模组整体结构紧凑、 集成度 较高， 工作效率较高， 工作过程智能， 数据化， 为识别晶圆提供 更大的检测空间。 [0004]根据本发明实施例的用于贴标机 的检测模组， 包括： 检测台、 夹持单元、 两个图像 采集单元和图像分析单元； 所述检测台提供图像采集的可识别范围； 所述夹持单元设于所 述检测台， 所述夹持单元适于夹持晶圆以带动所述晶圆在第一方向移动； 所述图像采集单 元在第二方向上设置在所述检测台上， 所述图像采集单元的图像采集范围包括检测台上的 区域， 所述第一方向垂直于所述第二方向； 两个所述图像采集单元与所述图像分析单元通 讯相连， 所述图像分析单元综合分析两个所述图像采集单元采集到的所述图像信息以获取 所述晶圆的ID。 [0005]根据本发明实施例的用于贴标机的检测模组， 在检测台上处于第一方向所在的直 线上设置夹持单元和晶圆， 通过夹持单元 的移动夹持晶圆， 在夹持单元 的夹持下带动晶圆 移动至检测台的图像采集范围内， 图像采集单元在晶圆移动至可采集的范围时， 对晶圆信 息进行采集， 图像采集单元对称设置于检测台的两侧， 其中图像采集单元 的连线是与第一 方向垂直， 此种布置方法也便于扩大采集晶圆的图像范围， 图像采集单元将采集的信息发 送至图像分析单元， 图像分析单元分析 晶圆的ID以便于后续对晶圆贴标。 本发明的检测模 组自动化程度， 控制 智能化， 能够 对每个所要检测的晶圆实现精确定位控制， 且响应速度快 和系统的动态性能好。 设备整体结构紧凑、 集成度较高； 整个检测过程安全且稳定性较高； 设备采用夹持单元对晶圆进行移动采集， 工作效率较高； 智能系统进 行数据统计、 显示及保 存， 使工作过程智能， 数据化。 [0006]进一步地， 所述控制单元与所述图像采集单元、 所述夹持单元通讯相连， 当所述晶 圆的一半区域到达两个所述图像采集单元的拍摄范围时， 所述控制单元控制两个所述图像 采集单元采集所述晶圆的所述一半区域的图像信息； 当所述晶圆的另一半区域到达两个所 述图像采集单元的拍摄范围时， 所述控制单元控制两个所述图像采集单元采集所述晶圆的 所述另一半区域的图像信息 。说　明　书 1/7 页 3 CN 114388408 A 3