(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123225880.7 (22)申请日 2021.12.21 (73)专利权人 湖北光安伦芯片有限公司 地址 436000 湖北省鄂州市葛店开发区高 新三路光谷联合科技城第C9幢5单 元 (72)发明人 邱城　 (74)专利代理 机构 北京汇泽知识产权代理有限 公司 11228 专利代理师 秦曼妮 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于半导体激光巴条显微观察的固定 装置和检测系统 (57)摘要 本实用新型提供一种用于半导体激光巴条 显微观察的固定装置和检测系统， 包括： 基座， 基 座具有第一安装平面， 垂直于第一安装平面的第 二安装平 面和第三安装平面， 以及与第一安装平 面平行的第一限位平面； 限位凸台， 自第一限位 平面向远离第一安装平面的方向延伸， 限位凸台 具有一平行于第二安装平面且垂直于第一限位 平面的第二限位平面； 吸附孔， 开设在第一限位 平面上， 且距离第二限位平面较距离限位凸台与 第二限位平 面相对的一侧面近， 半导体激光巴条 设置在限位凸台的一侧， 且位于第一限位平面开 设有吸附孔的区域上， 限位凸台距离第一限位平 面的高度小于半导体激光巴条与第一限位平面 相平行的两个面之间的间距； 以及， 真 空通道， 与 吸附孔连通。 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 CN 217237800 U 2022.08.19 CN 217237800 U 1.一种用于半导体激光巴条显微观察的固定装置， 其特 征在于， 包括： 基座， 所述基座具有第一安装平面， 垂直于第一安装平面的第二安装平面和第三安装 平面， 以及与所述第一安装平面平行的第一限位平面， 其中， 所述第二安装平 面平行于所述 第三安装平面； 限位凸台， 自所述第一 限位平面向远离所述第一安装平面的方向延伸， 所述 限位凸台 具有一平行于所述第二 安装平面且垂直于所述第一限位平面的第二限位平面； 吸附孔， 开设在所述第一 限位平面上， 且距离所述第二 限位平面较距离所述 限位凸台 与所述第二限位平面相对的一侧面近， 所述半导体激光巴条设置在所述限位凸台的一侧， 且位于所述第一限位平面开设有 所述吸附孔的区域上， 所述限位凸台距离所述第一限位平 面的高度小于所述半导体激光巴条与所述第一限位平面相平行的两个面之间的间距； 以 及， 真空通道， 开设在所述基座与所述第一 限位平面和所述第二安装平面相邻的侧面上， 且与所述吸附孔连通。 2.如权利要求1所述的用于半导体激光巴条显微观察的固定装置， 其特征在于， 所述基 座为长方体。 3.如权利要求1所述的用于半导体激光巴条显微观察的固定装置， 其特征在于， 所述限 位凸台的数量 为一个。 4.如权利要求1所述的用于半导体激光巴条显微观察的固定装置， 其特征在于， 所述限 位凸台为长方体。 5.如权利要求1所述的用于半导体激光巴条显微观察的固定装置， 其特征在于， 所述限 位凸台位于所述第一限位平面与所述第二 安装平面相交 处。 6.如权利要求1所述的用于半导体激光巴条显微观察的固定装置， 其特征在于， 所述限 位凸台距离所述第一限位平面的高度小于所述半导体激光巴条与所述第一限位平面相平 行的两个面之间的间距的一半。 7.如权利要求1所述的用于半导体激光巴条显微观察的固定装置， 其特征在于， 所述吸 附孔的数量 为至少两个。 8.如权利要求1所述的用于半导体激光巴条显微观察的固定装置， 其特征在于， 所述半 导体激光巴条与所述第一限位平面相平行的两个面之间的间距为0.1 ‑0.3mm。 9.如权利要求1所述的用于半导体激光巴条显微观察的固定装置， 其特征在于， 所述吸 附孔的孔径为0.3m m。 10.一种用于半导体激光巴条显微观察的检测系统， 其特征在于， 包括检测台， 显微检 测装置和如权利要求1 ‑9任一项所述的用于半导体激光巴条显微观察的固定装置， 所述用 于半导体激光巴条显微观察的固定装置放置在所述检测台上， 所述显微检测装置用于检测 所述用于半导体激光巴条显微观察的固定装置上固定的半导体激光巴条。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217237800 U 2一种用于半导体激光巴条显微观 察的固定装 置和检测系统 技术领域 [0001]本实用新型涉及芯片检测技术领域， 特别涉及一种用于半导体激光巴条显微观察 的固定装置和检测系统。 背景技术 [0002]半导体激光器器件具有体积小、 重量轻、 电光转换 效率高等优点， 在医疗、 军事、 通 信等领域作为光源以及泵浦 光源受到广泛的应用。 半导体激光器芯片通常需要经过封装形 成器件后才出厂 使用。 [0003]常见的半导体激光器芯片的封装形 式包括单管和巴条。 半导体激光巴条可以看做 是多个半导体单 管并排形成的激光器单 条， 称之为 一个bar。 [0004]在半导体激光巴条封装之前， 为了提高封装的成品率， 需要对半导体激光巴条进 行相关的性能测试， 挑选出合格的半导体激光巴条， 淘汰掉不合格的半导体激光巴条。 其 中， 还需要检验半导体激光巴条是否存在腔面沾污、 腔面光学灾变损伤、 腔面裂纹、 腔面爬 铟等失效现象。 [0005]目前， 半导体激光巴条多在显微镜下检测芯片电极和腔面。 检测时， 半导体激光巴 条多采用固定装置固定。 常用的固定方式有螺钉连接和真空吸附。 然而， 这两种固定方式中 螺钉连接使半导体激光巴条受力不均， 易损伤半导体激光巴条， 真空吸 附存在在安装半导 体激光巴条时容易在放置平面上移动导致定位不准， 不利于准确观察半导体激光巴条的问 题， 且真空吸 附方式多只能检测芯片电极， 不能满足一次装夹半导体激光巴条即可检测半 导体激光巴条芯片电极和腔面的要求。 实用新型内容 [0006]本实用新型的目的在于提供一种用于半导体激光巴条显微观察的固定装置和检 测系统， 以解决现有的用于半导体激光巴条显微观察的固定装置和检测系统不能准确定 位， 以及不能满足的一次装夹 半导体激光巴条即可检测半导体激光巴条芯片电极和腔面的 要求的问题。 [0007]为解决上述技术问题， 本实用新型提供一种用于半导体激光巴条显微观察的固定 装置， 包括： 基座， 所述基座具有第一安装平面， 垂直于第一安装平面的第二安装平面和第 三安装平面， 以及与所述第一安装平 面平行的第一限位平面， 其中， 所述第二安装平面平行 于所述第三安装平面； 限位凸台， 自所述第一限位平面向远离所述第一安装平面的方向延 伸， 所述限位凸台具有一平行于所述第二安装平 面且垂直于所述第一限位平面的第二限位 平面； 吸附孔， 开设在所述第一限位平面上， 且距离所述第二限位平面较距离所述限位凸台 与所述第二限位平面相对的一侧面近， 所述半导体激光巴条设置在所述限位凸台的一侧， 且位于所述第一限位平面开设有 所述吸附孔的区域上， 所述限位凸台距离所述第一限位平 面的高度小于所述半导体激光巴条与所述第一限位平面相平行的两个面之 间的间距； 真空 通道， 开设在所述基座与所述第一限位平面和所述第二安装平面相邻的侧 面上， 且与所述说　明　书 1/5 页 3 CN 217237800 U 3