(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 2021234573 54.3 (22)申请日 2021.12.28 (73)专利权人 上海华力微电子有限公司 地址 201315 上海市浦东 新区良腾路6号 (72)发明人 薛子恒　顾佳灵　 (74)专利代理 机构 上海思微知识产权代理事务 所(普通合伙) 31237 专利代理师 周耀君 (51)Int.Cl. G01N 21/956(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种掩模缺陷检测装置 (57)摘要 本实用新型提供一种掩模缺陷检测装置， 包 括： 承载组件， 包括升降台和围绕所述升降台的 固定台； 承片组件， 包括底板及扣合在所述底板 上的保护罩， 所述底板与所述保护罩之间通过锁 扣连接， 所述底板位于所述升降台上且用于承 载 掩模版， 所述保护罩的侧壁位于所述固定台上； 至少两个压感组件， 位于所述承载组件上， 用于 检测所述底板是否倾斜； 解锁组件， 包括设置于 所述固定台上且与所述锁扣一一对应的解锁器， 所述解锁器包括驱动单元及锁钩， 所述锁钩拉动 对应的所述锁扣以对所述锁扣进行解锁， 使所述 底板和保护罩分离。 设置至少两个压感组件， 检 测所述底板是否倾斜， 防止所述底板倾斜时出现 单侧解锁及所述掩 模版滑落的情况。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 216747480 U 2022.06.14 CN 216747480 U 1.一种掩 模缺陷检测装置， 其特 征在于， 包括： 承载组件， 包括升降台和围绕所述升降台的固定台； 承片组件， 包括底板及扣合在所述底板上的保护罩， 所述底板与所述保护罩之间通过 锁扣连接， 所述底板位于所述升降台上且用于承载掩模版， 所述保护罩的侧 壁位于所述固 定台上； 至少两个压感组件， 位于所述承载组件上， 用于检测所述底板是否倾 斜； 显示组件， 设置 于所述固定台上， 用于 显示所述压感组件的检测结果； 解锁组件， 包括设置于所述固定台上且与所述锁扣一一对应的解锁器， 所述解锁器包 括驱动单元及锁钩， 所述驱动单元驱动所述锁钩拉动对应的所述锁扣以对 所述锁扣进 行解 锁， 使所述底板和所述保护罩分离 。 2.如权利要求1所述的一种掩模缺陷检测装置， 其特征在于， 所述底板的每一侧均对应 两个锁扣。 3.如权利要求2所述的一种掩模缺陷检测装置， 其特征在于， 所述底板的底部具有若干 横向的盲孔， 所述锁扣的一端伸入所述盲孔内， 另一端向上延伸形成限位件， 所述限位件位 于所述保护罩的外侧， 所述底板的每一侧的两个所述锁扣均通过一Y形支架连接， 所述Y形 支架的底部与所述保护罩的内壁连接， 所述锁钩钩住对应的所述锁扣的 限位件并拉动所述 锁扣， 两个所述锁扣连接的Y形支 架变形， 以使所述锁扣的一端伸出对应的所述盲孔。 4.如权利要求1 ‑3中的任一项所述的一种 掩模缺陷检测装置， 其特征在于， 所述压感组 件位于所述承片组件下方， 且分布在所述承载组件的相对的两侧， 当全部的所述压感组件 均检测到 压力时， 所述显示组件显示所述底板未倾 斜。 5.如权利要求4所述的一种掩模缺陷检测装置， 其特征在于， 所述压感组件设置于所述 升降台上， 且位于所述底板下 方。 6.如权利要求5所述的一种掩模缺陷检测装置， 其特征在于， 所述底板与所述升降台之 间具有间隙， 所述压感组件位于所述间隙内， 且压感组件的高度大于或等于所述间隙的高 度。 7.如权利要求6所述的一种掩模缺陷检测装置， 其特征在于， 所述压感组件的高度为6 ～9mm。 8.如权利要求4所述的一种掩模缺陷检测装置， 其特征在于， 所述压感组件设置于所述 固定台上且位于所述保护罩下 方。 9.如权利要求1所述的一种掩模缺陷检测装置， 其特征在于， 所述压感组件与 所述承载 组件之间可拆卸连接 。 10.如权利要求1所述的一种掩模缺陷检测装置， 其特征在于， 还包括： 报警组件， 设置 于所述固定台上， 当所述显示组件显示所述底板倾 斜时进行声光报警。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216747480 U 2一种掩模缺陷检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体领域， 尤其涉及一种掩 模缺陷检测装置 。 背景技术 [0002]掩模版是半导体加工中常用的光刻工艺所使用的图形母版， 由不透明的遮光薄膜 在透明的基板上形成掩模图形结构， 再通过 曝光工艺将图形信息转移到产品基片上。 在对 产品基片进行 曝光之前， 需要通过掩模缺陷检测装置来检测掩模版上是否存在表面缺陷， 例如表面颗粒等， 避免在光刻过程中掩 模版的表面 缺陷影响曝光过程， 造成产品缺陷。 [0003]在对掩模版进行缺陷检测时需要将盛放掩模板的承片组件转移至掩模检测 设备 上， 现有掩模检测设备在单侧设置一个压感组件用于检测承片组件的底板是否发生倾斜， 但单侧压感组件不能检测所述底板的另一侧是否倾斜， 容易在后续步骤中造成掩模版的滑 落， 甚至造成整个掩 模缺陷检测装置的宕机， 增 加不必要的损失。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种掩 模缺陷检测装置， 检测所述底板是否倾 斜。 [0005]为了达到上述目的， 本实用新型提供了一种掩 模缺陷检测装置， 包括： [0006]承载组件， 包括升降台和围绕所述升降台的固定台； [0007]承片组件， 包括底板及扣合在所述底板上的保护罩， 所述底板与所述保护罩之间 通过锁扣连接， 所述底板位于所述升降台上且用于承载掩模版， 所述保护罩的侧 壁位于所 述固定台上； [0008]至少两个压感组件， 位于所述承载组件上， 用于检测所述底板是否倾 斜； [0009]显示组件， 设置 于所述固定台上， 用于 显示所述压感组件的检测结果； [0010]解锁组件， 包括设置于所述固定台上且与所述锁扣一一对应的解锁器， 所述解锁 器包括驱动单元及锁钩， 所述驱动单元驱动所述锁钩拉动对应的所述锁扣以对所述锁扣进 行解锁， 使所述底板和所述保护罩分离 。 [0011]可选的， 所述底板的每一侧均对应两个锁扣。 [0012]可选的， 所述底板的底部具有若干横向的盲孔， 所述锁扣的一端伸入所述盲孔内， 另一端向上延伸形成限位件， 所述限位件位于所述保护罩的外侧， 所述底板的每一侧的两 个所述锁扣均通过一Y形支架连接， 所述Y形支架的底部与所述保护罩的内壁连接， 所述锁 钩钩住对应的所述锁扣的 限位件并拉动所述锁扣， 两个所述锁扣连接的Y形支架变形， 以使 所述锁扣的一端伸出对应的所述盲孔。 [0013]可选的， 其特征在于， 所述压感组件位于所述承片组件下方， 且分布在所述承载组 件的相对的两侧， 当全部的所述压感组件均检测到压力时， 所述显示组件显示所述底板未 倾斜。 [0014]可选的， 所述压感组件设置 于所述升降台上， 且位于所述底板下 方。 [0015]可选的， 所述底板与所述升降台之间具有间隙， 所述压感组件位于所述间隙内， 且说　明　书 1/4 页 3 CN 216747480 U 3