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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123229664.X (22)申请日 2021.12.21 (73)专利权人 武汉精立电子技 术有限公司 地址 430205 湖北省武汉市东湖新 技术开 发区流芳园南路2 2号 专利权人 武汉精测电子集团股份有限公司 (72)发明人 冯晓帆 洪志坤 钟凡 刘璐宁  欧昌东 郑增强  (74)专利代理 机构 武汉智权专利代理事务所 (特殊普通 合伙) 42225 专利代理师 余浩 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种基于任意光谱的积分球结构及校准设 备 (57)摘要 本实用新型涉及一种基于任意光谱的积分 球结构及校准设备, 用于对成像装置进行成像校 准, 其包括: 球体, 所述球体内具有空腔, 且所述 空腔的内壁 设有反射层; 用于供待测屏体发出的 光进入的入射口, 其开设于所述球体的一侧; 用 于向所述 成像装置提供光源的出光口, 其开设于 所述球体的另一侧, 所述出光口通过所述空腔与 所述入射口连通; 所述入射口放置待测屏体或者 与所述待测屏体光谱一致的样 本屏, 所述出光口 生成与所述待测屏体或者所述样本屏光谱对应 的均匀光源。 本实用新型涉及的一种基于任意光 谱的积分球结构及校准设备, 可便携的对成像装 置进行成像校准, 同时校准光源光谱与待测屏体 或者样本屏光谱一 致, 可以提高校准 准确性。 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 CN 216560316 U 2022.05.17 CN 216560316 U 1.一种基于任意光谱的积分球结构, 用于对成像装置(6)进行成像校准, 其特征在于, 其包括: 球体(1), 所述球 体(1)内具有空腔(1 1), 且所述空腔(1 1)的内壁设有反射层(12); 用于供待测屏体(5)发出的光进入的入射口(2), 其 开设于所述球 体(1)的一侧; 用于向所述成像装置(6)提供光源的出光口(3), 其开设于所述球体(1)的另一侧, 所述 出光口(3)通过 所述空腔(1 1)与所述入射口(2)连通; 所述入射口(2)放置待测屏体(5)或者与所述待测屏体(5)光谱一致的样本屏, 所述出 光口(3)生成与所述待测屏体(5)或者所述样本屏光谱 对应的均匀光源。 2.如权利要求1所述的基于任意 光谱的积分球结构, 其特 征在于: 所述空腔(11)内对应所述入射口(2)处倾斜设有挡片(4), 所述挡片(4)用于将所述待 测屏体(5)或者所述样 本屏发出的光反射至所述反射层(12)上, 且 所述挡片(4)阻止所述待 测屏体(5)或者所述样本屏发出的光 直接照射到所述出光口(3)。 3.如权利要求1所述的基于任意光谱的积分球结构, 其特征在于: 所述入射口(2)的中 心与所述球体(1)的球心相连形成第一直线, 所述出光口(3)的中心与所述球体(1)的球心 相连形成第二 直线, 所述第一 直线与所述第二 直线垂直。 4.如权利要求1所述的基于任意光谱的积分球结构, 其特征在于: 所述反射层(12)为漫 反射材料。 5.如权利要求1所述的基于任意光谱的积分球结构, 其特征在于: 所述入射口(2)的尺 寸小于所述出光口(3)的尺寸。 6.一种校准设备, 用于对成像装置(6)进行成像校准, 其特 征在于, 其包括: 如权利要求1 ‑5任一项所述的积分球结构; 设置于所述入射口(2)处的待测屏体(5)或 者与所述待测屏体(5)光谱一致的样本屏, 以及设置于所述出光口(3)的成像装置(6), 所述 成像装置(6)用于采集所述待测屏体(5)或者所述样本屏在所述出光口(3)的光谱信息 。 7.如权利要求6所述的校准设备, 其特 征在于: 所述校准设备还包括与所述待测屏体(5)和所述成像装置(6)信号连接的控制模块 (7), 所述控制 模块(7)用于控制所述待测屏体(5)切换画面以及控制所述成像装置采集校 准图片。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 216560316 U 2一种基于任意光谱的积分球结构及 校准设备 技术领域 [0001]本实用新型涉及面板的自动化缺陷检测领域, 特别涉及 一种基于任意光谱的积分 球结构及校准设备。 背景技术 [0002]目前, 在成像测量仪器领域, 通常其系统架构是一个成像传感芯片, 再加上一个光 学成像镜头组成。 比如最简单的成像式亮度计, 通过镜头成像后, 物面的每一点成像在像面 上对应的一点, 亦即传感器芯片上对应的一点。 传感器芯片是一种光电转换芯片, 能吸收光 子, 转换成电子。 电子数目的多少, 即表示入射光强度的大小, 也就是该对应物点光信号大 小。 电子经过后级电路 的处理, 一般包括放大, 模数转换, 数字信号处理, 输出为数值大小。 最终, 得到整个传感器各点收集的光信号的大小, 也就测 量得到待测物体各点的光强度数 值。 [0003]但是由于测量成像系统的一致性, 镜头的暗角, 传感器芯片的均一性, 因此, 系统 的硬件设计完成之后, 一般需要进行成像校准。 成像校准所用的结构就是均匀光源, 最 典型 的均匀光源就是积分球。 [0004]相关技术中, 利用均匀光源对 成像系统校准, 一般是在积分球内设置一光源, 将成 像系统接收入射光的部分, 一般就是镜头, 对准积分球均匀光源出 口, 获得一张暗角图片, 以暗角图片中心点(或中心区域, 如中心区域2*2个像素)均值, 对整幅图片做校准系数计 算, 即中心区域均值除以整幅暗角图片, 得到校准系 数; 其校准计算方法为: 使用成像系统 直接拍摄待测样品得到样品图片, 将上述的校准系 数乘以拍摄的样品图片, 得到校准后的 图片, 即可以进行 数据分析。 [0005]但是, 该方法存在的问题在于, 所用的均匀光源一般都是积分球内的固定光源, 这 种光源的特点在于, 其 发光光谱一般都是固定的, 而实际上, 成像系统拍摄的样品图片的光 谱不一定与积分球内 固定光源的发光 光谱一致, 使成像系统校准的准确性较低。 [0006]因此, 有必要设计一种新的基于任意光谱的积分球结构及校准设备, 以克服上述 问题。 实用新型内容 [0007]本实用新型实施例提供一种基于任意光谱的积分球结构及校准设备, 以解决相关 技术中成像系统拍摄的样片图片的光谱与积分球内固定光源的发光光谱不一致, 成像系统 校准的准确性较低的问题。 [0008]第一方面, 提供了一种基于任意光谱的积分球结构, 用于对成像装置进行成像校 准, 其包括: 球体, 所述球体内具有空腔, 且所述空腔的内壁设有反射层; 用于供待测屏体发 出的光进入的入射口, 其开设于所述球体的一侧; 用于向所述成像装置提供光源的出光口, 其开设于所述球体的另一侧, 所述出光口通过所述空腔与所述入射口连通; 所述入射口放 置待测屏体 或者与所述待测屏体光谱一致的样本屏, 所述出光口生成与所述待测屏体或者说 明 书 1/5 页 3 CN 216560316 U 3

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