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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222163633.7 (22)申请日 2022.08.16 (73)专利权人 山东誉正自动化科技有限公司 地址 261300 山东省潍坊市昌邑市奎聚街 道院校中街217号 (72)发明人 马骋 吴兴防 (74)专利代理 机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 专利代理师 陈建平 (51)Int.Cl. B65G 35/00(2006.01) B65G 47/22(2006.01) B65G 47/74(2006.01) B65G 47/82(2006.01) B65G 47/91(2006.01)(ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种双框架上 料装置及固晶设备 (57)摘要 本申请公开了一种双框架上料装置及固晶 设备, 双框架上料装置包括框架输送装置和上料 设备; 上料设备用于将两个框架单元以PAD部相 互靠近的姿态 转移至框架输送装置上。 其既可以 通过上料设备同时一次性地将两个框架单元送 入固晶设备中的下一装置, 以提高UPH, 又可以通 过上料设备校正两个框架单元的相对位置, 使 得 两个框架单元以PAD部相互靠近的姿态转移 至框 架输送装置 上, 使得两个PAD部的距离减少, 便于 后续设备对两个框架单元进行加热时, 热量不易 逸散, 可控性强, 从而提高晶圆邦定时的稳定稳 定性, 在不需要额外调节框架单元位置的前提 下, 即不影响生产效率的前提下, 使得生产稳定 性得到提高。 综上, 本申请具备生产效率高且生 产稳定性高的优点。 权利要求书2页 说明书7页 附图9页 CN 217995737 U 2022.12.09 CN 217995737 U 1.一种双框架上 料装置, 其特 征在于, 包括框架输送装置(10 0)和上料设备; 所述上料设备用于将两个框架单元(010)以PAD部(011)相互靠近的姿态转移至所述框 架输送装置(10 0)上。 2.根据权利要求1所述的双框架上料装置, 其特征在于, 所述上料设备包括分列于所述 框架输送装置(100)两侧的第一上料装置(300)和第二上料装置(400), 所述框架输送装置 (100)上设置有横向并列 设置的第一接料工位(110)和第二接料工位(120); 所述框架输送 装置(100)的两侧分别设置有框架存料仓装置(20 0); 所述第一上料装置(300)用于将同侧的所述框架存料仓装置(200)中的框架单元(010) 移动至所述第二接料工位(120), 使 得所述第二接料工位(120)上的框架单元(010)的PAD部 (011)靠近所述第一接料工位(1 10)设置; 所述第二上料装置(400)用于将同侧的所述框架存料仓装置(200)中的框架单元(010) 移动至所述第一接料工位(110), 使 得所述第一接料工位(110)上的框架单元(010)的PAD部 (011)靠近所述第二接料工位(120)设置 。 3.根据权利要求2所述的双框架上料装置, 其特征在于, 所述第一上料装置(300)包括 第一旋转装置, 所述第一旋转装置的旋转轴(3 01)固定连接有第一框架搬运装置; 所述第二上料装置(400)包括第二旋转装置, 所述第二旋转装置的旋转轴(301)固定连 接有第二框架搬运装置; 所述框架输送装置(100)对应所述第一框架搬运装置的位置设置有第一容置槽(501), 所述框架输送装置(10 0)对应所述第二框架搬运装置的位置设置有第二 容置槽(502)。 4.根据权利要求3所述的双框架上料装置, 其特征在于, 所述第一容置槽(501)设置于 所述第二接料工位(120)的底侧, 且所述第二接料工位(120)设置于所述第一接料工位 (110)远离所述第一上 料装置(3 00)的一侧; 所述第二容置槽(502)设置于所述第一接料工位(110)的底侧, 且所述第一接料工位 (110)设置于所述第二接料工位(120)远离所述第二上 料装置(40 0)的一侧。 5.根据权利 要求3所述的双框架上料装置, 其特征在于, 还包括基座(700), 所述框架输 送装置(100)安装于所述基座(700)上; 所述框架存料仓装置(200)相对于所述框架输送装 置(100)倾斜设置, 且所述框架存料仓装置(200)远离所述框架输送装置(100)的一端朝靠 近所述基座(70 0)的方向倾 斜设置。 6.根据权利要求5所述的双框架上料装置, 其特征在于, 所述框架存料仓装置(200)包 括支撑板(201), 所述支撑板(201)上安装有第一上料电机(202)、 第一同步带组件(203)及 第二同步带组件(204), 所述第一上料电机(202)通过所述第一同步带组件(203)带动 所述 第二同步带组件(204)转动, 所述第二同步带组件(204)相对所述框架输送装置(100)倾斜 设置; 所述第二 同步带组件(204)的移动端上安装有框架推板(205), 且所述支撑板(201)于 所述框架推板(20 5)的两侧安装有框架宽度限制板(20 6)。 7.根据权利要求3所述的双框架上料装置, 其特征在于, 所述第 一框架搬运装置与 所述 第二框架搬运装置均包括旋转臂(302), 所述旋转臂(302)与所述旋转轴(301)固定连接, 且 所述旋转臂(302)的末端连接有吸嘴杆(303), 所述吸嘴杆(303)上连接有管接头(304)与真 空吸盘(3 05), 所述管接 头(304)通过所述吸嘴杆(303)与所述真空吸盘(3 05)连通。权 利 要 求 书 1/2 页 2 CN 217995737 U 28.根据权利要求4所述的双框架上料装置, 其特征在于, 所述框架输送装置(100)包括 输送轨道(500)与推离装置(600), 所述第一容置槽(501)与所述第二容置槽(502)形成于所 述输送轨道(500)上; 所述推离装置(600)的推动端能在所述第一容置槽(501)及所述第二 容置槽(502)中活动, 且凸出于所述输送轨道(5 00), 以将框架单 元(010)推离 。 9.根据权利要求8所述的双框架上料装置, 其特征在于, 所述第 一框架搬运装置与 所述 第二框架搬运装置均包括旋转臂(3 02); 所述输送轨道(500)包括依次连接的第一框架支撑条(511)、 第二框架支撑条(512)及 第三框架 支撑条(513); 所述第一框架支撑条(511 )的一侧连接有第一右支撑条(514), 所述第一框架支撑条 (511)的另一侧连接有第一左支撑条(515); 所述第三框架支撑条(513)的一侧连接有第二 右支撑条(516), 所述第三框架 支撑条(513)的另一侧连接有第二左支撑条(517); 所述第一右支撑条(514)与所述第二右支撑条(516)之间、 所述第一框架支撑条(511) 与所述第二框架支撑条(512)之间分别留有供所述第一框架搬运装置的旋转臂(302)进入 的第一间隙(518); 所述第一左支撑条(515)与所述第二左支撑条(517)之间、 所述第二框架支撑条(512) 与所述第三框架支撑条(513)之间留有供所述第二框架搬运装置的旋转臂(302)进入的第 二间隙(519)。 10.一种固晶设备, 其特征在于, 包括固晶装置与如权利要求1 ‑9中任一项所述的双框 架上料装置, 所述双框架上 料装置用于将框架单 元(010)送入所述固晶装置中。权 利 要 求 书 2/2 页 3 CN 217995737 U 3
专利 一种双框架上料装置及固晶设备
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