(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210859879.X (22)申请日 2022.07.21 (71)申请人 哈尔滨工业大 学 地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西 大直街92号 (72)发明人 裘俊　岳童童　王纪昌　赵军明　 刘林华　 (74)专利代理 机构 哈尔滨市阳光惠远知识产权 代理有限公司 2321 1 专利代理师 张宏威 (51)Int.Cl. G06F 30/23(2020.01) G06F 30/25(2020.01) G06F 111/06(2020.01) G06F 113/26(2020.01) (54)发明名称 光学薄膜材料光学常数反演优化方法及装 置、 半透明光学薄膜材料光学常数检测方法及装 置 (57)摘要 光学薄膜材料光学常数反演优化方法及装 置、 半透明光学薄膜材料光学常数检测方法及装 置， 涉及光学性质领域。 针对现有技术中存在的， 致采用椭偏测量无法得到半透明光学薄膜的光 学常数的问题， 本发明提供的技术方案为： 光学 薄膜材料光学常数检测方法， 包括： 步骤1： 采集 伪光学常数； 步骤2： 采集搜索范围内参数的初 值， 作为迭代参数； 步骤3： 采集迭代参数对应的 入射偏振光波长和角度； 步骤4： 根据迭代 参数和 的波长和角度获得椭偏参数； 步骤5： 根据椭偏参 数计算当前迭代参数的适应度； 步骤6： 判断适应 度是否满足预设条件， 满足则输出当前迭代参数 作为结果， 不满足则返回并依次执行步骤2至步 骤6。 适合应用于探索半透明光学薄膜的光学常 数。 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 CN 115329625 A 2022.11.11 CN 115329625 A 1.光学薄膜材料光学常数检测方法， 基于半透 明光学薄膜材料， 其特征在于， 所述方法 包括： 步骤1： 采集伪光学常数， 作为搜索范围； 步骤2： 采集所述搜索范围内参数的初值， 作为迭代参数； 步骤3： 采集所述迭代参数对应的入射偏振光波长和角度； 步骤4： 根据所述迭代参数和所述的波长和角度获得椭偏参数； 步骤5： 根据所述椭偏参数计算当前迭代参数的适应度； 步骤6： 判断所述适应度是否满足预设条件， 若满足， 则 输出当前迭代参数作为结果， 若 不满足， 则返回并依次执 行步骤2至步骤6 。 2.根据权利要求1所述的光学薄膜材料光学常数检测方法， 其特征在于， 所述的步骤4 具体为： 通过时域有限差分法正向计算得到椭偏参数。 3.根据权利要求1所述的光学薄膜材料光学常数检测方法， 其特征在于， 所述步骤6 中， 若达到预设最大迭代次数， 则判定为 适应度不满足预设条件。 4.根据权利要求1所述的光学薄膜材料光学常数检测方法， 其特征在于， 所述伪光学常 数具体为： 经 过所述半透明光学薄膜材 料反射的偏振光。 5.根据权利要求1所述的光学薄膜材料光学常数检测方法， 其特征在于， 所述步骤1中， 采用所述伪光学常数区间内处于中间的90％区间作为搜索范围。 6.光学薄膜材料光学常数检测装置， 基于半透明光学薄膜材料的伪光学常数， 其特征 在于， 所述装置包括： 模块1： 用于采集所述伪光学常数， 作为搜索范围； 模块2： 用于采集所述搜索范围内参数的初值， 作为迭代参数； 模块3： 用于采集所述迭代参数对应的入射偏振光波长和角度； 模块4： 用于根据所述迭代参数和所述的波长和角度获得椭偏参数； 模块5： 用于根据所述椭偏参数计算当前迭代参数的适应度； 模块6： 用于判断所述适应度是否满足预设条件， 若满足， 则输出当前迭代参数作为结 果， 若不满足， 则返回并依次执 行模块2至模块6的功能。 7.半透明光学薄膜材料光学常数检测方法， 所述半透 明光学薄膜材料镀在高反射金属 平面基底上， 其特 征在于， 所述方法包括： 步骤7： 采集经 过所述半透明光学薄膜材 料反射的偏振光， 作为伪光学常数； 步骤8： 采集所述搜索范围内参数的初值， 作为迭代参数； 步骤9： 采集所述迭代参数对应的入射偏振光波长和角度； 步骤10： 根据所述迭代参数和所述的波长和角度获得椭偏参数； 步骤11： 根据所述椭偏参数计算当前迭代参数的适应度； 步骤12： 判断所述适应度是否满足预设条件， 若满足， 则输出当前迭代参数作为结果， 若不满足， 则返回并依次执 行步骤8至步骤12。 8.半透明光学薄膜材料光学常数检测装置， 所述半透 明光学薄膜材料镀在高反射金属 平面基底上， 其特 征在于， 所述装置包括： 模块7： 用于采集经 过所述半透明光学薄膜材 料反射的偏振光， 作为伪光学常数； 模块8： 用于采集所述搜索范围内参数的初值， 作为迭代参数；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115329625 A 2模块9： 用于采集所述迭代参数对应的入射偏振光波长和角度； 模块10： 用于根据所述迭代参数和所述的波长和角度获得椭偏参数； 模块11： 用于根据所述椭偏参数计算当前迭代参数的适应度； 模块12： 用于判断所述适应度 是否满足预设条件， 若满足， 则输出当前迭代参数作为结 果， 若不满足， 则返回并依次执 行摸快8至模块12的功能。 9.计算机储存介质， 用于储存计算机程序， 其特征在于， 所述储存介质中储存的计算机 程序被及计算机读取时， 所述计算机执行权利要求1 ‑5任意一项所述的光学薄膜材料光学 常数检测方法， 或者执 行权利要求7 所述的半透明光学薄膜材 料光学常数检测方法。 10.计算机， 包括处理器和储存介质， 所述储存介质用于储存计算机程序， 其特征在于， 所述处理器处理所述储存介质中的计算机程序时， 所述计算机执行权利要求1 ‑5任意一项 所述的光学薄膜材料光学常数检测方法， 或者执行权利要求7所述的半透明光学薄膜材料 光学常数检测方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115329625 A 3