(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210768348.X (22)申请日 2022.06.30 (71)申请人 哈尔滨工业大 学 地址 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西 大直街92号 (72)发明人 李兴冀　杨剑群　徐晓东　荆宇航　 (74)专利代理 机构 北京隆源天恒知识产权代理 有限公司 1 1473 专利代理师 丁晴晴 (51)Int.Cl. G06F 30/23(2020.01) G16C 10/00(2019.01) G06F 111/08(2020.01) (54)发明名称 一种跨时间尺度传递间隙缺陷信息的处理 方法 (57)摘要 本发明提供了一种跨时间尺度传递间隙缺 陷信息的处理方法， 涉及模拟技术领域。 本发明 实现了半导体器件跨时间尺度模拟过程中直观 且准确地传递间隙缺陷信息， 具体是通过对演化 后结构中的间隙缺陷进行筛选， 剔除掉与间隙原 子相关的位于正确位点的原 子， 从而获得纯粹的 间隙原子信息， 将其用于后续模拟计算时， 由于 间隙缺陷的准确性较高， 因此后续模拟的准确度 也较高， 从而提高整个模拟过程的准确性。 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 CN 115186538 A 2022.10.14 CN 115186538 A 1.一种跨时间尺度传递间隙缺陷信息的处 理方法， 其特 征在于， 包括： 建立与材 料对应的体系模型； 设定模拟参数， 利用分子动力学 方法对所述体系模型进行MD缺陷演化模拟计算； 获取计算完成后的现时构型以及所述现时构型中间 隙缺陷的信 息和空位缺陷信 息， 其 中， 所述间隙缺陷包括间隙原子以及与所述间隙原子相关的位于正确位 点的原子； 对所述间隙缺陷进行筛 选处理， 获得间隙原子信息； 将所述间隙原子信息和所述空位缺陷信息作为KMC计算的输入文件， 进行KMC缺陷演化 模拟， 演化后结构达 到最终稳定态。 2.根据权利要求1所述的跨 时间尺度传递间 隙缺陷信 息的处理方法， 其特征在于， 所述 获取所述现时构型中的空位缺陷信息包括： 将所述现时构型与参考构型中的原子位置信息 进行对比， 得出所述现时构型中的空位缺陷信息， 其中， 所述参考构型为模拟辐照之前的结 构。 3.根据权利要求1所述的跨 时间尺度传递间 隙缺陷信 息的处理方法， 其特征在于， 所述 对所述间隙缺陷进行筛 选处理， 获得间隙原子信息包括： 根据所述现时构型中每个位点的占位数， 保留占位数大于或等于2 的位点内的原子信 息； 删除所述占位数大于或等于2 的位点内的原子信息中的其中一个原子信息， 剩余的即 为所述间隙原子信息 。 4.根据权利要求1所述的跨 时间尺度传递间 隙缺陷信 息的处理方法， 其特征在于， 所述 间隙缺陷的信息包括所述间隙缺陷的坐标信息和编号信息， 所述编号信息， 所述编号信息 为对所述现时构型中的各原子进行编号得到的缺陷编码。 5.根据权利要求4所述的跨 时间尺度传递间 隙缺陷信 息的处理方法， 其特征在于， 编号 原则为相邻距离小于或等于设定 键长的两个原子的缺陷编码相同。 6.根据权利要求5所述的跨 时间尺度传递间 隙缺陷信 息的处理方法， 其特征在于， 所述 对所述间隙缺陷进行筛 选处理， 获得间隙原子信息包括： 将所述现时构型与参考构型中的原子位置信 息进行对比， 删除所述现时构型中位于正 确位点的原子信息， 其中， 所述 参考构型为模拟辐照之前的结构； 获取所述编号信息相同的间隙缺陷的信息； 删除所述编号相同的间隙缺陷中的任意一个原子信息， 剩余的即为所述间隙原子信 息。 7.根据权利要求1所述的跨 时间尺度传递间 隙缺陷信 息的处理方法， 其特征在于， 所述 模拟参数包括所述PKA信息、 系综、 模拟步长和演化时间。 8.根据权利要求7所述的跨 时间尺度传递间 隙缺陷信 息的处理方法， 其特征在于， 所述 MD缺陷演化过程包括初级演化阶段、 次级演化阶段和终极演化阶段， 所述模拟步长为变步 长， 其中， 所述初 级演化阶段的时间步长为0.01fs， 所述次级演化阶段的时间步长为0.1fs， 所述终极演化阶段的时间步长为1fs。 9.根据权利要求1所述的跨 时间尺度传递间 隙缺陷信 息的处理方法， 其特征在于， 所述 建立与材料对应的体系模型包括： 对待辐照器件进 行网格划分， 得到模拟盒子， 建立与所述 模拟盒子大小相等的所述体系模型。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115186538 A 210.根据权利要求1所述的跨时间尺度传递间隙缺陷信息的处理方法， 其特征在于， 所 述KMC缺陷演化过程包括： 对演化过程中产生的各类缺陷的捕获半径、 指前 因子、 迁移势垒、 迭代步数以及各类缺陷之间的相互反应进行设定， 并设置 输出各类缺陷的数目、 坐标参数。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115186538 A 3