(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123297217.8 (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 苏州艺力鼎丰智能技 术有限公司 地址 215700 江苏省苏州市高新区鹿山路 369号21幢 (72)发明人 赵智亮　高开中　王永平　李德刚　 (74)专利代理 机构 上海合进知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 31324 专利代理师 季锐 (51)Int.Cl. G01N 3/04(2006.01) G01N 3/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种硅晶片压力测试样品限位调节机构 (57)摘要 本实用新型涉及硅晶片压力检测技术领域， 且公开了一种硅晶片压力测试样品限位调节机 构， 包括底座， 所述底座顶部的两侧固定连接有 立柱， 所述立柱外部的中间位置滑动套接有调节 板， 所述调节板顶部的两侧固定连接有限位板， 所述限位板的内部滑动套接有限位架。 该硅晶片 压力测试样品限位调节机构， 首先将样品放置在 检测盘的顶部， 然后转动固定螺杆， 通过两侧的 固定螺杆对内进行收缩将样品进行夹持， 且由于 每个固定螺杆 都处于独立运动状态， 所以相对两 个固定螺杆的夹持距离可以根据检测 需求进行 相应的调节， 在纵向距离确定好后， 可 以通过左 右移动滑动块使得样品进行横向距离的调节， 由 此提高了 本装置检测的完整性。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217654882 U 2022.10.25 CN 217654882 U 1.一种硅晶片压力测试样品限位调 节机构， 包括底座(1)， 其特征在于： 所述底座(1)顶 部的两侧固定连接有立柱(2)， 所述立柱(2)外部的中间位置滑动套接有调节板(5)， 所述调 节板(5)顶部的两侧固定连接有限位板(6)， 所述限位板(6)的内部滑动套接有限位架(7)， 所述限位架(7)的内部滑动套接有滑动块(8)， 所述滑动块(8)的内部螺纹套接有固定螺杆 (9)， 所述滑动块(8)的顶部 螺纹套接有定位螺 栓(10)。 2.根据权利要求1所述的一种硅晶片压力测试样品限位调节机构， 其特征在于： 所述立 柱(2)外部的上方滑动套接有滑动板(3)， 所述滑动板(3)的正面安装有测试机构(4)， 所述 测试机构(4)位于限位架(7)的正上 方。 3.根据权利要求1所述的一种硅晶片压力测试样品限位调节机构， 其特征在于： 所述限 位架(7)底部的中间位置固定连接有弹簧(11)， 所述限位架(7)顶部的中间位置固定连接有 检测盘(12)。 4.根据权利要求3所述的一种硅晶片压力测试样品限位调节机构， 其特征在于： 所述弹 簧(11)的底部与底座(1)的顶部固定连接， 所述底座(1)的正 面设置有操控按键 。 5.根据权利要求3所述的一种硅晶片压力测试样品限位调节机构， 其特征在于： 所述限 位架(7)的宽度数值长于检测盘(12)直径的长度， 所述限位板(6)的高度数值长于限位板 (6)的宽度数值。 6.根据权利要求1所述的一种硅晶片压力测试样品限位调节机构， 其特征在于： 所述限 位架(7)的左右两侧穿过限位板(6)， 所述限位架(7)的两侧设有螺帽。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217654882 U 2一种硅晶片压力测试样品限位调节机构 技术领域 [0001]本实用新型涉及硅晶片压力检测技术领域， 具体为一种硅晶片压力测试样品限位 调节机构。 背景技术 [0002]元素硅是一种灰色、 易碎、 四价的非金属化学元素， 地壳成分 中27.8％是硅元素构 成的， 仅次于氧元素含量排行第二， 硅是自然界中比较富的元素， 在 石英、 玛瑙、 燧石和普通 的滩石中就可以发现硅元素， 硅晶片又称晶圆片， 是由硅锭加工而成的， 通过专门的工艺可 以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管， 被广泛应用于集成电路的制 造， 物理学上 的压 力， 是指发生在两个物体的接触表面的作用力， 或者是气体对于固体和液体表面的垂直作 用力， 或者是液体对于固体表 面的垂直作用力， 压力的方向是垂 直于接触面， 并指向被压物 体(注意：“垂直”与“竖直”意义不同)， 产生条件是物体之间接触且发生相互挤压， 而硅晶片 压力测试机就是基于这种环境下的一种测压设备。 [0003]目前市场上大多数的硅晶片压力测试机， 其采用的测试方法是将待测样品摆放在 固定检测盘上， 然后进 行压力测试， 由于每种待测样品内部厚实度不能完全保证一致， 故而 在检测时， 需要将待测样品进行通体检测才能得到完整的数据， 而现有的硅晶片压力测试 机没有这种可以调节和限位待测样品的装置， 为此我们提出一种硅晶片压力测试样品限位 调节机构。 实用新型内容 [0004]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种硅晶片压力测试样品限位调节机 构， 具备可以快速调节待测样品和对样品进行精准夹持并翻转的优点， 解决了上述背景技 术中提出的问题。 [0005]本实用新型提供如下技术方案： 一种硅 晶片压力测试样品限位调节机构， 包括底 座， 所述底座顶部的两侧固定连接有立柱， 所述立柱外部的中间位置滑动套接有调节板， 所 述调节板顶部的两侧固定连接有限位板， 所述限位板的内部滑动套接有限位架， 所述限位 架的内部滑动套接有滑动块， 所述滑动块的内部螺纹套接有固定螺杆， 所述滑动块的顶部 螺纹套接有定位螺 栓。 [0006]优选的， 所述立柱外部 的上方滑动套接有滑动板， 所述滑动板 的正面安装有测试 机构， 所述测试机构位于限位架的正上 方。 [0007]优选的， 所述限位架底部 的中间位置固定连接有弹簧， 所述限位架顶部的中间位 置固定连接有检测盘。 [0008]优选的， 所述弹簧的底部与底座的顶部固定连接， 所述底座的正面设置有操控按 键。 [0009]优选的， 所述限位架的宽度数值长于检测盘直径的长度， 所述限位板 的高度数值 长于限位板的宽度数值。说　明　书 1/3 页 3 CN 217654882 U 3