(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210634862.4 (22)申请日 2022.06.07 (71)申请人 中环领先半导体材 料有限公司 地址 214200 江苏省无锡市宜兴经济技 术 开发区东氿大道 (72)发明人 陆波　杨振域　郑岳亮　王瀚　 王超　 (74)专利代理 机构 苏州高专知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 32474 专利代理师 冷泠 (51)Int.Cl. B08B 3/12(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种外延零部件清洗设备清洗石英备件的 方法 (57)摘要 本发明一种外延零部件清洗设备清洗石英 备件的方法， 把所需要清洗的石英备件放入酸洗 槽中； 加入清洗剂浸没石英备件， 清洗剂配比为 水： 硝酸： 氢氟酸＝5： 3： 1； 一边浸泡一边观察石 英备件表 面， 浸泡一段时间， 待表面基本干 净后， 排放液体； 待 排放干净后， 加水浸没石英备件， 浸 泡一段时间后排放； 排放干净后， 把石英备件放 入水洗槽， 加水浸没备件， 打开鼓泡和超声系统； 清洗一段时间后， 关闭鼓泡和超声， 排放液体； 待 排放干净后， 拿出石英备件， 用氮气枪吹扫， 清除 石英备件表 面水迹； 把表面没有水迹的石英备件 放入烘箱， 设定温度烘一段时间后拿出。 本发明 清洗时间缩短， 对石英备件的损耗越小， 增加石 英备件使用寿命， 石英备件的洁净度得到提高。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 115213163 A 2022.10.21 CN 115213163 A 1.一种外延零部件清洗设备清洗石英备件的方法， 其特 征在于， 包括如下步骤： S1、 把所需要清洗的石英备件放入酸洗 槽中； S2、 加入清洗剂浸没石英备件， 清洗剂的配比为水： 硝酸： 氢氟酸 ＝5： 3： 1； S3、 一边浸泡一边观察石英备件表面， 浸泡 一段时间， 待表面基本 干净后， 排 放液体； S4、 待排放干净后， 加水浸没石英备件， 浸泡 一段时间后排 放； S5、 排放干净后， 把石英备件放入水洗 槽， 加水浸没备件， 打开鼓泡和超声系统； S6、 清洗一段时间后， 关闭鼓泡和超声， 排 放液体； S7、 待排放干净后， 拿出石英备件， 用氮气枪吹扫， 清除石英备件表面水迹； S8、 把表面没有水迹的石英备件放入烘 箱， 设定温度烘一段时间后拿出。 2.根据权利要求1所述的外延零部件清洗设备清洗石英备件的方法， 其特征在于： 所述 S3中浸泡时间为3 0分钟。 3.根据权利要求1所述的外延零部件清洗设备清洗石英备件的方法， 其特征在于： 所述 S4中浸泡时间为15分钟。 4.根据权利要求1所述的外延零部件清洗设备清洗石英备件的方法， 其特征在于： 所述 S4中浸泡时间为15分钟。 5.根据权利要求1所述的外延零部件清洗设备清洗石英备件的方法， 其特征在于： 所述 S8中设定1 15℃烘4小时后拿出。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115213163 A 2一种外延零部件清洗设 备清洗石英备件的方 法 技术领域 [0001]本发明涉及半导体制造领域， 具体为一种外延零部件清洗设备清洗石英备件的方 法。 背景技术 [0002]外延区域机台现平均一周需清洗一个工艺腔体， 石英备件通过厂商送洗无法满足 周转要求， 需要自己进行清洗， 目前自主清洗的石英备件洁净度无法 保证。 发明内容 [0003]本发明提供了一种外延零部件清洗设备清洗石英备件的方法。 [0004]一种外延零部件清洗设备清洗石英备件的方法， 包括如下步骤： [0005]S1、 把所需要清洗的石英备件放入酸洗 槽中； [0006]S2、 加入清洗剂浸没石英备件， 清洗剂的配比为水： 硝酸： 氢氟酸 ＝5： 3： 1； [0007]S3、 一边浸泡一边观察石英备件表面， 浸泡一段时间， 待表面基本干净后， 排放液 体； [0008]S4、 待排放干净后， 加水浸没石英备件， 浸泡 一段时间后排 放； [0009]S5、 排放干净后， 把石英备件放入水洗 槽， 加水浸没备件， 打开鼓泡和超声系统； [0010]S6、 清洗一段时间后， 关闭鼓泡和超声， 排 放液体； [0011]S7、 待排放干净后， 拿出石英备件， 用氮气枪吹扫， 清除石英备件表面水迹； [0012]S8、 把表面没有水迹的石英备件放入烘 箱， 设定温度烘一段时间后拿出。 [0013]优选的， 所述S3中浸泡时间为3 0分钟。 [0014]优选的， 所述S4中浸泡时间为15分钟。 [0015]优选的， 所述S4中浸泡时间为15分钟。 [0016]优选的， 所述S 8中设定1 15℃烘4小时后拿出。 [0017]与现有技术相比， 本发明的有益效果是： 清洗时间缩短， 对石英备件的损耗越小， 增加石英备件使用寿命， 且石英备件的洁净度得到提高。 附图说明 [0018]图1为硅片与基座接触示 意图。 具体实施方式 [0019]下面对本发明实施例中的技 术方案进行清楚、 完整地描述。 [0020]一种外延零部件清洗设备清洗石英备件的方法， 包括如下步骤： [0021]S1、 把所需要清洗的石英备件放入酸洗 槽中； [0022]S2、 加入清洗剂浸没石英备件， 清洗剂的配比为水： 硝酸： 氢氟酸 ＝5： 3： 1； [0023]S3、 一边浸泡一边观察石英备件表面， 浸泡3 0分钟， 待表面基本 干净后， 排 放液体；说　明　书 1/2 页 3 CN 115213163 A 3