(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221875901.1 (22)申请日 2022.07.19 (73)专利权人 乐金显示 光电科技 （中国） 有限公 司 地址 510530 广东省广州市高新 技术产业 开发区科 学城开泰大道59号 (72)发明人 蔡智祥　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 薛学娜 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 7/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01)G03F 1/82(2012.01) G03F 7/20(2006.01) (54)实用新型名称 清洁装置及曝光设备 (57)摘要 本实用新型公开一种清洁装置及曝光设备， 其中， 清洁装置用于清洁掩膜板， 清洁装置包括 装置本体和喷气组件， 装置本体内设置清洁腔， 清洁腔用于容纳掩膜板， 喷气组件设置在清洁腔 内， 喷气组件包括喷头， 喷头分别连接冷气源和 热气源， 以使喷头能够向掩膜板的表 面交替喷射 冷气流和热气流。 通过在清洁腔内设置喷气组 件， 并且喷气组件的喷头可以向掩膜板交替喷射 热气流和冷气流， 以使异物从掩膜板的表面脱 落， 脱落的异物会被气流从掩膜板表面带走， 从 而实现该清洁装置掩膜板的清洁， 且清洁效果 好。 该清洁装置无需使用大量水溶液对掩膜板进 行冲洗， 节省了水资源， 降低了清洁成本。 此外， 气流不会损坏 掩膜板的表面， 保证掩膜板对显示 面板的光刻效果。 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 CN 217774959 U 2022.11.11 CN 217774959 U 1.一种清洁装置， 用于清洁掩膜板， 包括装置本体， 所述装置本体内设置清洁腔， 所述 清洁腔用于容纳所述掩膜板， 其特征在于， 还包括喷气组件， 所述喷气组件设置在所述清洁 腔内， 所述喷气组件包括喷头， 所述喷头 分别连接冷气源和热气源， 以使 所述喷头能够向所 述掩膜板的表面交替喷射冷气流和热气流。 2.根据权利要求1所述的清洁装置， 其特征在于， 所述喷气组件还包括喷气管和三通 阀， 所述冷气源包括制冷件和供气件， 所述热气源包括加热件和所述供气件， 所述供气件用 于向所述加热件和所述制冷件提供气体， 所述制冷件用于冷却所述气体 以形成所述冷气 流， 所述加热件用于加热所述气体以形成所述热气流， 所述喷气管通过所述三通阀分别与 所述制冷件和所述加热件连通， 所述喷气管远离所述 三通阀的一端设置所述喷头 。 3.根据权利要求2所述的清洁装置， 其特征在于， 所述制冷件和加热件共用一个所述供 气件。 4.根据权利要求2所述的清洁装置， 其特征在于， 所述喷气组件还包括气体脉冲发生 器， 所述气体脉冲发生器设置在所述喷气管和所述三通阀之间， 所述气体脉冲发生器用于 将所述热气流或所述冷气流 转化为脉冲气流。 5.根据权利要求1至4任一项所述的清洁装置， 其特征在于， 所述清洁装置还包括异物 回收组件， 所述异物回收组件包括回收台、 回收斗和回收箱， 所述回收台位于所述掩膜板的 下方， 所述回收台沿其厚度方向贯穿设置多个通孔， 所述回收斗的一端套设在所述回收台 的侧壁外， 另一端与所述回收箱连通。 6.根据权利要求5所述的清洁装置， 其特 征在于， 所述回收斗采用软质材 料制成。 7.根据权利要求6所述的清洁装置， 其特征在于， 所述喷头沿所述掩膜板的长度或宽度 方向移动， 所述异物回收组件还包括滑轨和滑块， 所述滑轨设置在所述清洁腔的内侧壁上， 且所述滑轨的长度沿所述喷头的移动方向延伸， 所述滑块设置在所述回收台的侧 壁上， 所 述滑块滑动设置在所述滑轨上。 8.根据权利要求5所述的清洁装置， 其特征在于， 沿所述回收台的周部设置导向板， 所 述导向板朝远离所述回收台的中心向上倾 斜设置。 9.根据权利要求5所述的清洁装置， 其特征在于， 所述清洁装置还包括多个风管， 所有 的所述风管间隔设置在所述清洁腔的顶部， 所述风管朝向所述回收台喷射气体， 以使漂浮 在所述清洁腔内的异 物掉落至所述回收台上。 10.一种曝光设备， 包括壳体， 其特征在于， 还包括如权利要求1至9任一项所述的清洁 装置， 所述清洁装置设置在所述壳体内。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217774959 U 2清洁装置及曝光设 备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及清洁设备技 术领域， 尤其涉及一种清洁装置及曝光设备。 背景技术 [0002]显示面板在制造过程中， 需要使用曝光设备对显示面板进行光刻处理。 在光刻过 程中， 曝光设备内需要通过掩膜板对显示面板进 行遮挡， 以使显示面板上形成设定的图形。 掩膜板在曝光设备内使用一段时间后， 掩膜板上会吸 附有异物， 而异物会影响显示面板的 光刻效果。 因此， 为了保证曝光设备对显示面板的光刻效果， 需要对掩膜板进行清洁， 从而 去除异物。 [0003]目前， 如图1所示， 掩膜板1＇ 需要从曝光设备中拆卸下来， 然后移送至清洗机内进 行清洗。 清洗机包括清洗室2 ＇ ， 清洗室2＇ 内设置有滚刷3＇ 和喷淋管4＇ ， 喷淋管4＇ 向掩膜板1＇ 喷淋水溶液， 同时， 滚刷3＇ 对掩膜板表面进行刷洗， 清洗完成后再将掩膜板1＇ 放入曝光设备 中。 现有技术存在以下缺陷： 1、 滚刷3＇ 对掩膜板1＇ 表面刷洗过程中很容易将掩膜板1＇ 表面 损坏， 从而影响对显示面板的曝光质量； 2、 为了 保证对掩膜板1＇ 的清洗效果， 喷淋管4＇ 需要 喷出大量的水 溶液， 从而造成水资源浪费， 清洁成本高。 实用新型内容 [0004]本实用新型的一个目的在于： 提供一种清洁装置， 其结构简单， 对掩膜板的清洁效 果好。 [0005]本实用新型的另一个目的在于： 提供一种曝光设备， 其结构 简单， 光刻效果 好。 [0006]为达上述目的， 本实用新型采用以下技 术方案： [0007]第一方面， 提供一种清洁装置， 用于清洁掩膜板， 清洁装置包括装置本体和喷气组 件， 所述装置本体内设置清洁腔， 所述清洁腔用于容纳所述掩膜板， 所述喷气组件设置在所 述清洁腔内， 所述喷气组件包括喷头， 所述喷头分别连接冷气源和热气源， 以使 所述喷头能 够向所述掩膜板的表面交替喷射冷气流和热气流。 [0008]作为清洁装置 的一种优选方案， 所述喷气组件还包括喷气管和三通阀， 所述冷气 源包括制冷件和供气件， 所述热气源包括加热件和所述供气件， 所述供气件用于 向所述加 热件和所述制冷件提供气体， 所述制冷件用于冷却所述气体以形成所述冷气流， 所述加热 件用于加热所述气 体以形成所述热气流， 所述喷气管通过所述三通阀分别与所述制冷件和 所述加热件连通， 所述喷气管远离所述 三通阀的一端设置所述喷头 。 [0009]作为清洁装置的一种优选方案， 所述制冷件和 加热件共用一个所述供气件。 [0010]作为清洁装置 的一种优选方案， 所述喷气组件还包括气体脉冲发生器， 所述气体 脉冲发生器设置在所述喷气管和所述三通阀之 间， 所述气 体脉冲发生器用于将所述热气流 或所述冷气流 转化为脉冲气流。 [0011]作为清洁装置 的一种优选方案， 所述清洁装置还包括异物回收组件， 所述异物回 收组件包括回收台、 回收斗和回收箱， 所述回收台位于所述掩膜板的下方， 所述回收台沿其说　明　书 1/5 页 3 CN 217774959 U 3