(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221748158.3 (22)申请日 2022.07.08 (73)专利权人 四川永祥 新能源有限公司 地址 614800 四川省乐 山市五通 桥区龙翔 路999号 (72)发明人 黄勤　周超宇　杨林　张良　 周叶辉　龙泉　彭勇　李文强　 陈俊宇　 (74)专利代理 机构 成都天嘉专利事务所(普通 合伙) 5121 1 专利代理师 向丹 (51)Int.Cl. F16K 3/314(2006.01) F16K 3/30(2006.01) F16K 3/02(2006.01)F16K 27/04(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F16K 37/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种硅粉输送密封阀 (57)摘要 本实用新型公开了一种硅粉输送密封阀， 包 括设有插板的阀体， 插板上连接阀杆， 阀体上设 有密封阀杆和阀体上盖的填料层， 于填料层下方 的填料腔内设硅粉收集腔， 阀杆穿过填料层、 硅 粉收集腔后插入阀体， 阀体内设硅粉沉积腔和密 封插板的阀座， 插板于阀座内竖向移动， 插板一 端穿过阀体流道连接阀杆， 插板另一端延伸至硅 粉沉积腔内。 本实用新型通过在现有阀体结构内 设计硅粉收集腔和硅粉沉积腔， 用于对插板移动 过程中泄漏的硅粉进行缓冲和沉积， 避免硅粉进 入填料层 而导致阀门填料密封失效、 阀杆卡涩问 题， 可延长现有插板阀的使用寿命， 并提高多晶 硅硅粉输送的安全性。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217898855 U 2022.11.25 CN 217898855 U 1.一种硅粉输送密封阀， 其特征在于： 包括设有插板 （1） 的阀体 （2） ， 插板 （1） 上连接阀 杆 （3） ， 阀体 （2） 上设有密封阀杆 （3） 和阀体上盖 （4） 的填料层 （5） ， 于填料层 （5） 下方的填料 腔内设硅粉收集腔 （6） ， 阀杆 （3） 穿过填料层 （5） 、 硅粉收集腔 （6） 后插入阀体 （2） ， 阀体 （2） 内 设硅粉沉积腔 （7） 和密封插板 （1） 的阀座 （8） ， 插板 （1） 于阀座 （8） 内竖 向移动， 插板 （1） 一端 穿过阀体流道 （9） 连接阀杆 （3） ， 插板 （1） 另一端延伸至 硅粉沉积 腔 （7） 内。 2.根据权利要求1所述的一种硅粉输送密封阀， 其特征在于： 于所述阀体上盖 （4） 上设 连通硅粉收集腔 （6） 的压力表 （10） 。 3.根据权利要求2所述的一种硅粉输送密封阀， 其特征在于： 于所述阀体上盖 （4） 上设 连通硅粉收集腔 （6） 的吹扫管线 （11） ， 吹扫管线 （11） 上设开关阀 （12） ， 压力表 （10） 设于开关 阀 （12） 与阀体上盖 （4） 之间的吹扫管线 （11） 上； 于所述阀体 （2） 上设连通硅粉沉积腔 （7） 的 排除管线 （13） ， 排除管线 （13） 上设开关阀 （12） ， 吹扫管线 （11） 与吹扫气源连通， 排除管线 （13） 与硅粉收集器连通。 4.根据权利要求3所述的一种硅粉输送密封阀， 其特征在于： 所述吹扫管线 （11） 与硅粉 收集腔 （6） 的连通孔于硅粉收集腔 （6） 远离阀体 （2） 的位置设置； 所述排除管线与硅粉沉积 腔 （7） 的连通 孔于硅粉沉积 腔 （7） 远离阀体 （2） 的位置设置 。 5.根据权利要求 4所述的一种硅粉输送密封阀， 其特 征在于： 所述 开关阀 （12） 为球阀。 6.根据权利 要求2~5任一项所述的一种硅粉输送密封阀， 其特征在于： 所述压力表 （10） 为远程压力变送器。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217898855 U 2一种硅粉输送密封 阀 技术领域 [0001]本实用新型属于阀门密封技 术领域， 具体的说， 是一种硅粉输送密封阀。 背景技术 [0002]多晶硅生产过程中涉及大量采用含硅烷氢气输送硅粉管线的流体切断控制， 由于 硅粉硬度高， 且存在 超细硅粉 （粒度＜5微米） ， 容易造成管线阀门密封失效， 带来阀门内漏、 外漏问题， 形成生产安全隐患。 通常情况下， 硅粉输送主要采用高温、 高压氢气 （氢气含少量 氯硅烷） ， 利用压 差来输送硅粉。 [0003]目前， 常用的硅粉输送阀门主要有耐磨盘阀， 少量采用耐磨球阀和插板阀， 其中， 盘阀由于长期密封性能较弱， 需要定期进 行更换， 且盘阀结构的密封面暴露在流道中， 易造 成磨损而失效， 另外， 盘阀还存在较大腔体， 硅粉容易堆积造成阀门卡涩。 球阀在硅粉输送 过程中， 则容易造成喷涂耐磨层磨损脱落， 造成密封失效， 若球阀水平安装， 仍可能出现腔 体内积存硅粉造成阀门卡涩的现象。 插板阀在使用过程中， 当阀门内部密封失效时， 在使用 中会在较短时间内出现填料密封失效、 物料外漏 （氢气、 氯硅烷） ， 和阀杆抱死现象， 难以得 到大量应用和推广。 基于上述硅粉输送工况 的问题， 亟需设计一种新的阀门结构来解决和 保证硅粉输送工况中阀门的长期密封性能。 [0004]例如： 公告号为CN202144876U的实用新型专利公开的全内衬滑动闸阀， 在闸阀的 主阀体内嵌装闸板框， 闸板框内嵌装全陶瓷结构闸板， 主阀体两侧固定支托板和支板架， 密 封板夹装全陶瓷结构闸板， 支板架夹装密封板， 支板架与密封板间夹装弹簧， 支板架设有过 流通道， 过流通道内镶嵌陶瓷管， 主阀体的两侧由副阀体夹装固定。 该闸阀的过流部 分为全 陶瓷结构， 耐磨损， 耐腐蚀， 抗冲刷， 可适用于多晶硅硅粉传送， 将密封面设计为面密封， 密 封面磨损后， 其 余部分密封面能继续补偿， 起到密封作用。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的在于提供一种硅粉输送密封阀， 通过在现有阀体结构内设计硅 粉收集腔和硅粉沉积腔， 用于对插板移动过程中泄漏的硅粉进行缓冲和 沉积， 避免硅粉进 入填料层而影响阀门密封， 可延长现有插板阀的使用寿命， 并提高多晶硅硅粉输送的安全 性。 [0006]本实用新型通过下述技术方案实现： 一种硅粉输送密 封阀， 包括设有插板的阀体， 插板上连接阀杆， 阀体上设有密封阀杆和阀体上盖的填料层， 于填料层下方 的填料腔 内设 硅粉收集腔， 阀杆穿过填料层、 硅粉收集腔后插入阀体， 阀体内设硅粉沉积腔和密封插板的 阀座， 插板于阀座内竖向移动， 插板一端穿过阀体流道连接阀杆， 插板另一端延伸至硅粉沉 积腔内。 [0007]于所述阀体上盖上设连通硅粉收集腔的压力表。 [0008]于所述阀体上盖上设连通硅粉收集腔的吹扫管线， 吹扫管线上设开关阀， 压力表 设于开关阀与阀体上盖之间的吹扫管线上； 于所述阀体上设连通硅粉沉积腔的排除管线，说　明　书 1/3 页 3 CN 217898855 U 3