(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221779349.6 (22)申请日 2022.07.11 (73)专利权人 上海晶盟 硅材料有限公司 地址 201707 上海市青浦区北青公路82 28 号二区48号 (72)发明人 吴勇　张晓艳　顾广安　 (74)专利代理 机构 北京挺立专利事务所(普通 合伙) 11265 专利代理师 程武红 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) H01L 21/687(2006.01) B08B 5/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆单片式背面清洗 机 (57)摘要 本发明公开了一种晶圆单片式背面清洗机， 包括转轴、 卡盘以及冲洗管， 卡盘安装在转轴由 其带动旋转， 在卡盘上设置有多个夹爪用于固定 晶圆， 所述冲洗管位于转轴内部， 冲洗管的顶部 伸出转轴， 冲洗管侧壁与转轴内壁之间存在间 隙， 且在顶部设置有出水孔用于冲洗晶圆背面， 所述冲洗管中还设置有与水路隔离的无尘气体 通道， 冲洗管的侧壁上设置多个气体喷射孔连通 无尘气体通道， 喷射孔的方向为斜向下， 且喷射 孔在冲洗 管的侧壁圆周方向上均匀分布。 当高速 旋转时吸入 大气空气后， 氮气可将 污染物向底部 吹， 避免污染物进 入晶片背面和腔体 。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 218182168 U 2022.12.30 CN 218182168 U 1.一种晶圆单片式背面清洗机， 包括转轴、 卡盘以及冲洗管， 卡盘安装在转轴由其带动 旋转， 在卡盘上设置有多个夹爪用于固定晶圆， 所述冲洗管位于转轴内部， 冲洗管的顶部伸 出转轴， 冲洗管侧壁与转轴内壁之 间存在间隙， 且在顶部 设置有出水孔用于冲洗晶圆背面， 其特征在于： 所述冲洗管中还设置有与水路隔离的无尘气体通道， 冲洗管 的侧壁上设置多 个气体喷射孔连通无尘气体通道， 喷射孔的方向为斜向下， 且喷射孔在冲洗管 的侧壁圆周 方向上均匀分布。 2.根据权利要求1所述的晶圆单片式背面清洗机， 其特征在于： 所述喷射孔与 竖直平面 呈30°的夹角。 3.根据权利要求1所述的晶圆单片式背面清洗机， 其特征在于： 所述无尘气体通道设置 在冲洗管的管壁中， 无尘气体通道连接氮气源。 4.根据权利要求3所述的晶圆单片式背面清洗机， 其特征在于： 在转轴内部设置有套筒 内衬， 其位于冲洗管和转轴之间， 套筒内衬与冲洗管侧壁之间的间隙最大宽度为1.2mm， 无 尘气体通道的直径以及喷射 孔的直径均为5m m。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218182168 U 2一种晶圆单片式背面清洗机 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆加工处 理技术领域， 具体涉及一种晶圆单片式背面清洗 机。 背景技术 [0002]单片式清洗机在清洗过程中晶圆背面会有液体冲洗， 会造成晶圆背面呈现出湿润 的状态。 在晶圆清洗过程卡盘是高速旋转的状态， 旋转的过程由于会产生负 压， 将外部大气 吸入到晶圆的表面， 由于晶圆背面是湿润的状态加固大气 中污染物的吸 附， 引起晶圆晶背 颗粒增加的现象。 现有技术中大多利用大环境的负压抽掉晶圆背面边缘的颗粒， 但实际过 程中由于空间较大， 作用有限， 故将大气中颗粒随着高速旋转吸附再晶圆的背面， 造成产品 的不良。 实用新型内容 [0003]本实用新型要解决的技术问题是解决上述现有技术的不足， 提供一种晶圆单片式 背面清洗 机。 [0004]为了解决上述现有技术的不足， 本实用新型采用的技术方案为： 一种晶圆单片式 背面清洗机， 包括转轴、 卡盘以及冲洗管， 卡盘安装在转轴由其带动旋转， 在卡盘上设置有 多个夹爪用于固定晶圆， 所述冲洗管位于转轴内部， 冲洗管的顶部伸出转轴， 冲洗管侧壁与 转轴内壁之间存在 间隙， 且在顶部设置有出水孔用于冲洗晶圆背面， 所述冲洗管中还设置 有与水路隔离的无尘气体通道， 冲洗管 的侧壁上设置多个气体 喷射孔连通无尘气体通道， 喷射孔的方向为 斜向下， 且喷射 孔在冲洗管的侧壁圆周方向上均匀分布。 [0005]进一步的， 所述喷射 孔与竖直平面呈3 0°的夹角。 [0006]进一步的， 所述无尘气体通道设置在冲洗管的管壁中， 无尘气体通道连接氮气源。 [0007]进一步的， 在转轴内部设置有套筒内衬， 其位于冲洗管和转轴之间， 套筒内衬与冲 洗管侧壁之间的间隙最大宽度为1.2m m， 无尘气体通道的直径以及喷射 孔的直径均为5m m。 [0008]从上述技术方案可以看出本实用新型具有以下优点： 当高速旋转时吸入大气空气 后， 氮气可将污染物向底部吹， 避免污染物进入晶片背面和腔体。 附图说明 [0009]图1为本实用新型的机构示 意图； [0010]图2为本实用新型中冲水 管的结构示 意图。 具体实施方式 [0011]如图1和图2 所示， 本实用新型的晶圆单片式背面清洗机包括转轴1、 卡盘  3以及冲 洗管5， 转轴连接电机由其 驱动高速旋转(图中未显示电机)。 卡盘3  安装在转轴顶端由其带 动旋转。 在卡盘3上设置有多个夹爪4用于固定晶圆。 冲洗管位于转轴内部， 冲洗管5的顶部 伸出转轴， 冲洗管5侧壁与转轴内壁之间存在 间隙， 在转轴内部设置有套筒内衬， 其位于冲说　明　书 1/2 页 3 CN 218182168 U 3