(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222229194.5 (22)申请日 2022.08.23 (73)专利权人 天津市环智新能源技 术有限公司 地址 300450 天津市滨 海新区塘沽海 洋科 技园康祥道32号 (72)发明人 张海明　杨旭洲　张昊铭　危晨　 郭俊文　 (74)专利代理 机构 天津诺德知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 12213 专利代理师 栾志超 (51)Int.Cl. B08B 1/04(2006.01) B08B 1/00(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种单晶硅棒自动清洗装置 (57)摘要 本实用新型提供一种单晶硅棒自动清洗装 置， 包括： 基体框架、 喷淋装置、 擦洗装置和喷气 装置， 所述基体框架内侧底部被设置为放置晶 棒； 多组所述喷淋装置、 多组所述擦洗装置和多 组所述喷气装置均设置于所述基体框架除去内 侧底部的侧壁和顶面； 所述喷淋装置被 设置为喷 淋所述晶棒； 所述擦洗装置被设置为擦洗所述晶 棒； 所述喷气装置被设置为吹扫所述晶棒。 本实 用新型的有益效果是通过依次运行的喷淋装置、 擦洗装置、 铲刀以及喷气 装置对切割之前的晶棒 进行表面残存的杂质、 胶点、 油污进行清理， 提高 硅片切割精度和质量， 生产效率高， 降低了人工 成本， 满足日益增长的产量需求； 采用多方向喷 淋、 擦洗并配合气吹的方式， 可有效将单晶表面 杂质去除。 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 CN 218167929 U 2022.12.30 CN 218167929 U 1.一种单晶硅棒自动清洗装置， 其特征在于， 包括： 基体框架、 喷淋装置、 擦洗装置和喷 气装置， 所述基 体框架内侧底部被设置为 放置晶棒； 多组所述喷淋装置、 多组所述擦洗装置和多组所述喷气装置均设置于所述基体框架除 去内侧底部的侧壁和顶面； 所述喷淋装置被设置为喷淋所述晶棒； 所述擦洗装置被设置为擦洗所述晶棒； 所述喷气装置被设置为吹扫所述晶棒。 2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒自动清洗装置， 其特征在于： 所述基体框架为内 部设置有放置空间的框型 结构； 所述基体框架的内侧底部设置有传输组件， 用于传输所述晶棒； 所述传输组件沿所述基 体框架的长边方向贯 穿并伸出 所述基体框架设置 。 3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒自动清洗装置， 其特征在于： 所述传输组件长度 方向的一端设置有传感器光源和光源感应器， 用于检测所述传输组件上是否存在所述晶 棒。 4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒自动清洗装置， 其特征在于： 所述传感器光源和 所述光源感应 器设置于所述传输组件的不同侧； 所述传感器光源和所述 光源感应 器同高度设置 于所述传输组件的上 方。 5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒自动清洗装置， 其特征在于： 所述基体框架的长 边方向的内侧壁靠 近底部的一端设置有铲刀， 用于去除放置所述晶棒的料座上的胶粒。 6.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒自动清洗装置， 其特征在于： 所述喷淋装置沿所 述基体框架的长边方向的两侧壁及顶面设置有 多组。 7.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒自动清洗装置， 其特征在于： 所述擦洗装置沿所 述基体框架的长边方向的两侧壁及顶面设置有 多组。 8.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒自动清洗装置， 其特征在于： 所述喷气装置沿所 述基体框架的长边方向的两侧壁及顶面设置有 多组。 9.根据权利要求8所述的一种单晶硅棒自动清洗装置， 其特征在于： 所述基体框架的长 边方向的两侧壁靠 近底部的一端还设置有 多组所述喷气装置 。 10.根据权利要求9所述的一种单晶硅棒自动清洗装置， 其特征在于： 所述喷气装置平 行所述铲刀设置 于所述铲刀的上 方， 用于吹扫所述 铲刀铲下的胶粒。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218167929 U 2一种单晶硅棒自动清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于太阳能单晶硅片切割领域， 尤其是涉及 一种单晶硅棒自动清洗装 置。 背景技术 [0002]随着太阳能光伏发电行业迎来新的发展潮 流， 对单晶硅片的需求日益剧增， 硅片 生产制造技术不断升级， 硅片尺寸逐步向大直径、 超薄化迈进。 但大面积超薄硅片对硅片质 量指标提出了更高的要求， 制备难度进一步上升。 目前光伏硅片需求量大， 在硅片生产过程 中， 自动化、 少人化、 高效率 等工业模式迫待发展。 [0003]硅片生产过程中， 单晶硅棒在进入线切机前， 需要从待料库从流水线输送至线切 机处， 但在切割之前需要对单 晶硅棒表面残存的杂质、 胶点、 油污进行清理， 以避免影响硅 片切割过程。 目前， 擦洗单 晶主要是人工解决， 效率低下且人工成本高， 为提高单晶硅棒的 擦洗效率， 满足日益增长的产量需求， 需要研发一种自动擦洗单晶 的装置。 实用新型内容 [0004]本实用新型要解决的问题是提供一种单晶硅棒自动清洗装置， 尤其适合有效将单 晶表面的杂质去除， 提高单晶硅棒的擦洗效率。 [0005]为解决上述技术问题， 本实用新型采用的技术方案是： 一种单晶硅棒自动清洗装 置， 包括： 基体框架、 喷淋装置、 擦洗装置和喷气装置， 所述基体框架内侧底部被设置为放置 晶棒； [0006]多组所述喷淋装置、 多组所述擦洗装置和多组所述喷气装置均设置于所述基体框 架除去内侧底部的侧壁和顶面； [0007]所述喷淋装置被设置为喷淋所述晶棒； [0008]所述擦洗装置被设置为擦洗所述晶棒； [0009]所述喷气装置被设置为吹扫所述晶棒。 [0010]进一步的， 所述基 体框架为内部设置有放置空间的框型 结构； [0011]所述基体框架的内侧底部设置有传输组件， 用于传输所述晶棒； [0012]所述传输组件沿所述基 体框架的长边方向贯 穿所述基 体框架设置 。 [0013]进一步的， 所述传输组件长度方向的一端设置有传感器光源和光源感应器， 用于 检测所述传输组件上 是否存在所述晶棒。 [0014]进一步的， 所述传感器光源和所述 光源感应 器设置于所述传输组件的不同侧； [0015]所述传感器光源和所述 光源感应 器同高度设置 于所述传输组件的上 方。 [0016]进一步的， 所述基体框架的长边方向的内侧壁靠近底部 的一端设置有铲刀， 用于 去除放置所述晶棒的料座上的胶粒。 [0017]进一步的， 所述喷淋装置沿所述基体框架的长边方向的两侧壁及顶面设置有多 组。说　明　书 1/4 页 3 CN 218167929 U 3