(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222058942.8 (22)申请日 2022.08.05 (73)专利权人 清研长光 （天津） 光电科技有限公 司 地址 300304 天津市东 丽区华明 高新技术 产业区弘顺道科创慧谷园区5号楼202 室9号 (72)发明人 孙冶　 (74)专利代理 机构 北京神州信德知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11814 专利代理师 朱俊杰 (51)Int.Cl. G01B 11/06(2006.01) B08B 5/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种光学薄膜测厚仪 (57)摘要 本实用新型涉及薄膜测厚仪技术领域， 且公 开了一种光学薄膜测厚仪， 包括除尘机构， 所述 除尘机构外部设置有测量机构； 所述除尘机构 包 括线性导轨， 所述线性导轨上端设置有电机， 所 述电机上端固定连接有十字支撑台， 所述十字支 撑台上表 面设置有固定吸盘， 所述固定吸盘上部 设置有风机， 所述风机下端设置有出风板。 该光 学薄膜测厚仪， 通过线性导轨带动电机水平移 动， 电机带动十字支撑台水平移动， 线性导轨的 内部线路连接为现有公知技术， 将待测光学薄膜 放置在十字支撑台上表面， 通过固定吸盘将光学 薄膜吸合固定， 通过线性导轨使十字支撑台移动 至出风板下方， 通过风机产生风力， 风机通过出 风板将风力导向光学薄膜上表面， 对其进行除 尘。 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 CN 217877565 U 2022.11.22 CN 217877565 U 1.一种光学薄膜测厚仪， 包括除尘机构(1)， 其特征在于： 所述除尘机构(1)外部设置有 测量机构(2)； 所述除尘机构(1)包括线性导轨(101)， 所述线性导轨(101)上端设置有电机(102)， 所 述电机(102)上端 固定连接有十字支撑台(103)， 所述十字支撑台(103)上表面设置有 固定 吸盘(104)， 所述固定吸盘(104)上部设置有风机(105)， 所述风机(105)下端设置有出风板 (106)； 所述测量机构(2)包括光谱测厚仪(201)， 所述光谱测厚仪(201)侧面固定连接有导线 杆(202)， 所述导线杆(202)另一端固定连接有检测头(203)， 所述检测头(203)外部设置有 防护箱(204)， 所述防护箱(204)中部上端固定连接有电动伸缩杆(205)， 所述电动伸缩杆 (205)下端固定连接有密封 板(206)。 2.根据权利要求1所述的一种光学薄膜测 厚仪， 其特征在于： 所述防护箱(204)前端敞 开， 所述防护箱(204)中部设置有隔板， 隔板下端设置有入口。 3.根据权利要求1所述的一种光学薄膜测 厚仪， 其特征在于： 所述电动伸缩杆(205)设 置于隔板内侧， 所述密封 板(206)与隔板内侧贴合， 所述密封 板(206)下端设置有卡槽 。 4.根据权利要求1所述的一种光学薄膜测 厚仪， 其特征在于： 所述线性导轨(101)固定 连接防护箱(204)底部， 所述线性 导轨(101)贯 穿隔板底部 。 5.根据权利要求1所述的一种光学薄膜测 厚仪， 其特征在于： 所述线性导轨(101)的导 块与电机(102)底面固定连接， 所述电机(102)的转轴与十字支撑台(103)的底面中部固定 连接。 6.根据权利要求1所述的一种光学薄膜测 厚仪， 其特征在于： 所述十字支撑台(103)内 部套接有卡 块， 多个所述固定吸盘(104)对称分布在十 字支撑台(10 3)的上表面。 7.根据权利要求1所述的一种光学薄膜测厚仪， 其特征在于： 所述导线杆(202)为L形 杆， 所述导线 杆(202)上端贯穿防护箱(204)内部， 所述防护箱(204)固定连接于光谱测厚仪 (201)的上表面。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217877565 U 2一种光学薄膜测厚仪 技术领域 [0001]本实用新型 涉及薄膜测厚仪技 术领域， 具体为 一种光学薄膜测厚仪 。 背景技术 [0002]光学薄膜的应用始于20世纪30年代， 由薄的分层介质构成的， 通过界面传播光束 的一类光学介质材料。 现代， 光学薄膜已广泛用于光学和光电子技术领域， 制造各种光学仪 器， 主要的光学薄膜器件包括反射膜、 减反射膜、 偏振膜、 干涉滤光片和分光镜等等。 它们在 国民经济和国防建设中得到了广泛的应用， 获得了科学技术工作者的日益重视。 例如采用 减反射膜后可使复杂的光学镜头的光通量损失成十倍地减小； 采用高反射比的反射镜可使 激光器的输出功率成倍提高； 利用光学薄膜可提高硅光电池的效率和稳定性， 在光学薄膜 生产制造中， 需要测量 光学薄膜的厚度。 [0003]根据专利公开号CN  215766912  U提出的一种一种具有光谱 反射技术的膜厚仪， 包 括控制箱和检测头， 所述控制箱的顶部插接有十字型的支撑台， 该装置具有便于吸附固定， 解决了待测物品在测 量过程中出现移动， 进而影响整体的测量对比效果的问题， 但是该装 置缺少外部防护结构， 由于 薄膜测厚仪是精密的光学仪器， 灰尘污染检测头， 从而对测量精 密度产生影响， 若防尘效果 不当， 影响测量结果。 [0004]因此我们提出一种光学薄膜测厚仪来 解决上述背景中的问题。 实用新型内容 [0005](一)解决的技 术问题 [0006]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种光学薄膜测厚仪， 具备使用便捷， 防 尘保护等优点， 解决了光谱薄膜测厚仪的防尘问题。 [0007](二)技术方案 [0008]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种光学薄膜测厚仪， 包括除尘 机构， 所述除尘机构外 部设置有测量机构； [0009]所述除尘机构包括线性导轨， 所述线性导轨上端设置有电机， 所述电机上端固定 连接有十字支撑台， 所述十字支撑台上表面设置有固定 吸盘， 所述固定吸盘上部设置有风 机， 所述风机下端设置有出风板； [0010]通过线性导轨带动电机水平移动， 电机带动十字支撑台水平移动， 线性导轨 的内 部线路连接为现有公知技术， 将待测光学薄膜放置在十字支撑台上表面， 通过固定吸盘将 光学薄膜吸合固定， 通过线性导轨使十字支撑台移动至出风板下方， 通过风机产生风力， 风 机通过出风板将风力导向光学薄膜上表面， 对其进行除尘， 出风板倾斜设置于待测薄膜的 上前方， 防止灰尘吹向 防护箱的隔板内侧， 从而对检测头进 行保护， 经过表面除尘的光学薄 膜进行下一步测量， 从而避免表面灰尘影响测 量精度， 从而保证光学薄膜厚度测量的准确 性。 [0011]所述测量机构包括光谱测厚仪， 所述光谱测厚仪侧面固定连接有导线杆， 所述导说　明　书 1/5 页 3 CN 217877565 U 3