GB-T 44515-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法

ICS 31.080.99 CCS L 59 中华人民共和国国家标准 GB/T 44515—2024/IEC 62047-30:2017 微机电系统(MEMS)技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法 Micro-electromechanical system(MEMS)technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film (IEC 62047-30: 2017, Semiconductor—Micro-electromechanical devices- Part 30 : Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film, IDT) 2024-09-29 发布 2025-01-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T44515—2024/IEC62047-30:2017 目次前言 1 范围· 规范性引用文件 2 3 术语和定义 MEMS压电薄膜试验台 4 4.1 总则· 4.2 功能模块和组件 5被测薄膜 5.1 通则· 5.2 测量原理· 5.3 正横向压电系数的测量流程 5.4逆横向压电系数的测量流程测试报告附录A（资料性）MEMS压电薄膜测量方法的示例· A.1 概述· A.2 样品制备流程· A.3 测量流程 A.4 测试报告 A.5 中性面的方程参考文献 .13

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