ICS 31.020 SJ L 97 备案号：20881998 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T 11185-1998 蒸发镀膜设备通用规范 general specification for vapour coating equipment 1998-03-11发布 1998-05-01实施 中华人民共和国电子工业部 发布 前言 本标准是根据电子工业部九九六年标准制修订计划的要求，对SJ1224一77<真空蒸发 设备通用技术条件》进行修订。 本版本对原版标准的重要技术内容改变如下： a）标准名称略有改变； b）增加了设备的分类与型号命名、制冷系统要求、膜厚均匀性、可靠性等。 本标准由电子工业部标准化研究所归口。 本标准起草单位：成都南光实业股份有限公司、电子工业部标准化研究所。 本标准主要起草人：贺学红、陆裕芳、武又文、赵雨生。 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T 111851998 蒸发镀膜设备通用规范 代替SJ1224-77 General specification for vapour coating equipment 1 范围 本标准规定了蒸发镀膜设备（以下简称“设备”）的分类与型号命名、要求、试验方法、检验 规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于极限压力为3×10-3Pa～5×10-‘Pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设 备。 2引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所 示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的 可能性。 GB191-90 包装储运图示标志 GB2681—81 电工成套装置中的导线颜色 GB2682—81 电工成套装置中的指示灯和按钮的颜色 GB3797—83 电控设备第二部分装有电子器件的电控设备 GB5080.7-86 设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间验 证试验方案 GB6388--86 运输包装收发货标志 GB/T13384—92 机电产品包装通用技术条件 SJ/T 37—1996 电子工业专用设备型号编制及命名方法 SJ1276—77 金属镀层和化学处理层质量检验技术要求 SJ 16351996 电子工业管路的基本识别色和识别符号 SJ 2573-85 涂料涂覆通用技术条件 SJ/T11131一1997蒸发镀膜设备基本参数系列 SJ20385—93 军用电子设备电气装配技术要求 3分类与命名 3.1设备分类 3.1.1按设备的工作压强可分为： 中华人民共和国电子工业部1998-03-11批准 1998-05-01实施 SJ/T 11185-1998 a）高真空蒸发镀膜设备； b) 超高真空蒸发镀膜设备。 3.1.2. 按设备成膜的用途可分为： 半导体、集成电路用蒸发镀膜设备； b) 磁带、光盘用蒸发镀膜设备； c) 装饰膜、包装膜用蒸发镀膜设备。 3.1.3 按设备的结构特点可分为： a) 钟罩式蒸发镀膜设备； b) 箱式蒸发镀膜设备； 卷绕式蒸发镀膜设备。 c) 3.1.4 按蒸发加热的方式可分为： a) 电阻加热式蒸发镀膜设备； b) 电子束加热式蒸发镀膜设备； c) 电阻和电子束加热式蒸发镀膜设备： d) 感应加热式蒸发镀膜设备； e) 激光加热式蒸发镀膜设备。 3.1.5 按设备自动化程度可分为： a) 半自动蒸发镀膜设备； b) 手动蒸发镀膜设备。 3.2设备型号命名 设备的型号应按SJ/T37的规定编制，其具体含义如下： M 6 0 A 改进代号 设计顺序号 主参数 一品种代号 型式代号 类别代号 设备名称为“700箱式蒸发镀膜设备”。 4要求 4.1工作条件 在下列条件下，设备应能正常工作： a）环境温度：25℃±5℃； b）相对湿度：不大于90%； c) 冷却水：进水温度不高于25C，冷却水采用城市自来水或质量相当的水； 供电电源：三相380V±38V或单相220V±22V； 频率50Hz±1Hz； e) 设备工作所需的压缩空气、氮气、氩气等的耗量、压力，在产品标准中规定。 2 SJ/T11185-1998 4.2一般要求 4.2.1设备应按规定程序批准的图样及技术文件制造，并应符合本标准的要求。 4.2.2设备的电气装配应符合SJ20385的规定。 4.2.3设备电气安装时使用的导线额色应符合GB2681的规定。 4.2.4设备使用的按钮、指示灯的额色应符合GB2682的规定。 4.2.5设备配用的外购件，都应符合相应的产品标准的规定，并应具有质量合格证。 4.3外观要求 4.3.1开关、仪表及铭牌等面板上的零部件应布置合理、方便操作。 4.3.2油漆涂覆的零部件的涂层应符合SJ2573的要求。 4.3.3电镀及化学涂覆的零部件表面应光滑细致、无斑点、锈蚀、起泡、脱层、烧结等缺陷。其 质量应符合SJ1276的规定。 4.3.4各种管道的涂色应符合SJ1635的规定。 4.4安全要求 4.4.1设备应设有水流报警装置。 4.4.2设备应有防止触电的保护设施，其设施应符合GB3797-83中3.9.1的规定。 4.4.3电控柜的接地要求应符合GB3797一83中3.9.7的规定。 4.4.4设备绝缘电阻与介电强度要求应符合GB3797—83中3.7的规定。 4.5真空性能 4.5.1极限压力 设备蒸发室的极限压力应在产品标准中规定。其值应不低于SJ/T11131一1997中3.1 对极限压力的规定。 4.5.2动密封 设备的各动密封在处于运动状态时，蒸发室的极限压力变化(增长)不得超过3%。 4.5.3压升率 设备蒸发室的压升率应在产品标准中规定。 4.5.4恢复真空时间 的规定。 4.6烘烤加热 4.6.1烘烤加热温度 设备应设置烘烤工件的加热装置，加热温度可调、可控，且在工件被加热烘烤过程中，设备 应能正常连续工作，传动部分运转自如，无卡滞、松动等现象。设备的加热温度应可调。其加 热烘烤的温度调节范围应符合SJ/T11131一1997中3.1的规定。 4.6.2烘烤加热温度均匀性 设备烘烤装置的加热区温度应均匀，其烘烤加热温度均匀性应在产品标准中规定。 4.7卷绕系统 卷绕系统各辊必须转动灵活、平稳，各传动皮带应张紧适当，带材卷绕跑偏量应不大于土 5mm. 4.8制冷系统 4.8.1设备的制冷系统应密封可靠。其低压部分在1.6MPa、高压部分在2MPa时，应24h不 3 SJ/T11185-1998 混气。 4.8.2输液系统应无渗漏现象。 4.9膜厚均匀性 被镀工件的膜厚均匀性应在产品标准中规定。 4.10可靠性 设备的可靠性指标用平均失效间隔时间和平均维修时间表示。该指标应在产品标准中规 定。 4.11成套性 供给设备应包括主机、附件、易损件和随机技术文件，并满足合同规定的其它要求。 附件、易损件和随机技术文件的品种、规格和数量应在产品标准中规定或在使用说明书中 说明。 5试验方法 5.1一般要求检查 按设计文件、产品使用说明书等有关技术文件，对照设备进行检查。 5.2外观要求检查 用目测法，按4.3要求，进行外观检查。 5.3安全要求检查 5.3.1将设备冷却系统的水流量调至额定流量值的80%，检查报警装置是否灵敏。 5.3.2按GB3797-83中4.2检查防止触电保护措施是否符合要求。 5.3.3用目测法检查设备是否有接地装置。 5.3.4按GB3797一83中4.3、4.4规定检查设备的绝缘电阻与介电强度。 5.4真空性能检查 5.4.1极限压力 设备在空载条件下，开机后用设备本身的烘烤装置充分除气，用经过校准的设备本身配置 的真空计检测蒸发室的极限压力。 5.4.2动密封 设备达到极限压力后，分别操纵引入蒸发室内的挡板、工件转架等处的运动机构，用设备 本身配置的真空计测量蒸发室的压力。每处在10min内记录3次，取其平均值，其结果应符合 4.5.2要求。 5.4.3压升率 在蒸发室抽至极限压力时，关闭高真空阀，停主泵，15min后，用真空计测量蒸发室内压力 P1；半小时后停前级泵，用真空计测量蒸发室内压力为P2，用公式(1)计算压升率。 P2 - P1 △P= (1) △t 式中：△P—压升率，Pa/h; Pi——第一次测量蒸发室内的压力,Pa; P2一第二次测量蒸发室内的压力,Pa; △t一两次测量时的时间间隔，h；△t应不小于0.5h。 5.4.4恢复真空时间 4 SJ/T11185-1998 设备在空载条件下，当蒸发室内的压力达到极限压力后，关闭高真空阀，由放气阀向蒸发 室充入大气15min以后，再开高真空阀对蒸发室抽气，同时用秒表测量蒸发室达到规定压力的 时间，符合4.5.4要求。 5.5烘烤加热检查 5.5.1烘烤加热温度 在设备达到可加热的压力时，通电加热，用设备本身配置的热电偶及仪表测量温度，由小 到大调整加热功率，观察温度变化范围。当功率调到额定值时，记录最高烘烤温度。在最高烘 烤温度下保持30min后，再转动工件架及其他运动部位，检查运转情况，符合4.6.1要求。 5.5.2烘烤加热温度均匀性 蒸发室达到恢复真空后，将工件烘烤温度调至最高烘烤温度，恒定10min后，用热偶温度 计进行测量。测量位置为工件盘上方一特定平面（该特定平面距工件盘的距离在产品标准中 规定内分布的三点（如图1所示a、b、c三点），同时测量其温度（允许使用转换开关)。重复测 3组数据，将3组最大温差的平均值作为加热温度均匀性。 注：R为放置的工件半径。 图 1 5.6卷绕系统检查 将待镀的带材放在卷绕系统上，启动卷绕系统，观察各辑的转动情况。当带材全部卷到收 卷辊上时，停