ICS 31.020 SJ 26 1 备案号：20841998 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T 111811998 净化涂胶台通用规范 General specification for resist - coating stage with purified room 1998-03-11发布 1998-05-01实施 中华人民共和国电子工业部 发布 前 言 本标准是根据国内净化涂胶台的技术条件，参照国外同类设备技术资料进行编制的。 本标准由电子工业部标准化研究所归口。 本标准起草单位：电子工业部半导体专用设备研究所。 本标准起草人：赵杯科、黄燕。 中华人民共和国电子行业标准 净化涂胶台通用规范 SJ/T11181-1998 General specification for resist- coating stage with purified room 范围 1 本标准规定了净化涂胶台（以下简称涂胶台）的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包 装、运输、贮存。 本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备，其它类型的涂胶设备也可参照 使用。 2引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所 示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的 可能性。 GB191—90 包装储运图示标志 GB268181 电工成套装置中的导线颜色 GB2682—81 电工成套装置中的指示灯和按钮的颜色 GB3768—83 噪声源声功率级的测定一简易法 GB 5226-85 机床电气设备通用技术条件 运输包装收发货标志 GB6388-86 SJ/T142—1996 电子工业专用设备通用规范 SJ/T 10152-91 集成电路主要工艺设备术语 SJ/T 10386—93 电子工业专用设备可靠性指标验证试验方法 SJ 20385-93 军用电子设备电气装配技术要求 3定义 本标准采用下列定义。 3.1基片substrate 又称衬底。置于相同或不同材料之下，对其起有支撑或基座作用的半导体单晶或其它材 料构件[SJ/T1015291中3.1.1.2]。 3.2 涂胶 gule coating 在高速旋转下，由于离心作用和液体表面张力使胶液均匀地涂覆在基片上的过程。 3.3涂胶台resistcoatingstage 中华人民共和国电子工业部1998-03-11批准 1998-05-01实施 1 SJ/T11181--1998 利用液体表面张力和基片高速旋转的离心力的作用，将光致抗蚀剂均匀地涂覆在基片表 面的设备[SJ/T1015291中3.1.3]。 4分类 4.1按自动化程度可分为： a）全自动净化涂胶台； b) 半自动净化涂胶台； c）手动净化涂胶台。 4.2按工位可分为： a）单头净化涂胶台； b）多头（多工位)净化涂胶台。 4.3按有无烘干装置可分为： a）带烘干装置的净化涂胶台； b）不带烘干装置的净化涂胶台。 5 要求 5.1使用条件 5.1.1环境 a) 温度：22℃±2七； b) 相对湿度：≤60%； c) 净化室洁净度：10级，100级，1000级。 5.1.2 电源 a) 电压：220V±22V； b) 频率：50Hz±1Hzo 5.1.3基片 a) 平行度：<0.05mm； b) 尺寸：8mm~*75mm，100mm、125mm、150mm。 5.2外观 5.2.1 涂胶台外观设计应美观，表面无凹陷、毛刺和拉伤等缺陷。 5.2.25 外表喷漆颜色应鲜亮，色调一致，不得有脱落、龟裂、流挂、起泡或划伤等缺陷。 5.2.3经电镀及化学涂覆的零部件表面应光亮，无斑痕，无锈蚀，脱皮及明显划痕等缺点。 5.2.4涂胶台润滑、安全操作、接地都应有明显的指示标志和标牌。 5.2.5操作面板及标牌的刻线、数字、文字和图形符号等标志，必须统一、明确.且字迹清晰， 位置正确，安装牢固。 5.3性能特性 5.3.1空气净化台 有效操作区气流状态应为垂直层流。 a）操作区风速：0.5m/s±0.1m/s； b）过滤率： >99.95%。 5.3.2涂胶台 2 SJ/T11181-1998 a）勾胶转速：50r/min~9000r/min，连续可调； b）匀胶时间：0～99.9s可以设定。 5.3.3传动机构 涂胶台应运转平稳，各部分动作协调一致，操作开关、手把应灵活、准确，安全可靠。 5.3.4减震装置 工作台应有减震装置。减置装置应具备调节机构，且调节方便、灵活。 5.3.5气路系统 涂胶台应气路畅通，电磁阀、气缸开关灵活，动作准确。 5.3.6润滑系统 涂胶台润滑良好，各润滑部位应有明确标志，并在产品说明书中规定润滑周期和润滑油的 类型。 5.3.7电气控制系统 5.3.7.1按钮、开关控制方便、灵活、可靠，其颜色应符合GB2682的规定。 5.3.7.2时间、转速指示准确、直观。 5.3.7.3电气控制系统安装应符合SJ20385的规定。 5.3.7.4电气导线颜色应符合GB2681的规定。 5.3.8噪声 涂胶台运行时噪声应小于65dB(A)。 5.4可靠性 涂胶台应有可靠性指标要求，具体指标在产品标准中规定。 5.5安全 5.5.1电气绝缘电阻应大于2MQ。 5.5.2涂胶台应有接地装置，并设置明显的接地标志。 5.5.3涂胶台应有断电保护装置，以防止因失电而造成基片飞出等故障。 6试验方法 6.1使用条件检查 6.1.1环境 用常规器具，对使用的环境进行检测。 6.1.2电源 a）用电压表测供电电压，机器连续运行24h，每2h测试次； b）用频率计测供电电网频率，机器连续运行24h，每2h测试一次。 6.1.3基片 在平板上用电感测微仪或千分表检测基片的平行度，并检查其尺寸。 6.2外观检查 用目测法检查涂胶台的外观。 6.3性能特性检查 6.3.1空气净化台 a）用热电风速仪测量操作区的风速，并观察其气流状态； b）开机24h，在涂胶头四周，用尘埃离子计数器测试净化效果，每2h，测量一次。 SJ/T 11181--1998 6.3.2涂胶台 用光电转速计测量涂胶台的匀胶转速；用秒表测量匀胶时间，开机运行24h，每2h测量一 次。 6.3.3传动机构 开机运行，进行传动机构检查。 6.3.4减震装置 开机运行，检查减震装置调节机构运行情况。 6.3.5气路系统 用目测法检查气路系统 6.3.6润滑系统 用目测法检查润滑系统。 6.3.7电气控制系统 按GB2681、GB2682及SJ20385的规定，对电气控制系统进行检查。 6.3.8噪声 按GB3768规定的方法检查整机噪声。 6.4可靠性检查 按SJ/T10386的规定方法，进行可靠性指标验证。 6.5安全检查 6.5.1用500V兆欧表检测电气绝缘电阻。 6.5.2用目测法检查接地装置。 6.5.3人为断电，检验失电保护装置的可靠性。 7检验规测 7.1检验实施 涂胶台的检验，一般由研制单位质量检验部门负责进行。 7.2检验分类 7.2.1涂胶台的检验可分为： a）定型检验 b）质量一致检验。 7.2.2各类检验适用范围为： 7.2.2.1定型检验适用于： a）新产品在设计定型及生产定型或老产品转厂生产时； b）正式生产后，如材料、桔构、工艺有较大改变，可能影响产品性能时； c）国家质量监督机构提出定型检验的要求时。 7.2.2.2质量一致性检验适用于正常生产过程中。 7.3检验项目 各类检验的检验项目见表1。 4 SJ/T11181—1998 表1各类检验的检验项目 质量一致 要求章号 试验方法 序 项目名称 号 定型检验 性检验 条 章条号 使用条件 5.1 6.1 2 外 观 0 0 5.2 6.2 3 空气净化台 0 5.3.1 6.3.1 涂胶台 0 4 5.3.2 6.3.2 转动机构 0 5.3.3 6.3.3 5 减震装置 0 0 6 5.3.4 6.3.4 气路系统 0 0 7 5.3.5 6.3.5 润滑系统 0 0 8 5.3.6 6.3.6 电气控制系统 0 6 0 5.3.7 6.3.7 0 0 10 噪 声 5.3.8 6.3.8 可靠性 0 - 5.4 6.4 11 12 全 0 0 安 5.5 6.5 注 “○"表示要进行检验的项目； “"表示不需要检验的项目。 7.4抽样规则 7.4.1定型检验样机1~2台。 7.4.2质量一致性检验应逐台进行。 7.5判定规则 7.5.1定型检验的全部项目检验合格，才能判定产品定型检验合格。 7.5.2当质量一致性检验出现不合格项目时，允许返修后对不合格项目重新进行检验。重新 检验合格，则判该产品质量一致性检验合格；若重新检验仍不合格，该产品质量致性检验不 合格 返修次数不得超过2次。 8标志、包装、运输、贮存 8.1标志 8.1.1产品标志 产品标志应具有下列内容； 制造厂名称和厂址； 产品名称和型号； c) 商标; d) 出厂编号； 制造日期。 e) 8.1.2 包装标志