06 T SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T 10625--1995 锗单晶体中间隙氧含量的 红外吸收测定方法 Determination method for interstitial atomic oxygen content of germanium by infrared abaorption 1995-04-22发布 1995-10-01实施 .中华人民共和国电子工业部发布 中华人民共和国电子行业标准 锗单晶体中间隙氧含量的红外吸收测定方法 SJ/T10625-1995 Determination method for interstital atomic oxygen content of germanium by infrared abaorption 1主题内容与适用范围 1.1主题内容 本标准规定了用红外吸收法测定锗单晶中间隙氧含量的方法。 1.2适用范围 本标准适用于锗单晶中间隙氧含量的测定，测量范围为10ppba至间隙氧在锗单晶中的最 大固溶度。 2方法原理概要 本方法是用红外光谱仪测定锗-氧键11.7μum处的红外吸收系数确定间隙氧含量。锗单 晶中氧含量与11.7um处红外吸收系数具有对应关系。 3试验仪器 双光束红外分光光度计或付里叶变换红外光谱仪。仪器在波数1000cm-1处的分辨 率应优于4cm-1； b. 具有合适的样品架； 千分尺，精度0.01mm； c. 标准平面锗单晶。 4试样的制备 4.1 测量试样的制备 4.1.1研磨后的试样需经双面抛光，使两表面呈光学镜面。 4.1.2测量部位的试样厚度差应小于10μm。 4.1.3氧含量大于或等于1ppma时，试样厚度为2~5mm；氧含量小于1ppma时，试样厚度为 10~25mm 4.2参比样品的制备 4.2.1选取间隙氧含量小于1ppba的锗单晶为参比样品。 4.2.2参比样品的制备同4.1.1至4.1.2。 中华人民共和国电子工业部1995-04-22批准 1995-10-01实施 SJ/T10625-1995 4.2.3参比样品与待测试样的厚度差应小于0.5%。 5试验程序 5.1样品厚度的选择 按4.1.3的要求确定测量样品的厚度。 5.2测量方法选择 5.2.1差别法（仲裁法） 5.2.1.1分别在试样光束和参比光束安放样品架，通光孔径为10mm。 5.2.1.2调整透过率0%（仅对双光束红外分光光度计)和100%。 5.2.1.3分别在试样光束和参比光束安放待测试样和厚度匹配的参比样品。 5.2.1.4对双光束红外分光光度计，调整扫描速度、时间常数、狭缝宽度和增益等仪器参数； 对付里叶变换红外光谱仪扫描次数不少于128次，在11.7um处锗-氧键吸收带半宽度为 8cm-1。 半宽度确定方法如下图。确定基线透过率T。和峰值透过率T，令T'=T。T，过T点 作基线的平行线，与吸收带的两侧交于M、N,过M、N作横轴的垂线，与横坐标相交于u1、2， A=V1-2(cm-1),印为宽度。 1% v/cm 5.2.1.6重复测量三次，取结果的平均值。 5.2.2空气参比法 5.5.2.1测量时，除参比光束中不放参比样品外，其余程序5.2.1.1~5.2.1.6。 6试验结果的计算 6.1 吸收系数α按式(1)计算： ·(1) 式中： T。和T分别为基线和峰值处相对应的透过率，%； 2 SJ/T 10625-1995 D一试样厚度，cm。 考虑试样内部多次反射情况时，吸收系数α的计算见附录A（补充件）。 6.2氧含量N[O]的计算 6.2.1差别法 按式(2)或式(3)计算： 300K时： N[0] = 2.81α(ppma)- N[0] = 1.25 × 1017α(atoms.cm-3) (3) 6.2.2空气参比法 用空气参比法测量时，紧靠吸收带的两侧做基线.以消除晶格吸收的影响。其计算方法同 6.2.1. 7 精密度 单一实验室的测量相对标准偏差为±10%（R1S%）。 8 报告 试验报告应包括以下内容： 测量方法； a. b. 测量仪器； c. 样品厚度和编号； d. 计算的吸收系数； 间隙氧含量； e. f. 操作者及测量日期。 SJ/T10625-1995 附录A 吸收系数α的计算 (补充件) 由于红外辐射在试样内部存在多次反射，所以本标准式（1）只是近似的，在考虑内部存在 多次反射的情况下，垂直入射的透过率T为： (1.- R)?e-aD = (4) 1 - R2-2ab 式中：R反射系数； α-吸收系数,cm-; D-—一试样厚度，cm。 按本标准式(1)得到的吸收系数与式(4)得到的吸收系数之间的相对误差小于10%。 附加说明： 本标准由电子工业部标准化研究所归口。 本标准由电子工业部第46研究所负贵起草。 本标准主要起草人：何秀坤、李光平、汝琼娜、段曙光。 SJ/T 10625—1995 中华人民 共 和国 电 行 业 标 准 子 锗单晶体中间隙氧含虽的红外吸收测定方法 SJ/T10625—1995 * 电子工业部标准化研究所出版 河北省清河县印刷厂印刷 电子工业部标准化研究所发行 版权专用不得翻印 * 1995年12月第一版1995年12月第一次印刷 SJ/T 10625—1995 中华人民 共 和国 电 行 业 标 准 子 锗单晶体中间隙氧含虽的红外吸收测定方法 SJ/T10625—1995 * 电子工业部标准化研究所出版 河北省清河县印刷厂印刷 电子工业部标准化研究所发行 版权专用不得翻印 * 1995年12月第一版1995年12月第一次印刷