L 97 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T 10477-94 外圆切割机通用技术条件 General specification for excircle slicer 1994-04-11发布 1994-10-01实施 中华人民共和国电子工业部发布 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T 1047794 外圆切割机通用技术条件 General specification for excircle slicer 1主题内容与适用范围 本标准规定了外圆切割机（以下简称切割机)的术语、技术要求、试验方法、检验规则、包装 贮存等。 本标准适用于外圆切割机，其他类型的切割机可参照使用。 2引用标准 GB 191 包装储运图示标志 GBn 193 出口机械、电工、仪器仪表产品包装通用技术条件 GB 3768 噪声源声功率级的测定--简易法 GB5080.7设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验 方案。 GB 5226 机床电气设备通用技术条件 GB 6388 运输包装收发货标志 3术语 3.1外圆切割机excircieslicer 利用外圆刃部镀有金刚石粉等磨料的圆形刀片对半导体单晶等脆硬材料进行切割的设 备。 3.2刀杆cutterbar 固定在主轴上，用来安装固定刀片的部件。 3.3工件进给系统workpiecefeedsystem 将工件按预定进给量输送到切割位置的装置。 3.4旋转工作台rotatingtable 调整被切割工件角度的装置。 3.5电磁工作台electromagnetictable 吸紧被切割工作并附有退磁电路的装置。 3.6工件进给精度workpiecefeedacuracy 工件进给系统运动的实际进给量与设定进给量的最大差值。 中华人民共和国电子工业部1994-04-11批准 1994-10-01实施 -1- SJ/T10477-94 4技术要求 4.1一般要求 4.1.1切割机上应有指示润滑、操作、冷却、安全等标牌或标志。 4.1.2主轴旋转方向必须有箭头指示。 4.1.3切割机般应具有自动切割功能。 4.1.4切割机一般应有电磁工作台或旋转工作台。 4.2使用条件 切割机应能在下列使用条件下正常工作。 4.2.1环境条件 a. 温度：25±5℃； 相对湿度：不大于70%； c. 远离振动源； d. 通风良好。 4.2.2供电条件 a.3 380±38V b. 2 220±22V c. 50±1Hz 4.3主轴 4.3.1切割机主轴端面圆跳动不大于0.01mm，径向圆跳动不大于0.01mm。 4.3.2切割机刀杆轴向圆跳动不大于0.01mm，径向圆跳动不大于0.01mm。 4.3.3在水平方向上主轴轴线和横向进给工作台的运动平行度，在测量长度为200mm的范 围内不得大于0.05mm。 4.3.4主轴轴线与工作台纵向进给的垂直度，在测量长度为200mm范围内，不得大于 0.03mm。 4.3.5主轴轴线与支臂转轴轴线的平行度，在测量长度为150mm的范围内，不得大于 0.02mm。 4.3.6当电力中断时主轴应具备保护装置。 4.3.7主轴润滑密封必须良好，不得有渗油现象。 4.3.8主轴转动应灵活、平稳、无阻滞、抖动现象。 4.3.9主轴（带刀杆应作动平衡试验和校正，平衡精度等级为G0.4。 4.3.10主轴带刀杆连续运转时温升不大于50℃。 4.4导轨 4.4.1在行程100mm的范围内导轨运动的直线度不大于0.01mm。 4.4.2滚动导轨面硬度不得低于HRC60，滑动导轨面硬度一般应为HB250～270。 4.4.3滑动导轨与滑动面，滚动导轨与滚动体均应接触良好，运动轻便灵活，无阻滞及爬行现 象。 4.4.4滚动导轨与滚动体，滑动导轨与滑动面必须润滑良好。 4.5工件进给系统 4.5.1工作台面与纵向进给导轨的运动平行度，在测量长度为300mm的范围内，不大于 -2- SJ/T10477-94 0.06mm. 4.5.2工作台面与横向进给导轨的运动平行度，在测量长度为300mm的范围内，不大于 0.06mm。 4.5.3工作台纵向运动与横向运动的垂直度，在测量长度大于100mm的范围内，不大于 0.01mm。 4.5.4旋转工作台面圆跳动不大于0.03mm 4.5.5工作台横向步进允许偏差不得大于±0.01mm。 4.5.6工作台面纵向运动与横向运动的直线度，在测量长度为100mm的范围内允许偏差不 大于0.03mm。 4.5.7工作台在切割过程中定位应牢固可靠。 4.5.8工件进给速度应在4~400mm/min内连续可调。 4.5.9工件进给速度应有良好的稳定性，其允许偏差不得超过5%，在最低速度时不得有爬 行现象。 4.6旋转工作台调整机构 旋转工作台应能绕轴线旋转360，并应有刻度指示，读数分辨率不大于1°。 4.7切割冷却系统 4.7.1切割冷却应充分、良好，冷却液流量应可调，并设有冷却液中断后的报警装置。 4.7.2冷却系统各阀门关闭后不得有渗漏现象。 4.7.3防护罩应密封良好，便于观察。 4.8润滑系统 规定和说明。 4.8.2润滑油池应有指示油位的油标。 4.8.3润滑油泵不得有泄漏现象。 4.9切割质量要求 在正常工艺条件下，切割质量应达到下列要求： a，表面粗糙度Ra的数值不大于1.6μm； b.切割片子两切割面的平行度在测量长度为200mm，高度为20mm的范围内不大于 0.05mm。 4.10噪声 切割机空载运转时噪声应小于70dB(A） 4.11振动 切割机运转时其振幅在X、Y、Z三个方向均应小于0.002mm。 4.12可靠性要求 切割机平均无故障时间（MTBF)的下项值m1不得低于500h，平均维修时间（MTTR)不 大于2h。 4.13外观要求 4.13.1切割机外表面不允许有凸起、凹陷、毛刺、粗糙不平和其它损伤现象。 4.13.2外表面喷漆颜色应均匀，色调一致，平整光滑，不得有脱落、龟裂、流挂、起泡、划痕及 误喷现象，套色不得互相污染。 -3- SJ/T10477-94 4.13.3电镀及化学涂覆的零部件表面应光滑、无斑点、锈蚀、起泡、脱层及明显划痕等缺陷。 4.13.4操作面板及标牌应清晰、耐久，其中的刻线、数字、文字和图形符号等标志应正确、均 匀并有涂色。 4.14安全性要求 4.14.1动力电路与保护电路导线之间的绝缘电阻不得小于1MQ。 4.14.2外露的旋转零件（如齿轮、主轴、刀具、皮带及皮带轮）应有保护装置。 4.14.3切割机整机必须有接地螺钉和明显的接地标志。 4.14.4切割机必须有紧急停止功能。 4.14.5切割机的照明应采用36V安全电压。 4.14.6电气设备必须经受耐压试验。设计规定不经受高压试验的元、器件，在进行试验时， 应把它们断开。 4.15成套性要求 制造提供切割机时，应包括主机、附件和随机技术文件。 5试验方法 5.1一般要求检查 按设计文件，产品说明书等有关技术文件的规定并与实物对照检查。 5.2主轴检查 5.2.1用精度为0.001mm的电感比较仪检测切割机主轴的轴向端面圆跳动和径向圆跳动。 5.2.2用精度为0.001mm的电感比较仪检测切割机刀杆端面和径向的圆跳动。 5.2.3用千分表检测切割机主轴轴线与横向进给工作台运动的平行度。 5.2.4用千分表检测主轴轴线与工作台纵向进给的垂直度。 5.2.5用干分表检测主轴轴线与支臂转轴轴线的平行度。 5.2.6按下列方法检查主轴报警装置及保护措施。 a，起动主轴使其正常运转10min后断电，检查保护装置及刹车机构是否有效； b．循环升降10次检查主轴升降行程开关限位的可靠性。 5.2.7用目测法检查主轴密封性。 5.2.8用目测法检查主轴转动情况。 5.2.9用动平衡试验机检查主轴（带刀杆）动平衡精度。 5.2.10主轴运转2h后，用点温计检查主轴轴承点的温度并计算温升。 5.3导轨检查 5.3.1用精度为0.001mm的电感比较仪检测导轨运动的直线度。 5.3.2用洛氏硬度仪检测滚动导轨面硬度，用布氏硬度仪检测滑动导轨面硬度。 5.3.3开机运动导轨，用目测法检查导轨面接触、润滑和运动情况。 5.4工件进给系统检查 5.4.1用千分表分别检测工作台面与纵向导轨和横向导轨的运动平行度。 5.4.2用干分表检测工作台纵向运动与横向运动的垂直度。 5.4.3用千分表检测旋转工作台面圆跳动。 5.4.4在全程内分三段按0.5mm进给量进给，用精度不低于0.001mm的电感比较仪，分别 测量25mm，检测工作台横向步进允许偏差。 -4- SJ/T10477-94 5.4.5用精度为0.001mm的电感比较仪检测工作台横向运动与纵向运动的直线度。 5.4.6按设定值重复试验50次用千分表检测工作台定位可靠性。 5.4.7实际操作用秒表检测切割进给速度可调性。 性。 5.5旋转工作台调整机构检查 实际操作检查旋转工作台调整机构。 5.6切割冷却系统检查 5.6.1开机人为中断冷却滚进行试验，检查报警装置。 5.6.2开机用目测法检查冷却系统密封性。 5.7润滑系统检查 按使用说明书检查各润滑部位润滑情况及指示油位的油标。 5.8切割质量检查 a.) 用比较法检查切割片表面粗糙度； b．用厚度检测仪检查切割片的平行度。 5.9噪声检查 切割机空载运转，按GB3768规定的方法检查整机噪声。 5.10振动检查 开机运转，将测振计置于主机台面上，检查整机振动情况。 5.11可靠性验证试验 5.12外观检查 用目测法对切割机进行外观质量检查。 5.13安全性检查 5.13.1J 用50