book47的个人主页-docn.com豆网 nttowww.docin.combook4 SJ 中华人民共和国电子工业行业标准 SJ/T 10312—92 电子束曝光机通用技术条件 1992-06-15发布 1992-12-01实施 中华人民共和国机械电子工业部发布 book47的个大主页docn.com豆网 nttnwww.docin.combook47 活book47的个人主docn.om豆丁网 nttawww.docin.combook47 中华人民共和国电子工业行业标准 电子束曝光机通用技术条件 SJ/T 10312—92 General specification of electron beam exposure system 1主要内容与适用范围 本标准规定了电子束曝光机（以下简称曝光机）的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。 本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束 光机。 2引用标准 SJ/Z1793 电子工业专用设备油漆涂层技术条件 SJ1276 金属镀层和化学处理层质量检验技术要求 JB 8 产品标牌 GBn193 出口机械、电工、仪器仪表产品包装通用技术条件 GB 191 包装储运图示标志 GB 6388 运输包装收发货标志 3术语 3.1曝光分辨率 晰度。通常用曝光、显影后所获得的最细图形线宽表示。 3.2图形边缘粗糙度 电子束对基片曝光、显影后所获得的图形边缘粗糙缺陷的相对值。通常与曝光机的最细图 形线宽比较，一般图形边缘粗糙度，不大于最细图形线宽值的13%。 3.3图形精度 电子束在基片上，对给定的图形作分步重复曝光，所获得图形之间的相对误差值。通常用 均方根值表示。 3.4图形拼接精度 当给定的图形尺寸，超过电子束的偏转场部分，用工件台移动、位移之后将图形拼接曝光， 这种衔接处的误差，称为图形拼接精度。通常用均方根值表示。 对光栅扫描电子束曝光机而言，是指两条带之间的衔接误差。 对失量扫描电子束曝光机而言，是指偏转场之间的衔接误差。 3.5套刻精度 活book47的个人主页docn.com豆丁网 nttnwww.docin.combook47 bonk4的个主docin.om豆丁网 nttewww.docin.combook47 SJ/T10312-92 一种集成电路的一套掩模，彼此正确送合时，其中一层掩模上的全部功能图形，与其它任 一层掩模上的相应图形的相对位置偏差。 3.6自套刻精度 在同块掩模版上，电子束对给定图形，作两次分步重复曝光，其两次曝光图形的相对位 逻偏差。 3.7直接作图的套刻精度 在一块圆片上，电子束作无掩模的直接光刻，将集成电路各层的掩模图形分别直接在圆片 上曦光。其各图层相应图形的相对位置偏差。 3.8同机套版精度 在指定的一台电子束曝光机上，所制作的一种集成电路的一套掩模版，相互正确送合时， 其各图层相应图形的相对位置偏差。 3.9有效度 有效度是曝光机在使用期间，维持规定功能概率的一个可靠性指标。 躁光机的有效度一般用有效工作时间与修复时间、有效工作时间之和的比值的百分数表 示。 4产品分类 4.1按电子束斑形状分为： 可变矩形电子束曝光机； b.圆形电子束曝光机。 4.2按曝光方式分为： a，矢量扫描电子束曝光机； b光栅扫描电子束曝光机； c.光栅、量混合扫描电子束曝光机。 4.3型号 由具体产品标准规定。 5技术要求 5.1工作环境条件要求 温度：见表1； 表1 c 房 间 冬 季 夏 季 曝光机主机房间 20±0.5 25±0.5 曝光机其它房间 20±1 25±1 b.相对湿度：40%~55%； c.空气洁净度：在曝光机主机房间内1000级，在取送版口附近局部净化，当制作微米级 图形时局部净化100级，制作亚微米级图形时局部净化10级； d.空间磁感应强度不大于5×10-7T； 适bok47的个大主页-docin.com豆丁网 nttnwww.docin.combook47 book4的个人主docnm豆丁网 nttawww.docin.combook47 SJ/T 10372—92 动应不大于0.002g； f. 曝光机主机安装基础的形状、尺寸应由具体产品标准规定； g..电源电压：380V±10%，220V±10%，电源频率50Hz士1%； h.冷却水的进水温度5～35℃，进水压力1053×10°Pa； i.氮气纯度应大于或等于99.9%。 5.2一般要求 5.2.1曝光机电子枪阴极材料和寿命、加速电压、控制计算机的型号、主要性能和配置（内存 量、磁盘容量及型号、磁带型号），计算机能接受的数据格式、手编格式（由制造厂家提供）和 CAD生产格式，应在具体产品标准和产品说明书中明确规定和说明。 5.2.2油漆涂覆的零部件的涂层应符合SJ/Z1793的要求。电镀及化学涂覆的零部件表面应 光滑细致，其质量要求应符合SJ1276的规定。 5.3主要性能要求 5.3.1电子束流大小 根据阴极材料的不同，由具体产品标准给出参数。 5.3.2电子束斑形状、尺寸和边缘分辨率 由具体产品标准给出参数。 5.3.3电子束流密度 由具体产品标准给出参数。 5.3.4扫描频率 由具体产品标准给出最高扫描频率。 5.3.5电子束偏转扫描场尺寸 由具体产品标准给出最大扫描场尺寸参数。 5.3.6加工件尺寸范围 曝光机应配备的可曝光最大圆片和掩模版板架，其规格对应关系如表2规定。 表2 mm 圆片尺寸 $25 50 $75 $100 $125 $150 掩模版板架 50X50 75X75 100X100 125X125 150X150 175×175 5.3.7工件台移动速度 由具体产品标准给出参数。 5.3.8工件台移动范围 曝光机的工件台移动范围，应满足可曝光最大圆片和掩模版的规格要求，其对应关系如表 3规定。 表3 mm 圆片尺寸 $25 $50 $75 $100 $125 $150 工件台移动范围 45X45 70X70 95×95 120×120 145×145 170×170 5.3.9曝光分辨率 由具体产品标准给出参数。 5310图形度 活book47的个人主页docn.com豆丁网 httn:www.docin.combook47 适bok47的个人主docn.m豆丁网 nttawww.docin.combook47 SJ/T10312--92 一般在曝光机最细图形线宽的10%～20%。 5.3.11图形拼接精度 由具体产品标准给出参数。 5.3.12自套刻精度 由具体产品标准给出参数。 5.3.13直接作图的套刻精度 由具体产品标准给出参数。 5.3.14同机套版精度 由具体产品标准给出参数。 5.3.15生产效率 由具体产品标准给出参数。 5.3.16曦光机工作真空度 由具体产品标准给出参数。 5.4安全要求 5.4.1曝光机应有明显的接地标志，有不大于10的接地装置。 5.4.2在曝光机的三相电源入线口与机壳之间，应耐压1500V的交流电压1min不被击穿和 不产生放电。其漏电流不大于1.0mA。 5.4.3曝光机的电子枪灯丝电源、高压电源与真空系统，应设有联锁保护装置。 5.5可靠性要求 在符合本标准规定的环境条件及用户遵守产品说明书规定的操作规程条件下，曝光机的 有效度不低于90%。 5.6成套性要求 制造出厂的曝光机，应包括主机、附件、易损件和随机技术文件及合同规定的其它要求。 附件、易损件和随机技术文件的种类、规格和数量应在具体产品标准及产品说明书中明确 规定和说明。 6试验方法 6.1一般要求检查 6.1.1查阅设计资料、产品说明书和计算机能接受的数据格式等有关技术文件，并与具体曝 光机对照。 6.1.2用目视法，按本标准5.2.2条要求，对曝光机进行外观质量检查。 6.2主要性能要求检查 6.2.1电子束流大小检查 从电子束系统内的“法拉第筒”上引出束流，用“微电流计”测量其数值。 6.2.2电子束斑形状、尺寸和边缘分辨率检查 用双刀口法（如图1示）测试。电子束扫过刀口时，用SEM或其它扫描显示器，测出法拉 第筒”上的束流波形（如图2示），取一次微分，其时间At，则对应束斑尺寸。取二次微分，其时 间△t（取峰峰值的10%～90%）则对应边缘分辨率。按公式（1）计算束斑尺寸。按公式（2）计 算边缘分辨率。 适book47的个大主-docn.com豆丁网 nttnwww.docin.combook47 百book4的个人主docnm豆丁网 nttawww.docin.combook47 SJ/T10312—92 50μm 双刀口 法拉第筒 图1 双刀口试验 法拉第筒上测出的电流波形图 次微分di/dt波形 二次微分dildt波形 Atz At 图2束流波形 At B-W ...(1) 式中B-束斑尺寸，cm; W. 一刀口宽度，cm； △t—束流波形一次微分的脉宽时间，s; T一刀口宽度对应的束流波形时间，S； R-W> At (2) 式中，R一边缘分辨率，cm； book47的个人主-docin.com豆丁网 nttnwww.docin.combook47 适bok47的个人主docn.m豆丁网 nttawww.docin.combook47 7671C011/7s △t2一束流波形二次微分的脉宽时间，s; 一刀口宽度对应的束流波形时间，s； 测方斑沿X、Y两个方向扫描：类似地测圆斑，在调好象散之后，只要沿X或Y一个方向 扫描即可。 6.2.3电子束流密度的检查 用本标准6.2.1所测束流与6.2.2所测束斑尺寸，按公式（3）计算。 1