店6ook47的个大主页docn.com豆丁网 nttawww.docin.combook47 L10 SJ 中华人民共和国电子工业行业标准 SJ/T 10274---91 掩模对准曝光机测试方法 1992-01-01实施 1991-11-12发布 中华人民共和国机械电子工业部 发布 适60ok47的个大主页docn.com豆网 ntto:www.docin.combook47 店book47的个大主页docn.com豆丁网 nttowww.docin.combook47 中华人民共和国电子工业行业标准 掩模对准曝光机测试方法 SJ/T10274—91 Testmethods of mask alignment and exposure system 1主题内容与适用范围 本标准规定了测试掩模对准曝光机（以下简称“曝光机”）的一般要求和方法。 本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。 2引用标准 GB 11481 掩模对准曝光机通用技术条件 GB7237 铬版 GB4857.9 运输包装件基本试验喷淋试验方法 GB5398 大型运输包装件试验方法 3术语 除下列术语外，本标准所用有关术语按GB11481第3章规定。 3.1定时误差 采用定时系统控制曝光量时，实际曝光时间与设定曦光时间的相对误差。 3.2定时重复性误差 定时系统曝光时间设定后，实际曦光时间的离散度，用实测曝光时间的相对误差表 示。 3.3光量积分系数 采用光积分方法控制光量时，实际曝光量与相应挡次标称值比应为定值，这一值称 为光量积分系数。 3.4光量积分误差 光量积分系数与每设定积分档次下积分系数值的相对误差。 3.5光量重复性误差 积分系统积分档次设定后，光强发生变化时，实际曝光量的离散度，用实际光量的 相对误差表示。 3.6恒光强波动度 中华人民共和国机械电子工业部1991-11-12批准 1992-01-01实施 1 店bok47的个大主页docn.com豆丁网 ntto:www.docin.combook47 适bok47的个主页docin.com豆丁网 nttowww.docn.combook47 SJ/T10274—91 恒光强系统进入热稳定状态后，曝光光束光强值的变化程度，用在规定时间内实际光 强值的相对误差表示。 3.7曝光间隙误差 接近式腰光的实际腰光间隙与设定光间隙标称值的相对误差。 3.8曝光间隙重复性误差 曝光间隙设定后，实际曝光间隙值的离散度，用实测曝光间隙的相对误差表示。 4试验条件 4.1环境条件 4.1.1试验期间的环境条件应达到相应标称分辨率的要求，见表1(在不影响曝光机性 能的前提下，一般测试可参照表1要求，适当降低指标）。 4.1.2工作间内不得有腐蚀性气体。 4.1.3对带有计算机的曝光机，还应按有关要求，进行电磁屏蔽。 表 1 摩光分辨率 度 相对湿度 洁净度 振动幅度um μm 夏 波动范围 % 冬 级 季 >10Hz <10Hz 《1.0 90F 10 <2 <1 >1. 0~3. 0 ±1.0 100 <3 <1. 5 20 25 35~50 >3.0~5.0 ±2. 0 100 <1.5 >5. 0 ±2.5 1000 <4 <2 4.2电源条件 4.2.1试验期间，电源电压的波形畸变率不超过10%，电源电压的波动值不超过 ±10%。 4.2.2试验期间，电源频率的波动值不得超过士1%。 4.3气压条件 4.3.1试验期间，气动系统的供气气压不得低于额定值的5%。 4.3.2试验期间，真空系统的压力不得超过额定值的5%。 4.4测量仪器仪表 测试所用的仪器仪表应经计量检定合格，并在其有效期内。 4.5试验器材 4.5.1基片 测试用基片选用硅研磨片，应满足腰光机标称曝光分辨率的要求。 4.5.2掩模版 测试用掩模版应满足曝光机标称分辨率的要求，其质量应符合GB7237的规定。 4.5.3光致抗蚀剂 按曝光机的有效谱线选用正性光致抗蚀剂。 2 店6ook47的个人主页docn.com豆丁网 htto:www.docin.combook4 店book47的个大主页docn.com豆丁网 www.docin.combook47 SJ/T10274-91 5试验方法 5.1环境条件检查 5.1.1温度、相对湿度检查 试验期间，用精度不低于1级的干湿球湿度计每4h测试一次环境的温度、相对湿度。 干湿球湿度计暨放位置如图1所示。应置放在与工作台高度一致，没有气流的地方。 承片台 图1干湿球湿度计置放位置示意图 5.1.2洁净度检查 试验期间，每4h测试一次洁净度。选用测试精度能满足相应洁净度等级的光学粒子 计数器检测有效工作区域的洁净度。取样位置如图2所示。 承片台 图2光学粒子计数器取样位置示意图 5.1.3地面振动检查 试验期间，测试一次地面振动幅度，振动分析仪的拾振装置应置放于工作台机座附 近。 5.2外观检查 5.2.1用目视法进行外观质量检查 3 适book47的个人主页docn.com豆T网 nttn:www.docin.combook47 适bo8k47的个主页docin.com豆丁网 nttatwww.docin.combook47 SJ/1 102/4-91 5.2.2用手感方法检查移动机构的空位及运动情况。 5.3安全检查 5.3.1用自动击穿装置在500V直流电压下，测量初级线路与机壳之间的绝缘电阻。 5.3.2用自动击穿装置在1500V、50Hz交流电压下，测量漏电流值。试压1min，观察有无 击穿和放电现象。 5.3.3用目视法检查接地标志。 5.4显微镜检查 5.4.1调节显微镜的目镜、物镜，用手感及目视法检查目镜、物镜中心距调节性能、光轴 平行性、左右视场的齐焦程度以及左右显微镜倍率的一致性。 调节显微镜视场亮度，用目视法检查视场的亮度变化及清晰度。 5.4.2调节显微镜，选择相应分辨率版，通过能识别的线宽，检查显微镜的分辨能力是否 满足踝光机标称分辨率的需要。 5.4.3调节显微镜物镜与基片相对位置，用1级干分表测量能识别相应线宽的调节范 围。此调节范围即为镜焦深。 5.5曝光系统检查 5.5.1调节躁光灯X、Y、Z方向位置，并检查启辉性能。 5.5.2开启曦光灯10min后，选用精度不低于0.33mW/cm²、测试波长为365nm 404.7nm的紫外照度计检测光强不均匀性。测量点按图3所示，直径@按表2的规定，试 验数据按公式（1)处理。 2 4 图3 光强不均匀性测量点示意图 表 2 mm 基片规格 50 75 100 125 150 检测直径 40 65 90 115 140 4 店6ook47的个人主页docn.Com豆丁网 htto:www.docin.combook4 book47的个人主docin.com豆T网 nttowww.docin.combook47 SJ/T10274—91 (1) 式子：U一所检测直径范围内，光强不均匀性，% Emx所测5点中的最大光强值，mW/cm， Emm一一所测5点中的最小光强值，mW/cm。 5.5.3开启曝光灯，检查曝光灯是否能连续工作16h。 5.5.4，开启曝光灯2h后，用半导体点测温度计测量灯室外表温升。 5.6曝光量控制检查 5.6.1光源处于热稳定状态后，连续开启、关闭快门40次，检查快门动作。关闭快门，将 涂有500mm正性光致抗蚀剂的基片置于加有简单图形的掩模版及曝光头下2min，而后显 影，检查快门是否有漏光现象。 5.6.2将定时系统曝光时间分别设置在6.3，10，16，25，40，63，80,99.9s档次上，在每设 定时间下，用测速仪实测三次，按公式（2）计算定时误差。 (2) 式中：D一一定时系统设置时间为。的时间误差，%： to-定时系统设定光时间，, t设定暖光时间下，三次实测骤光时间算术平均值，s。 将曝光时间设置在10、25s档次上，分别实测10次曝光时间，用公式（3）计算定时重 复性误差。 (3) 式中，R一定时系统重复性误差，% 一10次实测中最长的噪光时间，$； tmm—10次实测中最短的曝光时间，s; t—-10次实测骤光时间算术平均值，s。 5.6.3光源达到热稳定状态后，置曝光量档次为6.3，10，16，25，40，6380，99.9s。在各 设定档次下，实测三次光强和曝光时间。用公式（4）计算光量积分系数值，用公式（5）计算 光量积分误差。 1/Br.t K- (4) 8.2 81Lo K-K×100% D= (5) K 式中K一光量积分系数， K一各设定曝光档次下，光量积分系数， Lo——各设定曝光档次标称值 E一实测光强值，mW/cm t各设定曝光量档次下，三次实测曝光时间算术平均值，s 5 适bok47的个主页docin.com豆丁网 nttnwww.docin.combook47 book47的个人主docin.com豆T网 nttaswwwdocin.combook4? SJ/T10274-91 D一一各设定曝光量档次下，光量积分误差，%。 置曝光量档次于10、25s两档，改变曝光光束的光强（调出三种光强，三种光强之间差 值不小于10%），实测光强值与腰光时间，用公式（6）计算光量重复性误差。 X 100% (6) E.t 式中：R，一光量积分重复性误差，%， E—各实测光强值，mW/cm t一各实测曝光时间，s E.t- 一三种光强下，曝光量算术平均值，mW/cm。 5.6.4用照度计测量掩模版中心光强值，每1h测次，实测五次。用公式（7）计算恒光强 波动度。 (7) E 式中：D一恒光强波动度，% E