ICS23.160 JB N 68 中华人民共和国机械行业标准 JB/T7462—2005 代替JB/T7462-1994 热阴极电离真空规管 Hot cathode vacuum gauge head 2005-05-18发布 2005-11-01实施 中华人民共和国国家发展和改革委员会发布 JB/T7462-2005 目 次 1范围， 2规范性引用文件 3术语和定义， 4技术要求... 4.1工作环境 4.2外观. 4.3 连接.. 4.4 漏率， 4.5 零散性... 4.6 测量范围 4.7 收集极与其他电极间的电阻. 4.8 抗运输环境性能 5 试验方法. 6 检验规则. 6.1 检验项目. 6.2 成品检验. 6.3 交收检验， 6.4型式检验. 7标志、包装与贮存 7.1标志. 7.2 包装 7.3 贮存 JB/T7462——2005 前 言 本标准代替JB/T7462一1994《热阴极电离真空规管技术条件》。 本标准与JB/T7462一1994相比，主要变化如下： -增加了第3章术语和定义； 增加了裸规的相关内容； 一增加并修改了引用标准； 修改了规管的工作环境（见4.1)； 增加了裸规的封装要求（见4.3.2）； 一修改了检验规则的内容（见第6章）。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：北京大学无线电工厂。 本标准参加起草单位：成都正华电子仪器有限公司、沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：张一江、罗世敏、王学智。 本标准所代替标准的历次发布情况为： ZBY290—1984、JB/T7462—1994。 II JB/T7462-2005 热阴极电离真空规管 1范围 本标准规定了热阴极电离真空规管的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装与贮存等内容。 本标准适用于中、高真空及超高真空（限于极限压力不低于10-"Pa）热阴极电离真空规管，包括 玻璃规管和裸规。（以下简称规管）。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T191包装储运图示标志（GB/T191--2000，eqVISO780：1997） GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（IQL）检索的逐批检验抽样计划（GB/T 2828.1—2003，ISO2859-1:1999，IDT) GB/T2829周期检查计数抽样程序及抽样表（适用于生产过程稳定性的检查） GB/T3163真空技术术语 GB/T6071超高真空法兰 GB/T15464仪器仪表包装通用技术条件 JB/T9329仪器仪表运输，运输贮存基本环境条件及试验方法 3术语和定义 GB/T3163确立的以及下列术语和定义适用于本标准。 3.1 X射线极限值X-raylimit -种热阴极电离真空计的X射线极限值为与主要由离子收集极发射的光电子产生的残余电流所引 起的相同读数的纯氮压力值。 3.2 零散性 scattered 规管系数的偏差。 3.3 裸规nudegauge -种没有外壳的规头，其敏感元件直接插人真空系统。 3.4 漏率leakrates 在规定的条件下，一种特定气体通过漏孔的流量，单位为Pa·m3·s-1。 4技术要求 4.1工作环境 规管在下述环境条件下应能正常工作： a）环境温度：0℃40℃； 1 JB/T7462—2005 b）相对湿度：≤90%（25℃时）。 4.2外观 a）玻璃规管外壳应无裂缝或明显的气线、气泡等缺陷； b）规管内壁与电极应无污染与明显的氧化现象； c）规管外壳与管基之间的固定应牢固。 4.3连接 4.3.1玻璃规管与真空系统连接部分的玻壳外径应为：Φ（15.5±0.5）mm；（25±1）mm。 4.3.2裸规封装结构应符合GB/T6071的规定。 4.4漏率 玻璃规管的漏率应小于10-"Pa·m·s-1 裸规的漏率应符合GB/T6071的规定。 4.5零散性 在压力为10-2Pa时，中，高真空规管系数的零散不超过土20%，超高真空规管系数的零散不超过 ±30%。 4.6测量范围 规管测量范围的上限由规管非线性8不超过20%所对应的压力确定：规管测量范围下限由规管X 射线极限值（po）的10倍确定。 4.7收集极与其他电极间的电阻 收集极与其他电极间的电阻R应符合下式： R≥100U（S·1P) (1) 式中： 收集极与其他电极间的电阻，单位为2： Uge -加速极与收集极之间的电位差，单位为V； S——管系数，单位为Pa-"； I—发射电流，单位为A; Pi——下限压力，单位为Pa。 4.8抗运输环境性能 规管在包装条件下，应符合JB/T9329的要求。其中：高温试验选用+55℃低温试验选用一40℃： 跌落高度为250mm。 5试验方法 5.1规管是否符合4.2的要求，用目测来检验。 5.2规管同真空系统连接部分是否符合4.3.1的要求，用测量误差≤1%的外径测量工具检验。 5.3对于玻璃规管在其封离加工系统、存放48h后，对其检验若内部压力低于10-2Pa，则认为符合4.4 的要求。 5.4检验规管系数的零散性是否符合4.5的要求，先按下式计算规管系数S： S=ly (lp)..... : (2) 式中： I—离子流，单位为A（用测量误差≤5%的仪表测量）； I一发射电流，单位为A（用测量误差≤5%的仪表测量）； p—压力，单位为Pa（用总不确定度≤10%的装置测量）。 再按下式计算规管系数的零散8: S=(S-S,)/S." (3) 2 JB/T7462—2005 式中： S,—规管系数的标称值。 以上试验使用气体为纯度不低于99.9%的氮气。 5.5检验规管的测量范围是否符合4.6的要求，在测量压力上限端，规管的非线性8由下式给出： 8-s-s/s (4) 式中： 5——线性范围内规管系数的平均值。 规管X射线极限值po由下式计算： (5) 式中： 1o一一规管收集极电流的最低值，即规管在比下限压力低两个数量级的真空系统中，规管工作时收 集极电流的最小值。 5.6规管是否符合4.7的要求，在环境温度：0℃~40℃、相对湿度小于90%时，用高阻计测量收集极 与其他电极之间的电阻值，应符合公式（1）的要求。 5.7规管在包装条件下是否符合4.8的要求，按JB/T9329所规定的方法进行试验，试验后规管仍应满 足4.2和4.4的要求。 6检验规则 6.1检验项目 6.1.1检验项目分成品检验、交收检验和型式检验 6.1.2产品分全检和抽检两种： a）全检指每只规管都需检验的项目，属于全检的项目为4.2、4.4； b）抽检指从通过全检合格的规管中任意抽取一定数量所进行检验的项目，属于抽检的项目为4.2、 4.4、4.6、4.7和4.8 6.2成品检验 6.2.1成品检验由制造厂质量检验部门进行。 6.2.2批量生产的规管，完成规定数量后，按全检项目进行全检时，如果不符合其中任何一条规定， 则作为废品予以剔除。 6.2.3对全检合格的产品进行抽检时，按GB/T2828.1规定执行。采用正常检验二次抽样方案，其中， 检查水平为IL=S一3，每百单位产品不合格品数的合格质量水平为AQL=4.0。 6.2.4成品检验不合格时，则该批规管退回生产车间复验后，再重新提交检验。 6.2.5规管经成品检验合格，并附产品合格证后方可入库和出厂。规管自入库时算起，超过半年未出 厂者，出厂前应再次交检验部门复验，以确保产品质量。 6.3交收检验 6.3.1当订货批量多于500只时，交收检验在订货方提出要求时进行。 6.3.2交收检验项目与6.1.2相同。 6.3.3按全检项目试验时，每批提交的规管不符合全检要求中任何一条规定不超过5%者为合格。验出 的废品予以剔除。 6.3.4按抽检项目试验时，依照GB/T2828.1规定进行。采用正常检查二次抽样方案，其中，检查水平 为ⅡL=S一2，每百单位产品不合格品数的合格应满足下述要求：质量水平为AQL=4.0。 6.4型式检验 6.4.1型式检验由制造厂质量检验部门负责进行。 3