ICS 23.160 J 78 备案号：21689—2007 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 9125-2007 代替JB/T9125—1999 真空技术 涡轮分子泵 Vacuum technologyTurbomolecular pumps 2007-08-28发布 2008-02-01实施 中华人民共和国国家发展和改革委员会发布 JB/T9125—2007 目 次 前言 .II 1范围 2规范性引用文件. 3术语和定义 4型式和基本参数.. 4.1型号表示方法.. 4.2基本参数. 5技术要求. 6 测试方法. 6.1最低工作压力测试. 6.2 压缩比测试. 6.3 体积流率测试 6.4 起动时间测试， 6.5 振动测试. 6.6 噪声测试... 6.7 转速测试. 6.8 电源测试.. 6.9 平均无故障工作时间试验 6.10连续运转试验 7 检验规则... 8标志、包装、运输和贮存 附录A（资料性附录）涡轮分子泵进气口、出气口的连接法兰及密封圈， A.1涡轮分子泵进气口连接法兰及密封圈 A.2涡轮分子泵出气口连接法兰及密封圈. 图A.1卡钳法兰连接. 图A.2 活套法兰的连接 图A.3 卡钳法兰或活套法兰肩圈型式. 图A.4 支架型式. 图A.5 法兰套环型式. 图A.6 弹性卡圈型式 10 图A.7 卡钳螺钉组件型式， 图A.8 DN50连接器 图A.9 DN50支架 图A.10 “O”形密封圈 图A.11 DN50卡箍. 表1泵的基本参数， 表A.1 法兰的连接尺寸… 8 表A.2 卡钳法兰或活套法兰肩圈尺寸， I JB/T9125—2007 表A.3支架尺寸和配用O形圈 9 表A.4法兰套环尺寸... .9 表A.5．弹性卡圈尺寸 ..10 表A.6卡钳螺钉组件尺寸 II JB/T9125—-2007 前言 本标准代替JB/T9125一1999《立式涡轮分子泵》。 本标准与JB/T9125一1999相比，主要变化如下： 采用了ISO5302：2003（E）《真空技术涡轮分子泵一性能测量》的术语和定义，如：“抽气 速率”一词改为“体积流率”，新增“最低工作压力”、“临界前级压力”、“最高工作压力”和 “最大流量”的术语。同时对“极限压力”的定义增加了“注1：它是泵能获得的最低压力。”、 “注2：建议制造厂的说明书不要给出极限压力值。本标准中也不给出极限压力的测试程序。 但是如果制造厂列出了极限压力，那就应当说明完成测试的工作条件。”等等。 “4.1型号表示方法”中增加了“特征符号”和“注：”。 一“5基本参数”的“表1泵的基本参数”合并了原“6.5推荐前级泵应符合表2要求”，并对 表中数值进行了修订。 一“试验”、“检查”改为“测试”。 一“7测试方法”中采用了ISO5302：2003（E）的测试方法。 一详细说明了“型式检验”的抽样方法和判定标准。 一增加了资料性附录“涡轮分子泵进气口、出气口的连接法兰及密封圈”（见附录A） 本标准附录A为资料性附录。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、北京北仪创新真空技术有限责任公 司、沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：张勤德、邹蒙、李奇志、孟祥菊、周毅、李春影。 本标准所代替标准的历次版本发布情况： ZBJ78015.1—1989、ZBJ78015.2—1989; —JB/T9125—1999。 II JB/T9125—2007 真空技术 涡轮分子泵 1范围 本标准规定了涡轮分子泵的型式和基本参数，技术要求，测试方法，检验规则，标志、包装、运输 和贮存等。 本标准适用于具有前级泵、变频电源的涡轮分子泵（以下简称泵）。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T191—2000包装储运图示标志（eqvISO780：1997） GB/T848—2002小垫圈A级（ISO7092：2000，MOD） GB/T2829—2002 2周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB/T3452.1—2005 液压气动用O型橡胶密封圈第1部分尺寸系列及公差（ISO3601-1：2002， MOD) GB/T4982—2003 真空技术快卸连接器尺寸第1部分：夹紧型（ISO2861-1：1974，IDT） GB/T5782—2000 六角头螺钉（eqvISO4014：1999） GB/T6071—2003 超高真空法兰 GB/T6587.1—1986 电子测量仪器 环境试验总纲 GB/T6587.2—1986 电子测量仪器 温度试验 湿度试验 GB/T6587.3—1986 电子测量仪器 GB/T6587.4—1986 电子测量仪器 振动试验 GB/T6587.5—1986 电子测量仪器 冲击试验 GB/T6587.61986 电子测量仪器运输试验 JB/T8106-—1999 容积真空泵噪声测量方法 IS05302：2003真空技术涡轮分子泵性能测量 3术语和定义 ISO5302中确立的以及下列术语和定义适用于本标准。 3.1 体积流率volumeflowrate Ab 在理想条件下，单位时间从测试罩流过泵入口的气体体积。 注1：出于实际测试的原因，泵对给定气体的体积流率通常约定为等于该气体的流量与给定点的平衡压力之商，体 积流率采用的单位为立方米每秒（m"/s）或升每秒（L/s）。 3.2 最低工作压力minimumoperationalpressure po JB/T9125—-2007 烘烤48h后，在测试罩中获得的压力。 3.3 压缩比compressionratio Keff 涡轮分子泵前级压力P2与其人口压力P1之比。 Kefr= p2/p1 注：为了得到给定气体的零流量压缩比Ko，则该气体在出口管中分压力至少为P2的90%。 3.4 启动时间 startingtime 从接通电源起到泵转速达到额定转速的90%所需的时间。 3.5 极限压力ultimatepressure 测试罩中逐渐趋近的压力值。 注1：它是泵能获得的最低压力。 注2：建议制造厂的说明书不要给出极限压力值。本标准中也不给出极限压力的测试程序。但是如果制造厂列出了 极限压力，那就应当说明完成测试的工作条件。 3.6 临界前级压力 criticalbackingpressure Pe 当泵仍能保持其压缩比p2lp1≥2，且清洁气流流通时的最高前级压力p2；对于没有清洁气流接口的 泵，当泵仍能保持其压缩比p2/p1≥2，泵的最高前级压力P2。 注：Pi是人口处（高）真空压力。 3.7 最高工作压力 maximumworkingpressure Pimax 涡轮分子泵和驱动装置不发生损坏的条件下所能承受的泵人口最高压力。 3.8 最大流量 maximumthroughput Omax 泵能连续抽气而不损伤或毁坏的最高气体负荷，单位为帕升每秒（Pa·L/s）【毫巴升每秒 (mbar L/s) ]。 注：这个极限参数取决于泵的设计，大多数情况下，这个参数以泵规定位置的最高温度来给出。Qmax值取决于被抽 气体、所使用的前级泵、以及冷却条件等。 4型式和基本参数 4.1型号表示方法 特征符号 体积流率（抽气速率），单位为L/s 进气口通径，单位为mm 涡轮分子泵，用字母F表示 a“特征符号”指泵的润滑方式、冷却方式、特殊结构、特殊用途的字母代号，由生产商自定，但字母代号所代表 的意义必须在样本资料和说明书中注明，例如： 2 JB/T9125-—2007 F一风冷分子泵，缺省为水冷分子泵。 示例： 进气口通径为160mm，体积流率为450L/s的涡轮分子泵，标记为：F-160/450。 4.2基本参数 泵的基本参数如表1所示。 注1：泵型号超出表1的或泵有特殊性能要求的，生产商参考表1结合使用要求在样本资料和使用说明书中列出泵 的基本参数。 注2：对于临界前级压力、最大流量、最高工作压力三项性能指标，由生产厂商自定，但如果给出必须按ISO5302 进行测试。 表1 泵的基本参数 型号 F-100/ F-160/ F-200/ F-250/ F-320/ F-400/ F-500/ 体积流率 ≥100 ≥400 ≥1000 ≥1500 ≥2000 ≥3000 ≥5000 L/s 最低工作压力 10-5~10-8 Pa 对 N2 ≥108 压缩比 对 H2 ≥5×103 启动时间 <8 <10 <20 <25 <35 min 振动 <0.15 0.5 μm 噪声Lw 09> dB (A) 进气口通径 100 160 200 250 320 400 500 mm 出气口通径 25 40 40 50 63 100 100 mm 电源“输入电压 110(1±10%）（60Hz）或220(1±10%）（50Hz）或380(1±10%）（50Hz） v 电源消耗功率 <120 <240 <260 <400 <500 <800 <1200 W 电源启动功率 00S> <1000 <1200 <150 <800 <1500 <2000 W 推荐前级泵的体积流率 2~4 4~8 8~15 15~30 30~70 L/sb 前级压力 10~1 Pa 电源有以下三种类型： a）电子模拟式自动变频电源； b）微机程控式自动变频电源； c）电机变频式电源。 b前级泵的体积流率详细计算按