ICS 23.160 J78 中华人民共和国机械行业标准 JB/T7265—2004 代替JB/T7265—1994 蒸汽流真空泵 Vapourvacuumpumps 2004-10-20发布 2005-04-01实施 中华人民共和国国家发展和改革委员会发布 JB/T7265—2004 目 次 前言 范围 2规范性引用文件 3型式.. 4规格与基本参数 4.1规格... 4.2基本参数. 5技术要求.. 6试验方法与检验规则 7标志、包装、运输和贮存 附录A（资料性附录） 带括号规格泵的进、出气口法兰连接尺寸、 附录B（规范性附录） 极限压力的测定. B.1测试装置 B.2测试程序 图A.1法兰形式. 表1扩散泵基本参数 表2扩散喷射泵基本参数， 表A.1法兰连接尺寸 JB/T7265—2004 前 本标准代替JB/T7265-—1994《蒸汽流真空泵》 本标准与JB/T7265一1994相比，主要变化如下： 扩散泵按进气口公称通径增加了七种规格（单位为mm）：（150），250，（300），500.（600）， (900)，(1200); 扩散喷射泵按进气口公称通径增加了五种规格（单位为mm）：（150），250，（300），500， (600); 提高了抽气速率、极限压力、临界前级压力等一些主要技术性能指标，对其他性能指标做了适 当的调整： 增加了扩散泵的泵液返流率指标： 增加了附录A、附录B。 本标准的附录A为资料性附录，附录B为规范性附录。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准起草单位：兰州真空设备有限责任公司、真空技术研究所。 本标准主要起草人：徐玉江、温发兰、许艳巧、李春影。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ZBJ78012.1~J78012.2—1989，JB/T72651994。 II JB/T7265-2004 蒸汽流真空泵 1范围 本标准规定了蒸汽流真空泵（包括扩散泵、扩散喷射泵）的型式、规格、基本参数、技术要求、试 验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于以油蒸气作为工作介质的扩散泵及扩散喷射泵。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准、 GB/T1911 包装储运图示标志（GB/T191—2000，eqvISO780：1997） GB/T60701 真空法兰（GB/T6070—1995，eqvISO1609：1986，Vacuumtechnology-Flange dimensions) GB/T7775 蒸汽流真空泵加热时间和加热功率测试方法 GB/T7776 蒸汽流真空泵泵液返流率测试方法 GB/T13306 5标牌 GB/T13384 机电产品包装 通用技术条件 JB/T7673 真空设备型号编制方法 JB/T8472.1 蒸汽流真空泵性能测定第部分：抽气速率（体积流率）的测定（JB/T8472.1一1996. eqvISO 1608-1:1993) 蒸汽流真空泵性能测定第二部分：临界前级压力的测定（JB/T8472.2一1996，eqv JB/T8472.2 ISO1608-2:1989) SH0529矿物油性扩散泵油 3型式 3.1本标准所规定的蒸汽流真空泵是用水或其他冷却液冷却泵壁的金属制多级泵。 3.2蒸汽流真空泵的进气口和出气口法兰应符合GB/T6070的规定。其中带括号规格的泵的进、出气 口法兰连接尺寸参见附录A。 3.3在扩散泵的进气口与出气口中心连线上，不应有法兰螺栓孔。 3.4蒸汽流真空泵的型号应符合JB/T7673的规定。 4规格与基本参数 4.1规格 扩散泵按进气口公称通径分为十六种规格（单位为mm）：80.100，（150），160.200，250 （300），320，400，500，（600），630，800，（900），1000，（1200） 扩散喷射泵按进气口公称通径分为十二种规格（单位为mm）：（150），160，200，250，（300）， 320，400，500，（600），630，800，1000。 4.2基本参数 表1给出了扩散泵的基本参数，表2给出了扩散喷射泵的基本参数。 1 JB/T7265—2004 表1扩散泵基本参数 进气口公称通径 参数项目 mm 80 100 (150) 160 200 250 (300) 320 400 抽气速率* 直简式 ≥170 ≥280 ≥750 ≥850 ≥1 400 ≥2200 ≥3000 ≥3 400 ≥6 000 L/s 凸腔式 ≥210 ≥320 ≥900 ≥1 000 ≥1 800 ≥2 600 ≥3 800 ≥4 200 ≥7500 极限压力 ≤5×10*5 Pa 临界前级压力 ≥30 ≥40 Pa 泵液返流率 ≤3×10~2 mg/ (cm² . min) 加热时间 ≤30 ≤35 ≤40 ≤45 min 推荐加热功率 0.4~1.0 0.5~1.0 0.9~1.5 1.0~2.0 1.5~2.5 2.0~3.0 2.0~3.0 3.04.0 3.5~5.0 kw 加热器电源电压 220或380 V 推荐泵油用量 0.08~0.1 0.1~0.18 0.3~0.6 0.4~0.6 0.5~0.8 1.0~1.5 1.2~1.6 1.4~2.0 3.0-4.0 L 推荐冷却水流量 ≤100 ≤150 ≤200 ≤280 ≤400 ≤600 Lh 推荐前级泵抽气速率 4 8 15 30 60 L/s 进气口公称通径 参数项目 mm 500 (600) 630 800 (900) 1 000 (1 200) 抽气速率” 直简式 ≥9000 ≥13 000 ≥15 000 ≥22 000 ≥30 000 ≥35 000 ≥50000 Ls 凸腔式 ≥11 000 ≥16 500 ≥18 000 ≥25 000 ≥36000 ≥40 000 ≥60000 极限压力 ≤5X10*§ Pa 临界前级压力 ≥40 Pa 泵液返流率 ≤5×10~2 mg/ (cm².min) 加热时间 ≤45 ≤50 ≤55 ≤60 S9> min 推荐加热功率 5.0~12 6.0~12 8.0~15 10~20 14~25 20~25 20~30 kw 加热器电源电压 220或380 V 推荐泵油用量 5.0~6.0 6.0~9.0 8.0~10 10~13 14~16 16~20 推荐冷却水流量° 《700 ≤1200 ≤1350 ≤1600 ≤2000 L/h 推荐前级泵抽气速率 70 150 240 300 L/s 注：表中带括号的规格不鼓励优先选用。 当进气口压力在1.3×10-Pa~7×10-2Pa范围时，对空气所测得的平均值。 。冷却水温为20℃±5℃。 2 JB/T7265-—2004 表2扩散喷射泵基本参数 进气口公称通径 参数项目 mm (150) 200 160 250 (300) 320 400 500 (600) 630 800 1 000 抽气速率* ≥450 ≥550 ≥900 L/s 1 500 2 000 2.300 4000 5 500 8 000 9000 13 000 22000 极限压力 ≤7X10-2 Pa 临界前级压力 ≥140 Pa 推荐加热功率 ≤3.0 ≤5.0 ≤10 ≤20 ≤25 ≤30 ≤70 kw 加热器电源电压 220或380 V 推荐泵油用量 2.5~ 100~ 150 ~ 1.5~3.0 5.0~20 20~50 50~100 L 5.0 150 180 推荐冷却水流 ≤300 ≤400 ≤600 ≤700 ≤800 ≤1200 ≤1500 ≤6000 L/h 推荐前级泵抽气速率 ≥30 ≥60 ≥70 ≥140 ≥210 ≥300 ≥450 ≥1200 L/s 注：表中带括号的规格不鼓励优先选用。 ：在进气口压力为1.3Pa时，对空气所测得的值。 b冷却水温为20℃±5℃。 技术要求 5 产品应符合本标准要求，并按经规定程序批准的图样和技术文件制造。 5.2 扩散泵的基本参数应符合表1的规定，扩散喷射泵的基本参数应符合表2的规定。 5.3 在下列条件下蒸汽流真空泵应连续可靠地工作： a）工作环境温度为5℃～30℃； b）相对湿度不大于80%： c）冷却水出水温度不超过40℃。 5.4蒸汽流真空泵用油应符合SH0529及有关标准的规定。 5.5泵用的真空橡胶密封圈应符合GB/T6070一1995中2.5的规定； 5.6加热器的带电部分与其外壳应绝缘可靠，其绝缘电阻应大于5M2，并能耐50Hz、.1000V交流电 压在Imin内不被击穿。 5.7加热器的非加热面部分与锅炉四周应采取可靠的保温绝热措施。 5.8每台产品均应配齐下列易损备件： a）密封件一套； b）按用户要，提供适量的电热元件，并在订货合同中注明。 5.92 在用户遵守保管和使用规则的条件下，从制造厂发货之日起一年内，产品因制造质量不良而发生 损坏或不能正常工作时，制造厂应免费为用户修理或更换。 6试验方法与检验规则 6.1试验方法按GB/T7775、GB/T7776、JB/T8472.1、JB/T8472.2以及附录B的规定进行产品性能测 3 JB/T7265—2004 量，外观质量以目测为准。 6.2每