ICS25.220.20;25.220.40 GE CCS A 29 中华人民共和国国家标准 GB/T6462-2025 代替GB/T6462—2005 金属和氧化物覆盖层 厚度测量 显微镜法 Metallic and oxide coatings-Measurement of coating thinckness- Microscopical method (IS01463:2021,MOD) 2025-10-31发布 2026-05-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T6462—2025 目 次 前言 mL 范围 2 规范性引用文件 术语和定义 原理 影响测量不确定度的因素 5.1 表面粗糙度 5.2 横截面的斜度 5.3 覆盖层的变形 5.4 覆盖层边缘倒角 5.5 附加镀层 5.6 浸蚀 5.7 遮盖 5.8 放大倍数 5.9 测微尺的校准 5.10 显微镜长度测量设备的校准 5.11 放大倍数的一致性 5.12 透镜的质量 5.13 测量线的方位 5.14 镜筒的长度 6 横截面的制备 7 试验步骤 8 测量不确定度 9 试验报告 附录A（资料性） 关于横截面制备和测量的指南 A.1 概述 A.2 镶嵌 A.3 研磨和抛光 A.4 浸蚀 A.5 其他先进制样方法 A.6 测量 附录B（资料性) 横截面的斜度和齿状结构覆盖层的测量 B.1 横截面的斜度 GB/T 64622025 B.2齿状结构覆盖层的测量 8 B.3通过使用光学显微镜获得的测量标准偏差的经验值。 9 附录C（资料性） 室温下使用的一些典型浸蚀剂 11 参考文献 12 IⅡI GB/T6462—2025 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T6462—2005《金属和氧化物覆盖层厚度测量 显微镜法》。与GB/T6462- 2005相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下： 增加了显微镜长度测量设备的校准（见5.10)。 本文件修改采用ISO1463：2021《金属和氧化物覆盖层 厚度测量 显微镜法》。 本文件与ISO1463：2021的技术差异及其原因如下： 增加了显微镜长度测量设备校准频率的要求（见5.10.3），以增加可操作性。 本文件做了下列编辑性改动： 删除了第3章IEC、ISO术语数据库网址； 更改了“局部厚度”的来源（见3.1)； 增加了1，2,3，4，5，6,d1，d2，d3，d4ds和d。”的标引序号和符号说明（见附录B)； 一更改了关于横截面制备和测量的指南（见附录A)； 删除了附录C中存在危险的浸蚀剂6（见附录C)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国机械工业联合会提出。 本文件由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会(SAC/TC57)归口。 本文件起草单位：中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、东方电气集团东方汽轮机有限 公司、湖南常德纳菲尔新材料科技有限公司、北京科技大学、深圳市晋铭航空技术股份有限公司、美的集 团股份有限公司、东营市工业产品检验与计量检定中心、中电建武汉铁塔有限公司、南京市锅炉压力容 器检验研究院。 本文件主要起草人：陈亚平、巩秀芳、雷同鑫、韦雨齐、王伟、连勇、罗东文、杨明、易娟、王立莹、张志涛、 张长科、汪英、薛俊鹏、徐斐、刘英坤。 本文件于1986年首次发布，2005年第一次修订，本次为第二次修订。 GB/T6462—2025 金属和氧化物覆盖层 厚度测量 显微镜法 警告：应用本文件可能涉及危险的材料、操作和装置的使用。本文件没有提出使用过程中的所有健 康危害和安全问题。在应用本文件前，使用者有责任根据国家或当地的规定制定合适的健康和安全条 例，并采取相应的措施。 1范围 本文件描述了运用光学显微镜检测横截面，以测量金属覆盖层、氧化膜层和瓷釉或玻璃塘瓷覆盖层 的局部厚度的方法。 本文件适用于金属和氧化物覆盖层厚度的测量。 2规范性引用文件 本文件没有规范性引用文件。 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 局部厚度 localthickness 在参比面内进行规定次数厚度测量的平均值。 ［来源：GB/T12334—2001,3.4] 4原理 从待测试样上切割一块样品，镶嵌后，采用适当的技术对横截面进行研磨、抛光和浸蚀。用校准过 的标尺测量覆盖层横截面的厚度。 注：有经验的金相工作者对这些技术很熟悉，对于经验不足的操作者，第5章和附录A中给出了指南。 5影响测量不确定度的因素 5.1表面粗糙度 如果覆盖层或覆盖层基体表面是粗糙的，那么与覆盖层横截面接触的一条或两条界面线是不规则 的，以致不能精确测量（见附录A中A.6)。 5.2横截面的斜度 如果横截面的平面不垂直于待测覆盖层平面，那么测量的厚度将大于真实厚度。例如：垂直度偏差 10°，将会带来1.5%的不确定度。 注：附录B中B.1提供了关于横截面的斜度指南。 GB/T6462—2025 5.3覆盖层的变形 镶嵌试样和制备横截面的过程中，过高的温度和压力可能导致软的或低熔点的覆盖层产生有害变 形；在制备脆性材料横截面时，过度的打磨同样会产生变形。 5.4覆盖层边缘倒角 如果覆盖层横截面边缘倒角，即覆盖层横截面与边缘不完全平整，采用显微镜测量则得不到真实厚 度。不正确的镶嵌、研磨、抛光和浸蚀都会引起边缘倒角，因此在镶嵌之前，待测试样常要附加镀层，这 样可使边缘倒角减至最小（见A.2）。 5.5附加镀层 在制备横截面时，为了保护盖层的边缘，避免测量误差，常在待测试样上附加镀层。在附加镀层 前的表面处理过程中，覆盖层材质的损耗将导致厚度测量值偏低。 5.6漫蚀 适当的没蚀能在两种金属的界面上产生清晰狭窄的黑线，过度的浸蚀会使界线不清晰或线条变宽， 使测量产生误差。 5.7遮盖 不适当的抛光或附加软金属镀层会使 种金属遮盖在另 一种金风上，造成覆盖层和基体之间的界 面线模糊。为了减轻遮盖的影响，可反复制备金属镀层的横截面，直至厚度测量（见A.3和A.5）出现重 现，或附加较硬的金属镀层。 5.8放大倍数 对于任何给定的覆盖层厚度，测量不确定度通常随放大倍数的降低而增加。选择放大倍数时应使 视场大小在覆盖层厚度的1.5倍～3倍 5.9测微尺的校准 测微尺在校准过程中产生的不确定度都会反映在试样的测量结果中。因此，在校准过程中应使用 合适的、可溯源的长度计量标准器 5.10显微镜长度测量设备的校准 5.10.1测量目镜 使用测量目镜测量的精度不会超过目镜校准的精度。目镜经校准后测量将更为准确。因为校准受 操作人员的影响，所以目镜应由测量操作人员进行校准。 重复校准测量目镜可以合理预期得到小于1%的误差。用于校准的测微尺上两条线之间的距离其 精度应在0.2μm或0.1%之内，以较大者为准。 一些测量目镜图像放大具有非线性特征，短距离测量其引人的不确定度可高达1%。 测量目镜在移动中的回程间隙会引入不确定度，为了避免这种不确定度，确保十字线对准过程中最 终移动始终朝同一方向。 5.10.2数字图像处理 行业标准中的光学显微镜配备了三目镜筒、相机适配器、与配备图像捕捉和处理软件的计算机相连 2 GB/T6462—2025 的数码相机以及各种放大倍率的物镜。测量的精度不会超过长度测量功能（硬件和软件的组合）调整和 校准后的精度。 为了调整数字图像处理系统，需要为每个物镜（如果适用，还包括中间放大率转换器）和相机分辨率 设置（全分辨率和典型的像素合并设置）的组合记录测微尺的数字图像（平行于图像的轴和轴的两 个方向）。通过使用软件相应的功能，在测微尺上测量已知距离，计算出数字图像中单个像素所代表的 实际物体空间长度，然后将该值保存在软件中。通常在进行此类调整后，图像会被记录为“已校准”，即 在捕捉图像时，通过在软件中选择物镜（如果适用，还包括中间放大率转换器）和相机的像素设置，将 um/像素的比例因子分配给图像。 系统经过调整或校准后，通常在长时间内保持稳定。此外，只要不对镜筒（如果适用，还包括中间放 大率转换器）、相机适配器或相机本身进行任何更改，并且只要在调整和/或校准以及测量过程中使用相 同的相机分辨率（和方向的像素数），它们就不会因操作者不同而产生差异。通常情况下，只需定期 记录测微尺图像并测量已知距离即可，当测量长度与认证长度之间的偏差小于合理定义的长度测量不 确定度限值时（如实验室希望达到1%），校准仍然有效，无须重新调整。 5.10.3校准频率 可根据实际情况，每日、每周、每月或者每季度的时间段校准一次。 5.11放大倍数的一致性 放大倍数在整个视场范围内不一致会产生不准确度。因此，确保校准和测量都在视场的同一位置 进行，并使测量的边界置于光轴中心。 5.12透镜的质量 图像不清晰将会导致测量不确定度，因此要保证使用高质量的透镜。 注：有时，单色光束能够提高图像清晰度。 5.13测量线的方位 在对线移动的过程中，保证目镜十字线的移动或数字图像处理软件的测量线准线与覆盖层横截面 的界面线垂直。例如：10°的偏差会带来1.5%的不确定度。 5.14镜筒的长度 镜筒长度的变化会导致放大倍数的变化，若此变化发生在校准和测量之间，则测量会产生不确定 性。请注意避免镜筒长度的变化，这种变化可能在以下情况下发生：当目镜在镜筒内重新定位时，当目 镜镜筒的焦距发生改变时，当相机适配器重新定位或更换时，以及对于某些显微镜当微调聚焦时。 6横截面的制备 制备、镶嵌、研磨、抛光、浸蚀试样要求为： a）横截面垂直