ICS 23.160 JB N68 中华人民共和国机械行业标准 JB/T7463—2005 代替JB/T7463—1994 热阴极电离真空计 Hot cathode ionization gauge 2005-05-18发布 2005-11-01实施 中华人民共和国国家发展和改革委员会发布 JB/T7463—2005 目 次 前言 II 1范围. 2规范性引用文件 3术语和定义 4技术要求.. 4.1工作环境. 4.2外观.. 4.3电参数的示值误差. 2 4.4 真空计压力示值误差 4.5 电参数稳定性.. 使用安全性能。 4.7 输出信号... 4.8 输出接口与通信接口、 4.9 抗运输环境性能 5 试验方法.. 5.1 外观试验. 5.2 电参数示值误差试验.. 5.3 真空计压力示值误差采用图3所示等效离子流法进行试验. 5.4 电参数稳定性试验. 5:5使用安全性能试验 6 5.6输出信号试验. 5.7 输出接口与通信接口试验， 5.8 抗运输环境性能试验， 6检验规则 通则... 6.1 6.2 出厂检验. 6.3型式检验 7标志、包装、贮存. 7.1标志 7.2包装. 7.3贮存 图1发射电流的测试电路. 图2加速极对阴极电位的测试电路 图3真空计压力示值误差测试电路 图4发射电流随压力变化稳定度的测试电路.. I JB/T7463—2005 前言 本标准代替JB/T7463-1994《热阴极电离真空计》 本标准与JB/T74631994相比，主要变化如下： 一由于原标准的适用范围不包含数显式真空计，存在缺陷，本标准增加了数显真空计的相关条款， - 对标准中技术要求、试验方法等，进行了相应的调整与修订； 一调整了规范性引用文件内容； 一将原标准5.3标志、包装和贮存调整为独立的第7章。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司、成都正华电子仪器有限公司、沈阳真 空技术研究所。 本标准参加起草单位：成都瑞普电子仪器公司。 本标准主要起草人：徐自勇、张雅静、王砚龄、辜国征、周祖政、陈健。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： —ZBY227—1984、JB/T7463—1994。 III JB/T7463—2005 热阴极电离真空计 1范围 本标准规定了热阴极电离真空计（电离规管标准另订）的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、 包装和贮存等技术内容。 本标准适用于与中真空、高真空、超高真空热阴极电离规管（以下简称规管）配套使用的热阴极电 离真空计（以下简称真空计）。对于进口的同类真空计亦可参照使用。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T191包装储运图示标志（GB/T1912000，eqVISO780:1997） GB/T2829周期检查计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB/T3163 真空技术术语 GB/T3369 工业自动化仪表用模拟直流电流信号 GB/T3370 厂工业自动化仪表用模拟直流电压信号 GB/T6107 使用串行二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的接口（idt EIA/TIA-232-E) GB/T6587.1 电子测量仪器环境试验总纲 GBT11014平衡电压数字接口电路的电气特性（eqvEIARS-422A：1978） GB/T15464仪器仪表包装通用技术条件 JB/T9329仪器仪表运输，运输贮存基本环境条件及试验方法 EIA/TIA一574使用串联二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的9插针非同 步接口 3术语和定义 GBT3163确立的以及下列术语和定义适用于本标准。 3.1 真空计vacuumgauge 测量低于一个大气压的气体或蒸汽压力的仪器。 注：某些常用的真空计实际上不直接测量压力，而测量在规定条件下与压力有关的某些其他物理量。 3.2 灵敏度系数sensitivitycoefficient 对于一给定压力，真空计指示的读数变化，除以对应压力变化。 注：某些真空计灵敏度系数与气体性质有关，在这种情况下灵敏度通常指氮气而言。 3.3 热阴极电离真空计hotcathodeionizationgauge 通过热阴极发射电子使气体电离的一种电离真空计。 1 JB/T7463—2005 4技术要求 4.1工作环境 真空计在下述环境下应能正常工作： -环境温度：0℃~40℃； 一相对湿度：不大于85%； 一电源电压：220V土22V、50Hz交流电。 4.2外观 4.2.1真空计的指示器应无引起测量误差的外观缺陷。如电表机械零位失调、指针弯曲、卡针以及表 面刻度不清、数字显示无模糊字、缺字、缺划和乱跳等现象。 4.2.2开关、旋钮、指示灯、插头（座）、熔断器、电缆和附件等均应齐全、完好。 4.2.3机箱表面应平整、光洁、无明显涂层剥落、锈蚀等现象。 4.3电参数的示值误差 4.3.1发射电流示值误差不应超过标称值的土3%。 4.3.2加速极对阴极电位不应超过标称值的土5%。 阴极中心点对地电位不应超过标称值的土5%。 4.3.3 4.4真空计压力示值误差 a）等效于离子流大于10-A时，压力示值误差不应超过十5%： b）等效于离子流在10-A～10-A时，压力示值误差不应超过±10%； c）等效于离子流在10-12A时，压力示值误差不应超过士20%。 4.5电参数稳定性 4.5.1当电源电压为220V土22V时： a）发射电流变化不应超过土1%； b）加速极对阴极电位变化不应超过土5% c）真空计指示在最大量程档的50%附近一个点的示值变化不应超过土2%。 4.5.2电源电压220V稳定不变时，真空计经预热30min后的1h内： a）发射电流变化不应超过土2%； b）加速极对阴极电位变化不应超过土5% c）真空计压力最大量程50%附近一个点的示值变化不应超过土2%。 4.5.3当压力从上限开始变化两个量级时，发射电流的变化不应超过土3%。 4.6使用安全性能 4.6.1真空计供电电源端子与机箱外壳之间应能经受频率为50Hz、 电压为1kV的正弦交流电压历时 1min内的耐压试验，应无击穿和飞弧现象。 4.6.2真空计供电电源端子与机箱外壳之间的绝缘电阻，在电源开关闭合情况下不应小于20M2。 4.7输出信号 当真空计有输出信号时，应满足下列要求： 真空计模拟直流电压信号范围应符合GB/T3370的规定，真空计模拟直流电流信号范围应符合 GB/T3369的规定。 4.8输出接口与通信接口 当真空计有输出接口时，应满足下述要求： 真空计输出数字的编码应优先采用BCD码，并列出逻辑“1”和“0”状态的电平值及负载能力。 真空计的数字通信接口，建议优先采用RS232和RS422接口。采用25针和RS232C接口应符合GB/T 6107，采用9针RS232C接口应符合EIA/TIA一574的规定，采用RS422接口应符合GB/T11014的规 定。 2 JB/T7463—2005 4.9抗运输环境性能 仪器在包装的条件下，按JB/T9329的要求进行。其中： a）高温试验选用：55℃2℃； b）低温试验选用：一40℃±2℃ c）湿热试验选用：相对湿度（25℃）95%； d）跌落选用：自由跌落高度250mm。 5试验方法 5.1 外观试验 外观是否符合4.2的要求，用目测或相应的测量工具进行检查。其中卡针、数字显示模糊、缺划和 乱跳等现象在测试过程中检查。 5.2电参数示值误差试验 5.2.1发射电流示值误差采用图1所示线路进行试验： ~220V 图中： B- 交流调压器（下同）：D—被测真空计（下同）：G—规管（下同）； 精确度不低于0.5级的直流电流表；V- A- 一精确度不低于1.5级的0V～250V交流电压表（下同）。 图1发射电流的测试电路 将直流电流表串接在加速极回路中，调节发射电流到规定的示值位置，观察直流电流表与真空计的 示值，并进行比较。发射电流示值误差按下式计算： · (1) 式中： 8——发射电流的示值误差，%; Ieco—直流电流表示值，单位为A； 1。—真空计示值，单位为A。 5.2.2加速极对阴极电位示值误差采用图2所示线路进行测试 B ~220V D R 图中： Vi、V2- 精确度不低于0.5级的直流电压表或数字电压表；R——— 一均衡电阻，阻值为1002，误差不超过土1%。 图2加速极对阴极电位的测试电路 3