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ICS 77.150.10 YS H 61 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T6782008 半导体器件键合用铜丝 Copperwirefor semiconductorleadbonding 2008-09-01实施 2008-03-12发布 国家发展和改革委员会 发布 YS/T6782008 前言 本标准中的附录A、附录B、附录C、附录D和附录E为规范性附录。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口。 本标准由贺利氏招远贵金属材料有限公司、贺利氏招远(常熟)电子材料有限公司负责起草。 本标准主要起草人:刘光瑞、王卫东、毛松林、杨茵年、丁颖。 H YS/T678—2008 半导体器件键合用铜丝 1范围 本标准规定了半导体器件键合用铜丝的要求、试验方法、检验规范和标志、包装、运输、贮存及订货 单(或合同)内容。 本标准适用于半导体器件键合用铜丝(以下简称铜丝)。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有 的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。 GB/T10573有色金属细丝拉伸试验方法 GB/T13293(所有部分)高纯阴极铜化学分析方法 GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 YS/T586铜及铜合金化学分析方法电感耦合等离子体原子发射光谱法 3要求 3.1产品分类 3.1.1型号和规格 铜丝的型号和规格见表1。 表1 名称 直径/μm 类 型 铜丝 HC 18~50 注1:可根据实际要求增加直径尺寸的规格,也可以大于50μm。 注2:HC为高纯铜的含义,后缀数字为由于技术要求的系列号1~10。 3.1.2标记 铜丝标记按产品年号、月份、生产序号、型号的顺序表示,月份中的10、11、12、分别用X、Y、Z表示, 生产序号为流水号。标记示例如下: 口 铜丝类型 生产序号 月份 年号 示例: 06X166HC4—一含义为2006年10月份生产的,生产序号为166,产品的型号为HC4。 3.2化学成分 铜丝化学成分应符合表2的规定。供方应对原材料提供化学成分质量证明书,原材料化学成分需 符合表2的规定。 1 YS/T678—2008 表 2 Cu含量 质量分数(X10-6) 不少于/% Ag Fe Pb Ni Mg Is 杂质总量 99. 99 ≤20.0 ≤10. 0 0's> ≤5. 0 09> ≤20.0 001> 3.3 力学性能 最小拉断力和伸长率应符合表3的规定。 表 3 质量/ 伸长率 最小拉断力 直径/μm (mg/20cm) 状态 伸长率/% 波动极差值 状态 最小拉断力/10-N 0.5~2.5 >5 0.41~0.51 Y2 2.0~6.0 "x >4 18±1 3 M 4.0~10.0 M >3 0.5~2.5 >6 20±1 2.0~8.0 Y, >5 0.51~0.62 3 M 6.0~12.0 M >4 0.5~2. 5 3 Y >8 23±1 Y: 2.0~8.0 Y: >7 0.68~0.81 3 M 6. 0~15. 0 M >5 0.5~2.5 Y >12 25±1 Y2 2.0~8.0 X2 >10 0.81~0.95 3 M 8.0~16.0 M >8 Y 0.5~2.5 >14 28±1 1.03~1.18 Y: 2.0~8.0 Y >12 4 M 8.0~20.0 M >10 0.5~2.5 入 >16 30±1 1.18~1.35 "X 2.0~8.0 Y >14 4 M 8,0~25.0 M >10 X 0.5~2.5 Y >19 32±1 Y. 2.0~8.0 Y2 >16 1.35~1,53 4 M 8. 0~25. 0 M >10 入 0.5~2. 5 >20 Y2 2. 0~8. 0 Y 1.44~1.62 >17 4 M 8. 0~25. 0 M >10 入 0.5~3. 0 X >27 38±1 1.93~2.14 Y2 3.0~10.0 X. >22 4 M 8. 0~ 30. 0 M >10 >52 0.5~3.0 Y, Y >37 50±2 3.24~3.80 3.0~12.0 5 W 10.0~55.0 M >10 a波动极差值的含义说明:同一批产品伸长率应为6%~9%或7%~10%等,其波动差值为3。 注:对于需方有特殊要求的产品,由供需双方协商解决。 2 YS/T678—2008 3.4外观质量 3.4.1铜丝表面应无指痕、拉伸润滑液及清洗液痕迹,无颗粒附加物和其他污染。 3.4.2铜丝表面应无明显刻痕、凹坑、划伤、裂纹、凸起、打折及其他缺陷。 3.5绕线要求 3.5.1使用的线轴见附录A中表A.1规定要求或其他需方要求的线轴。 3.5.2绕线方式为单层缠绕或多层交叉复绕。 3.5.3线的始端和末端采用不同颜色的标志贴紧。一般情况下,标志贴绿色为始端,红色为末端。 3.5.4每轴线的长度公差范围:土1%。 3.6工艺性能 3.6.1铜丝弯曲和扭曲性能应满足附录D的要求。 3.6.2铜线应自由下滑放线,不应有过多的停点和打折现象,停点频率每百米不大于1个。 4试验方法 4.1化学成分分析方法 铜丝的化学成分分析方法按GB/T13293(所有部分)和YS/T586的规定进行。 4.2力学性能检验方法 铜丝的力学性能测试按GB/T10573规定进行,试验条件为试样标距为100mm,拉伸速度为 10mm/min,也可由供需双方协商一致解决。 4.3直径尺寸测量方法 铜丝的直径及允许偏差测量按GB/T15077的规定进行。 4.4外观质量检验方法 检验方法按附录B的规定进行。 4.5长度检测 铜丝长度测量方法按附录C的规定进行。 4.6铜丝的弯曲与扭曲试验 铜丝的弯曲试验、扭曲试验方法按附录D的规定进行。 4.7铜丝的放线试验 铜丝的放线试验方法按附录E的规定进行。 5检验规则 5.1检查和验收 5.1.1产品由供方的质量部门进行检查,保证产品质量符合本标准或合同的规定,并在发货时填写质 量证明书。 5.1.2需方收到产品,可按本标准的规定进行验收,如检验结果与本标准的规定不符时,应在收到产品 之日起一个月内向供方提出,由供需双方协商解决,如需仲裁,仲裁由供需双方在需方共同进行。 5.2组批 产品应成批提交验收,组成批号为同一型号/同一炉号。 5.3检验项目 每批产品均应进行化学成分、尺寸、力学性能和外观质量检验。合同中注明的检验项目也应进行检验。 5.4取样规则 5.4.1铜丝的化学成分按炉次取样化验。 5.4.2对于同一批号的抽样,可随机取一轴进行直径尺寸的检验。 5.4.3其他项日的检验,从包装后入库前的成品中取样,取样时按不同批号,不同的绕线长度分别取 3 YS/T678—2008 样,取样数量不少于所抽轴数的1%,最少不得低于2轴。 5.5取样位置和取样数量 产品的取样应符合表4的规定。 表4 检验项目 取样规定 要求的章条号 试验方法章条号 可以依据供方提交原始材料的分析结果,需方可在成品 化学成分 3. 2 4.1 轴上取样分析 抽样1%,最小数量2轴,每轴最少5点,测试点间隔1m 力学性能 3. 3 4.2 以上 直径尺寸 抽样1%,最小数量每一规格一轴 3. 3 4. 3 外观质量 逐轴进行检查 3. 4 4. 4 长度 抽样1%,最小数量2轴 3.5.4 4.5 弯曲、扭曲 抽样1%,最小数量2轴 3. 6 4. 6 放线 抽样1%,最小数量2轴 3. 6 4.7 5.6重复试验和检验结果的判定 试验应分项目进行。各项试验(除外观质量)如有一个试样检验结果不符合时,应从该批中抽取双 倍试样对不合格项目进行重复试验,如重复试验结果全部合格,该批号为合格。重复试验结果仍有试样 不合格时,则该批不合格。 6标志、包装、运输和贮存 6.1标志 在检验合格产品的包装箱上应作如下标志: a)制造公司名称; b)其他需方所要求的项目。 6.2包装 6.2.1内包装要求 a) 绕线后的线轴放人吸塑盒盒内不能松动。 b) 将吸塑盒放人入塑料袋中,进行两次充氮抽真空防护。 6.2.2外包装要求 a)将封装好的吸塑盒整齐地排列在纸箱内,必要时加填海绵或泡沫,确保防震。 b) 外包装箱上要求标明“易碎物品”和“向上”标志,以保证线轴轴向在运输过程中保持水平 方向。 6.3标识 吸塑盒上标签应包括下列内容: a) 铜丝型号; 铜丝纯度; c) 生产日期; (P 单轴长度; 力学性能(最小拉断力、伸长率); e) 起始端标贴纸颜色; g) 铜丝批号; 4 YS/T 678—2008 h)制造公司名称; i)其他需方所要求的项目。 6.4运输、贮存 6.4.1严禁同化学活性物质及潮湿性材料存放在一起。 6.4.2搬运和装卸时应注意轻拿轻放,以防产品碰伤。 6.4.3存温度:21℃士5℃,湿度:≤70%。 6.4.4贮存时间:建议自生产日起12个月内使用,并保持真空状态良好。 7 质量证明书 每批产品的每个直径规格应附有质量证明书,应包括以下内容: 供方公司名称; a) b) 铜丝型号; c)批号; (P 化学成分; e) 直径; 力学性能(最小拉断力、伸长率); g) 单轴长度及总长度; h) 检验员印章及检验部门印章; i) 出厂日期; j) 起始端标贴纸颜色; k) 其他需方要求的项目。 订货单(或合同)内容 当供需双方签订采购合同时,应包括以下内容: a)

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