YS ICS 77. 120. 99 H 68 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 605—2006 介质浆料 Dielectricpaste 2006-05-25发布 2006-12-01实施 中华人民共和国国家发展和改革委员会 发布 数码防伪） YS/T605—2006 前 言 本标准的附录A是资料性附录。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口。 本标准由贵研铂业股份有限公司负责起草。 本标准主要起草人：张晓民、杨雯、贺东江、李文琳、武新荣、石红、王晓云。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。 本标准首次发布。 YS/T605—2006 介质浆料 1范围 本标准规定了介质浆料的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和订货单内容。 本标准适用于多层厚膜系统、氧化铝基板用介质浆料（以下简称浆料）。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有 的修改单（不包括勘误的内容或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T5596电容器用陶瓷介质材料 GB/T17473.1厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 固体含量测定 GB/T17473.2厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 细度测定 GB/T17473.5厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 粘度测定 3定义 下列定义适用于本标准。 介质浆料dielectricpaste 一种具有低介电常数的、用于制备厚膜多层布线隔离层的膏状物体。 4要求 4.1标记 浆料的牌号标记方法如下： I-D-XXXX 产品编号 电介质 绝缘 示例：1-D-4023表示编号为4023的介质浆料。 4.2组成 浆料由具有低介电常数的粉料、添加物和有机载体3部分组成。 4.3烧成条件 浆料烧成条件为峰值温度850℃士5℃，峰值保温时间8min~10min，烧结周期30min～60min。 4.4性能 4.4.1浆料的固体含量、细度、粘度应符合表1的规定。 4.4.2浆料烧成后的性能指标应符合表2的规定。 4.5外观 浆料为色泽均匀的膏状物。 YS/T605—2006 表 1 固体含量/% 细度/μm 粘度/Pa·s 70~80 50~100 10 若需方有其他要求时，由供需双方协商确定。协商内容包括粘度值、测试仪器型号及测试条件。 表 2 介电常数e 损耗因素/tgo 绝缘电阻/n 击穿电压'/Vpc 通孔分辨率/mm 7~11 >1012 ≥500 0. 25 <1×10-3 指介质层膜厚为25μm的击穿电压。 试验方法 5 5.1浆料固体含量的测定按GB/T17473.1的规定进行。 5.2浆料细度的测定按GB/T17473.2的规定进行。 5.3浆料粘度的测定按GB/T17473.5的规定下附录A条件下进行。 5.4介电常数、损耗因素、绝缘电阻、击穿电压、通孔分辨率的检测 5.4.1样品制备 在氧化铝(95%）陶瓷基片上印烧Au下电极（5mmX5mm）图形。在下电极（有引出线）上印烧介 质浆料。印、烧二次，形成介质层（6mmX6mm），在介质层上印烧Au上电极（5mm×5mm），在850℃ 土10℃温度烧结形成上电极层。试样如图： 上电极 一介质层 下电极 Al0;基片 a) 侧视图 b）俯视图 图1介电常数、损耗因素、绝缘电阻、击穿电压的测试样品示意图 5.4.2介电常数(e)测量：通过测量电容(C)、介质层厚度(t)和样品上下电极对应的有效面积(A)，并 按式(1)计算： Ct 1) E.A 式中： C- 电容量，单位为皮法（pF）； 2 YS/T605—2006 t介质层厚度，单位为厘米(cm)； A一—样品中上下电极对应的有效面积，单位为平方厘米（cm"）； ——标准介电常数，=0.0885。 电容(C)用电容电桥(精度：0.5%)测量，测量的频率为1kHz;介质层厚度（t)用光切测厚仪（精度： 土10%）测量，测量的基准点以下电极为准。有效面积（A)用25~100倍读数显微镜（精度0.01mm） 测量。 5.4.3损耗因素（tgo)测量：采用直读式损耗表测量，测量的频率为1kHz。 5.4.4绝缘电阻采用高阻表测试，电阻测量范围应达105Q～1017Q，测量误差应小于士15%。测试 时，测试电压为100Vpc。 5.4.5击穿电压试验方法按GB/T5596的规定进行。 5.4.6介质浆料的通孔分辨率测定方法 在Al2O（95%）基片上印刷预留通孔为0.25mmX0.25mm的介质膜层，流平5min～10min，在 150℃土10℃烘箱中烘干，按4.3烧成条件烧结成膜。在25~100倍读数显微镜（精度0.01mm）下测量 通孔直径。 5.5浆料外观采用目视检查。 6检验规则 6.1检查和验收 6.1.1浆料应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同)的规定，并填写 质量证明书。 6.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。若复验结果与本标准（或订货合同)的规定不 符时，应在收到产品之日起1个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需 双方在需方共同进行。 6.2组批 浆料应成批提交验收，每批应由同一批投料生产出的浆料组成，批重不限。 6.3检验项目 每批浆料应进行固体含量、细度、粘度、介电常数、损耗因素、绝缘电阻、击穿电压、通孔分辨率及外 观的检验。需方提出的其他检验项目，由供需双方协商确定。 6.4取样 100瓶（不足100瓶时以100瓶计）检验样品增加1瓶。 6.5检验结果的判定 6.5.1所有检验项目，当试验结果中有不合格项目时，应从该批产品中另取双倍数量的试样进行不合 格项目的重复试验。重复试验结果全部合格时，则判该批产品合格。若重复试验结果仍有不合格项目， 则判该批产品不合格。 6.5.2外观检验逐瓶进行，检验结果不合格时，判该瓶产品不合格。 7标志、包装、运输、贮存 7.1标志 在检验合格的产品上应贴上标签，标签上注明： a）供方名称； b）产品名称； c）产品牌号； 3 YS/T605—2006 (P 批号； e) 净重量、瓶重； f) 保质期； g）生产日期。 7.2包装、运输和购存 7.2.1 检验合格的浆料用带密封盖的塑料瓶分装，包装瓶应耐腐蚀，不易破损，瓶口加密封带，再用塑 料袋密封。装人结实牢固的包装箱中，包装瓶四周应填充安全物质。 7.2.2运输应避免污染和机械破损。 7.2.3需方收到浆料应在5℃～25℃下密闭贮存，自生产之日起有效贮存期为6个月。 7.3质量证明书 每批产品应附有质量证明书，注明： a) 供方名称、地址、电话、传真； b) 产品名称； c) 产品牌号； 批号； d) (a 产品净重量； f) 各项分析检验结果和技术监督部门印记； g) 本标准编号； h) 出厂日期。 8 订货单(或合同)内容 本标准所列浆料的订货单(或合同)内应包括下列内容： 产品名称； a) b) 产品牌号； c) 产品净重量； (P 本标准编号； e) 其他。 YS/T605—2006 附 录 A (资料性附录） 粘度的测试条件 介质浆料粘度的测试条件为BROOKFIELDDV-Ⅱ粘度计，52号轴，转速1r/min，温度25℃。 5